EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LV
SR
SK
VI
HU
MT
TH
TR
FA
MS
GA
CY
IS
KA
UR
LA
TA
MY
١. كالريز/إف كي إم حلقة O-ring مواصفات الأداء
أجزاء مادة كالريز (Kalrez) المصنوعة من البوليمرات المرنة الفلورية الفائقة والبوليمرات المرنة الفلورية عالية الأداء (FKM) تُعتبر المعايير الذهبية في بيئات الإغلاق الصعبة التي تتطلب مقاومة كيميائية فائقة وثباتًا حراريًّا عاليًا. وتوفّر أجزاء كالريز® انبعاثًا منخفضًا جدًّا للغازات (Low outgassing) في تطبيقات الإغلاق بالفراغ. كما توفر البوليمرات المرنة الفلورية الفائقة انبعاثًا منخفضًا جدًّا للغازات في تطبيقات الإغلاق بالفراغ. وتتميّز هذه الحلقات ذات الرمز 0240 بمقاومة كيميائية شبه شاملة، ويمكنها التحمّل عند درجات حرارة مستمرة تصل إلى ٢٧٥°م (٥٢٧°ف)، مع وصول بعض الدرجات إلى ٣١٦°م (٦٠٠°ف). ويتميّز كالريز® بأداء ممتاز في إغلاق الفراغ، وانبعاث منخفض جدًّا للغازات، واستعادة ممتازة للمرونة. الخصائص: تحتفظ المادة بخصائصها المرنة وقوة إغلاقها حتى بعد التعرّض الطويل للبلازما، وغازات المعالجة التآكلية، والمواد الكيميائية العدوانية.
٢. آلة طلاء الفراغ، وكاشف التسرب، وأفران المعالجة الحرارية – ظروف التشغيل
معدات معالجة حرارية عالية التقنية مثل أجهزة الطلاء بالفراغ (PVD/CVD)، وكواشف التسرب، وأفران المعالجة الحرارية، تعمل في بيئات تتطلب ظروف فراغ عالي دون تلوث. وفي عمليات الترسيب مثل HDPCVD، PECVD وSACVD وMetal CVD وALD، يجب أن تقاوم الأختام البلازما والغازات العدوانية دون أن تتحلل أو تتفتت. وفي أجهزة الطلاء بالفراغ، يؤدي أي تسرب غازي خارجي (outgassing) أو تفكك في المادة إلى تلوث الغرفة، مما يؤثر سلبًا على ترسيب الطبقات الرقيقة. وتستهدف درجات كيلريز® المُخصصة للقطاع أشباه الموصلات هذه التطبيقات، حيث توفر استقرارًا حراريًّا استثنائيًّا ومنخفضًا جدًّا في معدل التسرب الغازي الخارجي. وفي كواشف التسرب، يوفّر الحشوة الدائرية (O-ring) ختمًا محكمًا لا غنى عنه لكشف التسريبات الغازية المجهرية. ويُستخدم حجم AS024 عادةً في منافذ أجهزة الاستشعار، ومواسير دخول الغاز، والوصلات الفراغية (vacuum flanges) لتحقيق ضغوط أساسية مطلوبة دون انبعاث أبخرة من المطاط الصناعي أو تحلّله.
٣. AS024 الأبعاد رسم بياني & الأبعاد ل ر الفراغ التكنولوجيا
حلقة O رقيقة القسم من طراز AS024 (أو AS-024)، مُصمَّمة لتجهيزات الفراغ الخاصة بالتطبيقات العلمية والصناعية.
|
الرقم المرجعي وفق المعيار AS568 |
القطر الداخلي (ID) |
المقطع العرضي (CS) |
المادة |
الخواص الرئيسية |
|
AS-023 |
1.051 بوصة (26.70 مم) |
0.070 بوصة (1.78 مم) |
كالريز/فلورو كربون مطاطي (FKM) |
مقاومة الكيماويات |
|
AS-024 |
1.114 بوصة (28.30 مم) |
0.070 بوصة (1.78 مم) |
كالريز/فلورو كربون مطاطي (FKM) |
انبعاث غاز منخفض جدًّا |
|
AS-025 |
1.176 بوصة (29.87 مم) |
0.070 بوصة (1.78 مم) |
كالريز/فلورو كربون مطاطي (FKM) |
استقرار عالي في درجات الحرارة |
الاستنتاج
للمراحل الحرجة في تصنيع أشباه الموصلات، والطلاء البصري، وأنظمة الفراغ العالي، يوفّر حلقية الأختام AS024 المصنوعة من مادة Kalrez أو مطاط فلورو كربوني عالي الأداء (FKM) المقاومة المطلوبة للحفاظ على مستويات الفراغ العميق. إن الاستثمار في مواد تتمتّع بمقاومة كيميائية متفوّقة ومنخفضة الانبعاث الغازي يمنع الحاجة المتكررة لاستبدال الحلقية ويقلّل من تلوّث الغرفة في أفران المعالجة الحرارية ونظم كشف التسريبات. يجب دائمًا التأكّد من أن مواصفات حلقية الأختام Kalrez الخاصة بك هي منتج أصلي معتمد من شركة DuPont لتفادي الأعطال المكلفة في عمليات الإنتاج ذات الفراغ العالي.
