EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LV
SR
SK
VI
HU
MT
TH
TR
FA
MS
GA
CY
IS
KA
UR
LA
TA
MY
1. Kalrez/FKM O-renkaat Suorituskykyspesifikaatiot
Kalrez-perfluoroelastomeeriosat ja korkean suorituskyvyn FKM-fluoroelastomeerit ovat kultainen standardi vaativiin tiivistysympäristöihin, joissa vaaditaan erinomaista kemiallista kestävyyttä ja lämpötilavakautta. Kalrez®-osat tarjoavat alhaisen kaasunpurkautumisen (outgassing) tyhjiötiivistyssovelluksissa. Perfluoroelastomeerit tarjoavat alhaisen kaasunpurkautumisen tyhjiötiivistyssovelluksissa. Nämä AS0240-renkaan komponentit tarjoavat lähes yleismaisen kemiallisen kestävyyden ja kestävät jatkuvia lämpötiloja jopa 275 °C (527 °F), joissakin luokissa jopa 316 °C (600 °F). Kalrez®-materiaali tarjoaa erinomaisen tyhjiötiivistystehon, alhaisen kaasunpurkautumisen ja erinomaisen kimmoisuuden palautumisen. ominaisuudet. Materiaali säilyttää kimmoisuusominaisuutensa ja tiivistysvoimansa myös pitkäaikaisen altistumisen jälkeen plasma-, syövyttäville prosessikaasuille ja aggressiivisille kemikaaleille.
2. Tyhjiöpinnoituskone, vuodonilmaisin ja lämmönkäsittelyuuni – käyttöolosuhteet
Korkeateknologiset lämpökäsittelylaitteet, kuten tyhjiöpinnoituskoneet (PVD/CVD), vuotoilmaisimet ja lämpökäsittelyuunit, toimivat ympäristöissä, joissa säästöjen vähentäminen on välttämätöntä. PECVD,SACVD,Metal CVD ja ALD:n on vastattava plasmaa ja aggressiivisia kaasuja. vaakumaalauslaitteissa kaikki uloskaasu tai hajoaminen aiheuttaisi tämä on erittäin tärkeää, koska se voi aiheuttaa kammion saastumista, mikä vaikuttaa ohutkalvon jäännöstöön. nämä ominaisuudet ovat: lukujen havaitsijoissa O-renkaat tarjoavat hermeettisen tiivistyksen, joka on välttämätön mikroskooppiset kaasunlähteet. AS024-kokoinen on yleisesti käytetty anturiportteissa,kaasun sisäänkäynnin valmistus on tarkoitettu siten, että se on valmistettu ja valmistettu siten, että se on valmistettu ja valmistettu siten, että se on valmistettu ja valmistettu siten, että se on valmistettu ja valmistettu siten, että se on valmistettu ja valmistettu siten, että se on valmistettu ja valmistettu siten, että se on valmistettu ja valmistettu siten, että
3.AS024 Koko Kaaviokuva & Mitat fo r Tyhjiö TEKNOLOGIA
AS024 (tai AS-024) on ohutlehtinen O-renkaan muotoinen tiiviste, joka on suunniteltu erityisiin tieteellisiin ja teollisiin tyhjiöliittimiin.
|
AS568 -numero |
Sisähalkaisija (ID) |
Poikkileikkaus (CS) |
Materiaali |
Tärkeä ominaisuus |
|
AS-023 |
1,051 tuumaa (26,70 mm) |
0,070 tuumaa (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Kemikaalivastaisuus |
|
AS-024 |
1,114 tuumaa (28,30 mm) |
0,070 tuumaa (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Erittäin alhainen kaasunpurkautuminen |
|
AS-025 |
1,176 tuumaa (29,87 mm) |
0,070 tuumaa (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Korkea lämpötilavakaus |
Johtopäätös
Kriittisiin prosesseihin puolijohdetehdasvalmistuksessa, optisessa pinnoituksessa ja korkean tyhjiön järjestelmissä as024-sormus, joka on valmistettu Kalrez- tai korkean suorituskyvyn FKM-materiaalista, tarjoaa tarvittavan tiukkuuden syvän tyhjiön tason ylläpitämiseen. Sijoittamalla materiaaleihin, joilla on erinomainen kemiallinen kestävyys ja alhainen kaasunpurkautuminen, voidaan estää tiukkujen usein vaihdettava korvaaminen ja kammion kontaminaatio lämmöntreatment-uuneissa ja vuototarkastusjärjestelmissä. Varmista aina, että Kalrez-sormustesi tekniset tiedot vastaavat todellisia DuPont-tuotteita, jotta vältät kalliit epäonnistumiset korkean tyhjiön tuotannossa. kemiallinen kestävyys ja alhainen kaasunpurkautuminen estävät tiivisteen useita vaihtoja ja kammion kontaminaatiota lämmönkäsittelyuuneissa ja vuodon havaitsemisjärjestelmissä. Varmista aina, että Kalrez-o-renkaidesi tekniset tiedot vastaavat todellisia DuPont-tuotteita, jotta vältät kalliit viat korkean tyhjiön tuotannossa.
