EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LV
SR
SK
VI
HU
MT
TH
TR
FA
MS
GA
CY
IS
KA
UR
LA
TA
MY
1. Kalrez/FKM O-hringur Frammistöðuspecificationar
Kalrez-perfluoroelastómerhlutar og háþrótta FKM (flúor-elastómer) eru gullstaðallinn fyrir áskrifandi þéttunarmiljó þar sem krafist er mjög hárra efna- og hitastöðugleika. Kalrez®-hlutar veita lágan útloka í tæmiþéttunartengingum. Perfluoroelastómer veita lágan útloka í tæmiþéttunartengingum. Þessir O-hringir (vörumerki 0240) bjóða upp á næstum almennt efnavarnir og geta þolað samfellda hitastig upp að 275°C (527°F), með sumum stigum sem ná allt að 316°C (600°F). Kalrez® hefur framúrskarandi afstaða við tæmiþéttun, lágan útloka og framúrskarandi elástísk endurheimt. eiginleikar. Efnið viðheldur elástísku eiginleikum sínum og þéttunarkrafti jafnvel eftir langvarandi útsetningu við plasma, rýnandi ferlisskynja gas og ágripandi efni.
2. Tæmiþekkingavél, lekkjagildi og hitameðferðarofn – starfsskilyrði
Háþróað hitaferðitæki, svo sem tómurhjúpunarvélar (PVD/CVD), lekstekkar og hitabehandlingsofnir, starfa í umhverfi sem krefjast ósaumra, háttómar skilyrða. Í afsetningarferlum eins og HDPCVD, PECVD, SACVD, Metal CVD og ALD verða þéttunargögn að standa á móti plasma og áhrifameiðandi gásföllum án brotshöfnunar. Í tómurhjúpunarvélum myndi einhver útgufa eða brotshöfnun leiða til saumra í rýminu, sem hefur áhrif á þunnfilmasetninguna. Kalrez®-gæði fyrir hálfleiðara eru átt við þessar notkunarsvið og bjóða framúrskarandi hitastöðugleika og lág útgufu. í lekstekkum veitir O-hringurinn þéttan þéttun sem er nauðsynleg til að greina mikroskópíska gasútgang. Stærðin AS024 er algeng í skynjaportum, innflæðisreikistöngum og tómurhjúpunarflensum til að ná nauðsynlegum grunnþrýstingi án útgufu elástómera eða brotshöfnunar.
3. AS024 Stærð Litaskeið & Mál fo r Tómþrýstingur TEKNÓLOGI
AS024 (eða AS-024) er þunnhluta-O-hringur sem er hannaður fyrir sérstaka vísindaleg og iðnaðarlega vacúumtæki.
|
AS568 Dash-númer |
Innri þvermál (ID) |
Þversnið (CS) |
Efni |
Lykilatriði |
|
AS-023 |
1,051 in (26,70 mm) |
0,070 in (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Efnisfastni |
|
AS-024 |
1,114 in (28,30 mm) |
0,070 in (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Mjög lágt útgassing |
|
AS-025 |
1,176 in (29,87 mm) |
0,070 in (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Háhitastöðugleiki |
Ályktun
Fyrir mikilvægar ferla í framleiðslu hálfleiðara, optískri þekkingu og há-vöku vegna as024 hringlaga þéttunar úr Kalrez eða háa afstöðuflokkss FKM er tryggð nauðsynleg heildarmynd til að viðhalda djúpum vökuþrotum. Með því að investera í efni með yfirleitandi efnaþol og lágan útdeildun á gasi er hægt að koma í veg fyrir tíðar skiptingar á þéttunum og mengun á rýmdinni í hitameðferðarofnum og leksgreiningarkerfum. Ávallt skal ganga úr skugga um að Kalrez hringlaga þéttunin sé raunveruleg DuPont vörumerki til að koma í veg fyrir dýra misheppanir í há-vöku framleiðslu. efnaþolnun og lág útgassing koma í veg fyrir tíðar skiptingar á þéttunum og mengun á rýmdinni í hitabehandlingsofnum og lektskráningarkerfum. Tryggjaðu alltaf að Kalrez-ringsþéttanirnar sem þú notar séu fullréttar DuPont-vörur til að koma í veg fyrir dýr mistök í framleiðslu með háum tómrum.
