EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LV
SR
SK
VI
HU
MT
TH
TR
FA
MS
GA
CY
IS
KA
UR
LA
TA
MY
۱. کالرِز/افکیام O-ring مشخصات عملکرد
قطعات پرفلوئوروالاستومر کلرِز و الکاستومرهای فلوئورو (FKM) با عملکرد بالا، استانداردهای طلایی برای محیطهای آببندی پ demanding هستند که مقاومت شیمیایی بسیار بالا و پایداری حرارتی را میطلبد. قطعات کلرِز® در کاربردهای آببندی خلاء، دفع گاز (آوتگازینگ) کمی ایجاد میکنند. پرفلوئوروالاستومرها نیز در کاربردهای آببندی خلاء دفع گاز کمی ارائه میدهند. این حلقههای مدل AS0240 تقریباً در برابر تمام مواد شیمیایی مقاوم هستند و میتوانند در دماهای پیوسته تا ۲۷۵ درجه سانتیگراد (۵۲۷ درجه فارنهایت) مقاومت کنند؛ برخی از درجات این ماده تا ۳۱۶ درجه سانتیگراد (۶۰۰ درجه فارنهایت) را نیز تحمل میکنند. کلرِز® عملکرد عالی در آببندی خلاء، دفع گاز کم و بازیابی الاستیک عالی دارد. ویژگیها: این ماده حتی پس از قرار گرفتن طولانیمدت در معرض پلاسما، گازهای فرآیندی خورنده و مواد شیمیایی تهاجمی نیز خواص الاستیک و نیروی آببندی خود را حفظ میکند.
۲. دستگاه پوششدهی خلاء، تشخیصدهنده نشتی و کوره پردازش حرارتی — شرایط کاری
تجهیزات پردازش حرارتی با تکنولوژی بالا مانند ماشین های پوشش خلاء ((PVD/CVD) ، آشکارسازان نشت و کوره های درمان حرارتی در محیط هایی که نیاز به بدون آلودگی، شرایط خلاء بالا. در فرآیندهای رسوب مانند HDPCVD، PECVD،SACVD،Metal CVD، و ALD، مهر و موم باید در برابر پلاسما و گاز های تهاجمی مقاومت کنند بدون تخریب.در ماشین های پوشش خلاء،هر گونه گازی شدن یا شکستن باعث می شود منجر به آلودگی اتاق می شود،که بر رسوب فیلم نازک تاثیر می گذارد. درجه های مورد نظر برای این برنامه ها هستند، ارائه ثبات حرارتی برجسته و کم در آشکارسازهای نشت، حلقه ی O یک مهر و موم هرمتیک را برای تشخیص گازهای میکروسکوپی از آن خارج می شوند. اندازه AS024 معمولا در درگاه های حسگر استفاده می شود، ورودی گاز و فلنج های خلاء برای رسیدن به فشار پایه مورد نیاز بدون آزاد شدن بخار یا تخریب استاتومر.
۳.AS024 اندازه نمودار & ابعاد fo ر خالیکن فناوری
AS024 (یا AS-024) حلقهای از جنس اورینگ با مقاطع نازک است که برای اتصالات خلأ تخصصی در حوزههای علمی و صنعتی طراحی شده است.
|
شماره خطچین AS568 |
قطر داخلی (ID) |
مقطع عرضی (CS) |
متریال |
ویژگی کلیدی |
|
AS-023 |
۱٫۰۵۱ اینچ (۲۶٫۷۰ میلیمتر) |
۰٫۰۷۰ اینچ (۱٫۷۸ میلیمتر) |
کالرِز/فلوروالاستومر (FKM) |
مقاومت در برابر مواد شیمیایی |
|
AS-024 |
۱٫۱۱۴ اینچ (۲۸٫۳۰ میلیمتر) |
۰٫۰۷۰ اینچ (۱٫۷۸ میلیمتر) |
کالرِز/فلوروالاستومر (FKM) |
بیروندهی بسیار پایین گاز |
|
AS-025 |
۱٫۱۷۶ اینچ (۲۹٫۸۷ میلیمتر) |
۰٫۰۷۰ اینچ (۱٫۷۸ میلیمتر) |
کالرِز/فلوروالاستومر (FKM) |
پایداری بالا در دما |
نتیجهگیری
برای فرآیندهای حیاتی در ساخت نیمههادیها، پوششدهی نوری و سیستمهای خلأ بالا حلقه O مدل as024 که از مواد کالرز یا FKM با عملکرد بالا ساخته شده است، پایداری لازم برای حفظ سطوح عمیق خلأ را فراهم میکند. سرمایهگذاری در موادی با مقاومت شیمیایی عالی و نرخ تخلیه گاز (outgassing) پایین، جایگزینیهای مکرر حلقههای آببندی و آلودگی محفظه را در کورههای پردازش حرارتی و سیستمهای تشخیص نشتی جلوگیری میکند. همیشه اطمینان حاصل کنید که مشخصات حلقه O کالرز شما مربوط به محصول اصیل شرکت دوپونت است تا از شکستهای پرهزینه در تولید با خلأ بالا جلوگیری شود.
