EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LV
SR
SK
VI
HU
MT
TH
TR
FA
MS
GA
CY
IS
KA
UR
LA
TA
MY
1. Kalrez/FKM עיגול גומי פרטים של ביצועים
חלקים מפוליאלסטומר פרו-פלואורו (Kalrez) ופוליאלסטומרים פלואורו (FKM) בעלי ביצועים גבוהים הם הסטנדרטים האולימפיים לסביבות איטום קשות הדורשות עמידות כימית גבוהה במיוחד ויציבות תרמית. חלקים מסוג Kalrez® מספקים שחרור נמוך של גזים (outgassing) ביישומים של איטום ריק. פוליאלסטומרים פרו-פלואורו מספקים שחרור נמוך של גזים ביישומים של איטום ריק. הרכיבים האנulares מסוג 0240 אלו מציעים עמידות כימית כמעט אוניברסלית ויוכלו ל chịu טמפרטורות רציפות עד 275°מ (527°פ), ואצל דרגות מסוימות – עד 316°מ (600°פ). ל-Kalrez® יש ביצועי איטום ריק מעולים, שחרור נמוך של גזים, ושחזור אלסטי מעולה. התכונות. החומר שומר על תכונותיו האלסטיות ועל כוח האיטום שלו גם לאחר חשיפה ממושכת לפלזמה, לגזי תהליך קורוזיביים ולכימיקלים אגרסיביים.
2. מכונת קידוד בריק, גלאי דליפות ומערכת טיפול תרמי בתנאי עבודה
ציוד מתקדם לעיבוד תרמי, כגון מכונות קיטוב בואקום (PVD/CVD), גלאי דליפות ותנורי טיפול תרמי, פועל בסביבות הדורשות תנאי ואקום גבוהים ללא זיהום. בתהליכי הקטבה כגון HDPCVD, PECVD, SACVD, קטבה מתכתית (Metal CVD) וקטבה אטומית (ALD), החתימות חייבות לספק התנגדות לפלזמה ולגאזים אגרסיביים בלי לקוות. במכונות קיטוב בואקום, כל שחרור גז או תהליך התפרקות יובילו לזיהום המגש, מה שיפגע בהצמדת סרט דק. דרגות הסמיקונדקטור של Kalrez® מיועדות ליישומים אלו, ומציעות יציבות תרמית יוצאת מן הכלל ושחרור מינימלי של גזים. בגלאי דליפות, טבעת ה-O מספקת חתימה הרמטית הכרחית לגילוי דליפות גז מיקרוסקופיות. גודל AS024 בשימוש נפוץ ביציאות חיישנים, במניפולדים להזרקת גז ובפלנגות ואקום כדי להשיג את לחץ היסוד הנדרש, ללא שחרור אדים של אלסטומר או התדרדרות שלו.
3. AS024 גוֹדֶל טבלה & מידות ל ר ואקום טכנולוגיה
ה-AS024 (או AS-024) הוא אוגר חתוך-דק שנועד לחיישנים מיוחדים בתחום המדעי והתעשייתי של ריק.
|
מספר דאש של AS568 |
קוטר פנימי (ID) |
חתך רוחב (CS) |
חומר |
תכונה رئيسית |
|
AS-023 |
1.051 אינץ' (26.70 מ"מ) |
0.070 אינץ' (1.78 מ"מ) |
Kalrez/FKM |
התנגדות^Kימית |
|
AS-024 |
1.114 אינץ' (28.30 מ"מ) |
0.070 אינץ' (1.78 מ"מ) |
Kalrez/FKM |
פליטה מינימלית במיוחד |
|
AS-025 |
1.176 אינץ' (29.87 מ"מ) |
0.070 אינץ' (1.78 מ"מ) |
Kalrez/FKM |
יציבות בטמפרטורות גבוהות |
סיכום
לתהליכים קריטיים בייצור חצאי מוליכים, ביצוע שכבת כיסוי אופטית ומערכות ואקום גבוה הטבעת O של as024, המיוצרת מקולרץ או מ-FKM בעל ביצועים גבוהים, מספקת את האמינות הדרושה לשמירת רמות ואקום עמוק. השקעה בחומרים בעלי עמידות כימית מעולה ופליטה נמוכה של גזים מונעת החלפת טבעות החסימה באופן תכוף וכן זיהום המגש והמערכת במכונות עיבוד חום ובמערכות איתור דליפות. תמיד ודאו כי مواصفות הטבעת O מקולרץ הן של מוצר אוטנטי של DuPont, כדי להימנע מהindrות יקרות בעלות בתהליכי ייצור באווקום גבוה. הטבעת O של as024, המיוצרת מקולרץ או מ-FKM בעל ביצועים גבוהים, מספקת את האמינות הדרושה לשמירת רמות ואקום עמוק. השקעה בחומרים בעלי עמידות כימית מעולה ופליטה נמוכה של גזים מונעת החלפת טבעות החסימה באופן תכוף וכן זיהום המגש והמערכת במכונות עיבוד חום ובמערכות איתור דליפות. תמיד ודאו כי مواصفות הטבעת O מקולרץ הן של מוצר אוטנטי של DuPont, כדי להימנע מהindrות יקרות בעלות בתהליכי ייצור באווקום גבוה.
