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1. Kalrez/FKM O-ring Specifiche delle prestazioni
I componenti in perfluoroelastomero Kalrez® e gli elastomeri fluorurati ad alte prestazioni (FKM) rappresentano lo standard di riferimento per ambienti di tenuta esigenti che richiedono un’eccezionale resistenza chimica e stabilità termica. I componenti Kalrez® garantiscono una bassa emissione di gas (outgassing) nelle applicazioni di tenuta sotto vuoto. I perfluoroelastomeri garantiscono una bassa emissione di gas (outgassing) nelle applicazioni di tenuta sotto vuoto. Questi anelli della serie 0240 offrono una resistenza chimica quasi universale e possono sopportare temperature continue fino a 275 °C (527 °F), con alcune qualità che raggiungono i 316 °C (600 °F). Kalrez® offre eccellenti prestazioni di tenuta sotto vuoto, bassa emissione di gas (outgassing) ed eccellente recupero elastico. proprietà: il materiale mantiene le proprie caratteristiche elastiche e la forza di tenuta anche dopo prolungata esposizione a plasma, gas di processo corrosivi e sostanze chimiche aggressive.
2. Macchina per rivestimenti sotto vuoto, rilevatore di perdite e forno per trattamenti termici – Condizioni operative
Attrezzature ad alta tecnologia per il trattamento termico, come macchine per rivestimento in vuoto (PVD/CVD), rilevatori di perdite e forni per trattamento termico, operano in ambienti che richiedono condizioni prive di contaminazione e ad alto vuoto. Nei processi di deposizione come HDPCVD, PECVD, SACVD, CVD per metalli e ALD, le guarnizioni devono resistere al plasma e ai gas aggressivi senza subire degradazione. Nelle macchine per rivestimento in vuoto, qualsiasi emissione di gas (outgassing) o degradazione causerebbe la contaminazione della camera, compromettendo la deposizione dei film sottili. I gradi Kalrez® per settore semiconduttore sono specificatamente progettati per queste applicazioni, offrendo un’eccezionale stabilità termica e una bassa emissione di gas. nei rilevatori di perdite, la guarnizione toroidale (O-ring) garantisce una tenuta ermetica essenziale per rilevare fuoriuscite microscopiche di gas. La misura AS024 è comunemente utilizzata nei portali sensori, nei collettori di ingresso gas e nelle flange per vuoto per raggiungere le pressioni di base richieste, senza rilascio di vapori dell’elastomero o degradazione.
3. AS024 Dimensioni Grafico & Dimensioni fo r Vuoto TECNOLOGIA
L'AS024 (o AS-024) è una guarnizione toroidale a sezione sottile progettata per raccordi specializzati per vuoto scientifici e industriali.
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Numero Dash AS 568 |
Diametro interno (ID) |
Sezione trasversale (CS) |
Materiale |
Proprietà principale |
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AS-023 |
1,051 pollici (26,70 mm) |
0,070 pollici (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Resistenza chimica |
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AS-024 |
1,114 pollici (28,30 mm) |
0,070 pollici (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Emissione di gas estremamente bassa |
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AS-025 |
1,176 pollici (29,87 mm) |
0,070 pollici (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Stabilità a elevate temperature |
Conclusione
Per processi critici nella fabbricazione di semiconduttori, nei rivestimenti ottici e nei sistemi ad alto vuoto la guarnizione a sezione circolare AS024 realizzata in Kalrez o in FKM ad alte prestazioni garantisce l' integrità necessaria per mantenere livelli di vuoto spinto. Investire in materiali con eccellente resistenza chimica e bassa degassificazione evita sostituzioni frequenti delle guarnizioni e contaminazioni della camera nei forni per trattamenti termici e nei sistemi di rilevamento perdite. Assicurarsi sempre che le specifiche della guarnizione a sezione circolare in Kalrez corrispondano effettivamente a prodotti originali DuPont per evitare guasti costosi nella produzione ad alto vuoto. la resistenza chimica e la bassa emissione di gas impediscono la sostituzione frequente delle guarnizioni e la contaminazione della camera nei forni per trattamenti termici e nei sistemi di rilevamento delle perdite. Assicurarsi sempre che le specifiche delle guarnizioni Kalrez siano autentiche prodotti DuPont per evitare costosi guasti nella produzione ad alto vuoto.
