EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LV
SR
SK
VI
HU
MT
TH
TR
FA
MS
GA
CY
IS
KA
UR
LA
TA
MY
1. 칼레즈/FKM 오 링 성능 사양
Kalrez® 퍼플루오로엘라스토머 부품과 고성능 FKM(불소고무)은 초고도 화학 저항성 및 열 안정성을 요구하는 엄격한 실링 환경에서 금자탑으로 평가받는 소재입니다. Kalrez® 부품은 진공 실링 응용 분야에서 낮은 아웃가싱 특성을 제공합니다. 퍼플루오로엘라스토머는 진공 실링 응용 분야에서 낮은 아웃가싱 특성을 제공합니다. 이 AS0240 링 부품은 거의 보편적인 화학 저항성을 갖추고 있으며, 최대 275℃(527°F)까지의 연속 작동 온도를 견딜 수 있으며, 일부 등급은 316℃(600°F)까지 견딜 수 있습니다. Kalrez®는 뛰어난 진공 실링 성능, 낮은 아웃가싱 특성, 그리고 우수한 탄성 복원력을 갖추고 있습니다. 이 소재는 플라즈마, 부식성 공정 가스, 강력한 화학 물질에 장기간 노출된 후에도 탄성 특성과 실링력을 유지합니다.
2. 진공 코팅 기계, 누출 탐지기, 열처리 용광로 작동 조건
진공 코팅 장치(PVD/CVD), 누출 탐지기, 열처리 용광로와 같은 첨단 열처리 장비는 오염되지 않고 고진공 조건이 요구되는 환경에서 작동합니다. hDPCVD와 같은 증착 공정에서 PECVD, SACVD, 금속 CVD, ALD 등에서는 실링재가 플라즈마 및 공격적인 가스에 저항해야 하며, 이로 인한 열화가 없어야 합니다. 진공 코팅 장치에서 어떠한 개스 방출(outgassing)이나 열화도 챔버 오염을 유발하여 박막 증착 품질에 영향을 미칩니다. Kalrez® 반도체용 등급은 이러한 응용 분야를 위해 특별히 개발되었으며, 뛰어난 열 안정성과 낮은 개스 방출 특성을 제공합니다. 진공 코팅 장치에서 어떠한 개스 방출(outgassing)이나 열화도 챔버 오염을 유발하여 박막 증착 품질에 영향을 미칩니다. Kalrez® 반도체용 등급은 이러한 응용 분야를 위해 특별히 개발되었으며, 뛰어난 열 안정성과 낮은 개스 방출 특성을 제공합니다. 누출 탐지기에서 O-링은 미세한 가스 누출을 감지하기 위해 필수적인 기밀 밀봉을 제공합니다. aS024 규격은 센서 포트, 가스 입구 매니폴드, 진공 플랜지 등에 일반적으로 사용되며, 엘라스토머의 증기 방출 또는 열화 없이 요구되는 베이스 압력을 달성합니다. aS024 규격은 센서 포트, 가스 입구 매니폴드, 진공 플랜지 등에 일반적으로 사용되며, 엘라스토머의 증기 방출 또는 열화 없이 요구되는 베이스 압력을 달성합니다.
3. AS024 크기 차트 & 치수 포 r 진공 기술
AS024(또는 AS-024)는 특수 과학 및 산업용 진공 피팅을 위해 설계된 얇은 단면 O형 링입니다.
|
AS568 대시 번호 |
내경 (ID) |
단면적(CS) |
재질 |
주요 특성 |
|
AS-023 |
1.051인치(26.70mm) |
0.070인치(1.78mm) |
칼레즈/FKM |
화학물질 저항성 |
|
AS-024 |
1.114인치(28.30mm) |
0.070인치(1.78mm) |
칼레즈/FKM |
초저방출(초저아웃가싱) |
|
AS-025 |
1.176인치(29.87mm) |
0.070인치(1.78mm) |
칼레즈/FKM |
고온 안정성 |
결론
반도체 제조, 광학 코팅, 고진공 시스템과 같은 핵심 공정에서 칼레즈(Kalrez) 또는 고성능 FKM 소재로 제작된 AS024 오링은 심층 진공 수준을 유지하기 위한 필수적인 밀봉 성능을 제공합니다. 우수한 내화학성과 낮은 탈기율을 갖춘 소재를 투자함으로써 열처리 용광로 및 누출 검출 시스템에서 자주 발생하는 실링 부품 교체와 챔버 오염을 방지할 수 있습니다. 고진공 생산 공정에서 비용이 많이 드는 고장 사고를 피하려면, 항상 칼레즈 오링의 사양이 듀폰(DuPont)사의 정품 제품임을 확인하십시오.
