EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LV
SR
SK
VI
HU
MT
TH
TR
FA
MS
GA
CY
IS
KA
UR
LA
TA
MY
1. Kalrez/FKM O-kroužek Výkonové specifikace
Díly z perfluoroelastomeru Kalrez a vysokovýkonné FKM (fluoroelastomer) jsou zlatým standardem pro náročná těsnicí prostředí vyžadující extrémně vysokou chemickou odolnost a tepelnou stabilitu. Díly Kalrez® poskytují nízké vývěvné úniky (outgassing) v aplikacích vakuového těsnění. Perfluoroelastomery poskytují nízké vývěvné úniky v aplikacích vakuového těsnění. Tyto toroidní (O-kroužkové) komponenty s kódem 0240 nabízejí téměř univerzální chemickou odolnost a vydrží nepřetržitou teplotu až 275 °C (527 °F), přičemž některé třídy dosahují až 316 °C (600 °F). Kalrez® má vynikající výkon při vakuovém těsnění, nízké vývěvné úniky a vynikající elastickou obnovu. vlastnosti. Materiál si uchovává své elastické vlastnosti a těsnicí sílu i po dlouhodobém působení plazmy, korozivních procesních plynů a agresivních chemikálií.
2. Vakuový nástřikový stroj, detektor úniků a pec pro tepelné zpracování – provozní podmínky
Vysoce technologické zařízení pro tepelné zpracování, jako jsou například vakuové nástřikové stroje (PVD/CVD), detektory úniku a peci pro tepelné zpracování, pracují v prostředích vyžadujících bezkontaminační podmínky vysokého vakua. Při procesech usazování, jako je HDPCVD, PECVD, SACVD, kovová CVD a ALD, musí těsnění odolávat plazmě a agresivním plynům bez degradace. U vakuových nástřikových strojů by jakýkoli vývin plynů nebo rozklad vedl k kontaminaci komory a ovlivnil by usazování tenkých vrstev. Kalrez® polovodičové třídy jsou určeny právě pro tyto aplikace a nabízejí vynikající tepelnou stabilitu a nízký vývin plynů. V detektorech úniku poskytuje O-kroužek hermetické těsnění, které je nezbytné pro detekci mikroskopických úniků plynů. Rozměr AS024 se běžně používá u senzorových přípojek, přívodních rozvodů plynů a vakuových přírub, aby byly dosaženy požadované základní tlaky bez uvolňování par elastomeru či jeho degradace.
3. AS024 Velikost Graf & rozměry fo r Vakuum TECHNOLOGIE
AS024 (nebo AS-024) je tenký O-kroužek určený pro specializované vědecké a průmyslové vakuumové přípojky.
|
Číslo podle normy AS568 (Dash No.) |
Vnitřní průměr (ID) |
Průřez (CS) |
Materiál |
Klíčová vlastnost |
|
AS-023 |
1,051 palce (26,70 mm) |
0,070 palce (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Chemická odolnost |
|
AS-024 |
1,114 palce (28,30 mm) |
0,070 palce (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Mimořádně nízké vývěvné úniky |
|
AS-025 |
1,176 palce (29,87 mm) |
0,070 palce (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Vysoká teplotní stabilita |
Závěr
Pro kritické procesy ve výrobě polovodičů, optickém povlakování a systémech vysoce rozředěného vakua poskytuje O-kroužek typu AS024 z materiálu Kalrez nebo vysoce výkonného FKM potřebnou těsnost pro udržení hlubokého vakua. Investice do materiálů s vynikající chemickou odolností a nízkým vývěvným množstvím zabrání časté výměně těsnění a kontaminaci komory v pecích pro tepelné zpracování a systémech detekce úniků. vždy se ujistěte, že specifikace vašeho O-kroužku z Kalrezu odpovídají originálnímu produktu společnosti DuPont, abyste předešli nákladným poruchám v produkci za podmínek vysokého vakua.
