EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LV
SR
SK
VI
HU
MT
TH
TR
FA
MS
GA
CY
IS
KA
UR
LA
TA
MY
1. Kalrez/FKM O-ring Spesifikasi kinerja
Komponen perfluoroelastomer Kalrez dan FKM (fluoroelastomer) berkinerja tinggi merupakan standar emas untuk lingkungan penyegelan yang menuntut ketahanan kimia ultra-tinggi dan stabilitas termal. Komponen Kalrez® memberikan pelepasan gas (outgassing) rendah dalam aplikasi penyegelan vakum. Perfluoroelastomer memberikan pelepasan gas rendah dalam aplikasi penyegelan vakum. Komponen cincin seri 0240 ini menawarkan ketahanan kimia hampir universal serta mampu menahan suhu kontinu hingga 275 ℃ (527 °F), dengan beberapa kelas mencapai 316 ℃ (600 °F). Kalrez® memiliki kinerja penyegelan vakum yang sangat baik, pelepasan gas rendah, serta pemulihan elastisitas yang luar biasa sifat-sifat tersebut. Material mempertahankan sifat elastisnya dan gaya penyegelan bahkan setelah terpapar plasma, gas proses korosif, dan bahan kimia agresif dalam jangka waktu lama.
2. Mesin Pelapisan Vakum, Detektor Kebocoran, dan Tungku Perlakuan Panas — Kondisi Kerja
Peralatan pemrosesan termal berteknologi tinggi seperti mesin pelapisan vakum (PVD/CVD), detektor kebocoran, dan tungku perlakuan panas beroperasi dalam lingkungan yang memerlukan kondisi bebas kontaminasi dan vakum tinggi. Dalam proses pengendapan seperti HDPCVD, PECVD, SACVD, Metal CVD, dan ALD, segel harus tahan terhadap plasma dan gas agresif tanpa mengalami degradasi. Pada mesin pelapisan vakum, pelepasan gas (outgassing) atau kerusakan apa pun akan menyebabkan kontaminasi ruang proses, yang berdampak pada pengendapan lapisan tipis. Kelas semikonduktor Kalrez® ditujukan khusus untuk aplikasi ini, menawarkan stabilitas termal luar biasa dan laju pelepasan gas (outgassing) rendah. pada detektor kebocoran, ring-O menyediakan segel hermetis yang esensial untuk mendeteksi kebocoran gas dalam skala mikroskopis. Ukuran AS024 umumnya digunakan pada port sensor, manifold saluran masuk gas, dan flensa vakum guna mencapai tekanan dasar (base pressure) yang diperlukan tanpa pelepasan uap elastomer atau degradasi.
3. AS024 Ukuran Grafik & Dimensi untuk r Vakum TEKNOLOGI
AS024 (atau AS-024) adalah O-ring berpenampang tipis yang dirancang khusus untuk sambungan vakum ilmiah dan industri.
|
Nomor Dash AS568 |
Diameter Dalam (ID) |
Penampang Melintang (CS) |
Bahan |
Sifat Utama |
|
AS-023 |
1,051 inci (26,70 mm) |
0,070 inci (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Resistensi kimia |
|
AS-024 |
1,114 inci (28,30 mm) |
0,070 inci (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Pengeluaran Gas Sangat Rendah |
|
AS-025 |
1,176 inci (29,87 mm) |
0,070 inci (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Stabilitas Suhu Tinggi |
Kesimpulan
Untuk proses kritis dalam fabrikasi semikonduktor, pelapisan optik, dan sistem vakum tinggi cincin-O as024 yang terbuat dari Kalrez atau FKM berkinerja tinggi memberikan integritas yang diperlukan untuk mempertahankan tingkat vakum dalam. Berinvestasi pada material dengan ketahanan kimia unggul dan laju degassing rendah mencegah penggantian segel yang sering serta kontaminasi ruang proses dalam tungku perlakuan panas dan sistem deteksi kebocoran. pastikan selalu spesifikasi cincin-O Kalrez Anda merupakan produk asli DuPont guna menghindari kegagalan mahal dalam produksi vakum tinggi.
