EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LV
SR
SK
VI
HU
MT
TH
TR
FA
MS
GA
CY
IS
KA
UR
LA
TA
MY
1. Kalrez/FKM Δαχτυλίδι O Προδιαγραφές απόδοσης
Τα εξαρτήματα Kalrez από περφθοροελαστομερές και τα υψηλής απόδοσης FKM (φθοροελαστομερή) αποτελούν τα «χρυσά πρότυπα» για απαιτητικά περιβάλλοντα σφράγισης που απαιτούν εξαιρετικά υψηλή αντίσταση σε χημικές ουσίες και θερμική σταθερότητα. Τα εξαρτήματα Kalrez® παρέχουν χαμηλή εκπομπή αερίων (outgassing) σε εφαρμογές σφράγισης κενού. Τα περφθοροελαστομερή παρέχουν επίσης χαμηλή εκπομπή αερίων σε εφαρμογές σφράγισης κενού. Αυτά τα δακτύλια με κωδικό αναφοράς AS0240 προσφέρουν σχεδόν καθολική χημική αντίσταση και μπορούν να αντέξουν συνεχείς θερμοκρασίες έως 275 °C (527 °F), ενώ ορισμένες βαθμίδες φθάνουν τους 316 °C (600 °F). Το Kalrez® διαθέτει εξαιρετική απόδοση σε εφαρμογές σφράγισης κενού, χαμηλή εκπομπή αερίων και εξαιρετική ελαστική ανάκαμψη. ιδιότητες. Το υλικό διατηρεί τις ελαστικές του ιδιότητες και τη δύναμη σφράγισης ακόμα και μετά από παρατεταμένη έκθεση σε πλάσμα, διαβρωτικά αέρια επεξεργασίας και επιθετικές χημικές ουσίες.
2. Μηχανή επίστρωσης κενού, ανιχνευτής διαρροών και κλίβανος θερμικής κατεργασίας – Συνθήκες λειτουργίας
Εξοπλισμός υψηλής τεχνολογίας για θερμική επεξεργασία, όπως μηχανήματα επίστρωσης σε κενό (PVD/CVD), ανιχνευτές διαρροών και κλίβανοι θερμικής κατεργασίας, λειτουργούν σε περιβάλλοντα που απαιτούν συνθήκες απαλλαγμένες από μόλυνση και υψηλού κενού. Σε διαδικασίες επίστρωσης όπως η HDPCVD, Η PECVD, η SACVD, η Metal CVD και η ALD, τα σφραγίσματα πρέπει να αντέχουν το πλάσμα και τα επιθετικά αέρια χωρίς να υποστούν φθορά. Στις μηχανές επίστρωσης σε κενό, οποιαδήποτε εκπομπή αερίων (outgassing) ή κατάρρευση θα οδηγούσε σε μόλυνση της θάλαμου, επηρεάζοντας την καταβόσκωση λεπτών υμενίων. Οι ημιαγωγικές βαθμίδες Kalrez® προορίζονται για αυτές τις εφαρμογές, προσφέροντας εξαιρετική θερμική σταθερότητα και χαμηλή εκπομπή αερίων. στους ανιχνευτές διαρροών, ο δακτύλιος O-ring παρέχει στεγανό σφράγισμα που είναι απαραίτητο για την ανίχνευση μικροσκοπικών διαρροών αερίου. Το μέγεθος AS024 χρησιμοποιείται συνήθως σε θύρες αισθητήρων, συλλέκτες εισόδου αερίου και φλάντζες κενού για την επίτευξη των απαιτούμενων βασικών πιέσεων χωρίς εκπομπή ατμών ελαστομερούς ή φθορά.
3. AS024 Μέγεθος Διάγραμμα & Διαστάσεις fo ρ Κενό Τεχνολογία
Το AS024 (ή AS-024) είναι ένας λεπτότοιχος δακτύλιος O-σχήματος, σχεδιασμένος για εξειδικευμένες επιστημονικές και βιομηχανικές υποδοχές κενού.
|
Αριθμός Dash AS568 |
Εσωτερική Διάμετρος (ID) |
Διατομή (CS) |
Υλικό |
Βασική ιδιότητα |
|
AS-023 |
1,051 ίντσες (26,70 mm) |
0,070 ίντσες (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Χημική αντοχή |
|
AS-024 |
1,114 ίντσες (28,30 mm) |
0,070 ίντσες (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Υπερχαμηλή εκκρίωση αερίων |
|
AS-025 |
1,176 ίντσες (29,87 mm) |
0,070 ίντσες (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Σταθερότητα σε υψηλές θερμοκρασίες |
Συμπέρασμα
Για κρίσιμες διαδικασίες στην παραγωγή ημιαγωγών, την οπτική επίστρωση και τα συστήματα υψηλού κενού το O-ring as024, κατασκευασμένο από Kalrez ή FKM υψηλής απόδοσης, παρέχει την απαραίτητη ακεραιότητα για τη διατήρηση επιπέδων βαθύτατου κενού. Η επένδυση σε υλικά με ανώτερη χημική αντοχή και χαμηλή εκπομπή αερίων αποτρέπει τη συχνή αντικατάσταση των σφραγίσεων και την επιμόλυνση της θαλάμου σε κλίβανους θερμικής κατεργασίας και συστήματα ανίχνευσης διαρροών. Βεβαιωθείτε πάντα ότι οι προδιαγραφές του O-ring Kalrez σας αντιστοιχούν σε γνήσιο προϊόν της DuPont, προκειμένου να αποφύγετε δαπανηρές αποτυχίες στην παραγωγή υψηλού κενού.
