EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LV
SR
SK
VI
HU
MT
TH
TR
FA
MS
GA
CY
IS
KA
UR
LA
TA
MY
1. Kalrez/FKM O-ring SPECIFICATIONES PERFORMANTIAE
Partes ex Kalrez® perfluoroelastomero et elastomera fluoro (FKM) praestantissima sunt normae aureae pro exigentibus condicionibus sigillandi, quae ultra-altam resistentiam chemicam et stabilitatem thermicam postulant. Partes Kalrez® parvum emissarum substantiarum in applicationibus sigillandi sub vacuo praebent. Perfluoroelastomera parvum emissarum substantiarum in applicationibus sigillandi sub vacuo praebent. Haec anularia componentia typi 0240 fere universalem resistentiam chemicam habent et temperaturas continuas usque ad 275 °C (527 °F) ferre possunt, quaedam vero species usque ad 316 °C (600 °F). Kalrez® praestat egregiam performancem in sigillando sub vacuo, parvum emissarum substantiarum et egregiam elasticam restitutionem. proprietates. Materialis suas proprietates elasticas et vim sigillandi retinet etiam post diuturnam expositionem ad plasma, gases corrosivos processus et chemicas aggressivas.
2. Machina recutientis sub vacuo, detector perditorum, et fornax tractationis thermicae: condicionum operativarum
Apparatus ad thermicam tractationem altius technicum, ut machinae ad recubationem in vacuo (PVD/CVD), detectores percolationis, et fornaces ad tractationem caloris, operantur in ambientibus quae postulant condiciones sine contaminatione et sub alto vacuo. In processibus depositionis, ut HDPCVD, PECVD, SACVD, Metal CVD, et ALD, signa hermetica resistere debent plasma et gases agressivos sine deterioriatione. In machinis ad recubationem in vacuo, quaelibet emissio gasorum ex materia (outgassing) aut ruptura duceret ad contaminationem camerae, quae depositionem tenuis pelliculae afficeret. Gradus Kalrez® pro semiconductoribus ad has applicationes destinati sunt, praebentes excellentem stabilitatem thermicam et parvam emissionem gasorum ex materia (outgassing). In detectoribus percolationis, anulus O signum hermeticum praebet quod necessarium est ad detegendos microscopicos efflusus gasorum. Magnitudo AS024 vulgo adhibetur in portubus sensorum, in collectis ad introitum gasorum, et in flangis vacuum ad adipiscendam pressionem fundamentalem requisitam sine emissione vaporum elastomerorum aut deterioriatione.
3. AS024 Magnitudo Tabula & Dimensiones sub r Vacuum Technology
AS024 (aut AS-024) est anulus elasticus tenuis, qui ad aptationes scientificas et industriales sub vacuo specialiter destinatus est.
|
Numerus AS568 (Dash No.) |
Diameter interior (ID) |
Sectio transversa (CS) |
Materia |
Proprietatis Principalis |
|
AS-023 |
1,051 in (26,70 mm) |
0,070 pollicis (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Chemical Resistentia |
|
AS-024 |
1,114 in (28,30 mm) |
0,070 pollicis (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Effluvium Ultra-Parvum |
|
AS-025 |
1,176 in (29,87 mm) |
0,070 pollicis (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Stabilitas Ad Temperaturas Altas |
Summa
Pro processibus criticis in fabricanda semiconductorum, in recubatione optica, et in systematibus alti vacui annulus O as024, ex Kalrez vel ex FKM praestantissimo confectus, necessariam integritatem praebet ad servandos gravis vacui gradus. investire in materiales cum praestanti resistentia chemica et exsufflatione parva impedimentum praebet saepius annulorum substituendorum et contaminationis camarae in fornacibus tractationis calorificae et in systematibus detegendi effugium. semper cure ut specificatio annuli O Kalrez verae DuPont sit, ut evitentur defectus onerosi in productione alti vacui.
