EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LV
SR
SK
VI
HU
MT
TH
TR
FA
MS
GA
CY
IS
KA
UR
LA
TA
MY
1. Kalrez/FKM O-ring Speċifikazzjonijiet tal-prestazzjoni
Il-parti ta' Kalrez perfluoroelastomer u l-FKM (fluoroelastomer) għolja prestazzjoni huma l-bażi tal-istandard għall-biżniss ta' sigillatura imħeġġa li jtebba ħafna resistenza kemika u stabbiltà termika. Il-parti Kalrez® jipprovdu baxxa emissjoni ta' gass f’applikazzjonijiet ta' sigillatura fil-vakwu. Il-perfluoroelastomer jipprovdu baxxa emissjoni ta' gass f’applikazzjonijiet ta' sigillatura fil-vakwu. Dawn il-komponenti tal-għajnuna 0240 offru resistenza kemika prattikament universali u jistgħu jisħqu temperaturi kontinwi sa 275°C (527°F), b’xi klassijiet li jaslu sa 316°C (600°F). Kalrez® għandu prestazzjoni eċċellenti fil-sigillatura fil-vakwu, baxxa emissjoni ta' gass u rikupru elastiku eċċellenti il-proprjetajiet. Il-materjal iżda jżomm il-proprjetajiet elastiku u l-forza ta' sigillatura anke wara esposizzjoni ittulja għall-plasma, il-gassijiet proċessur korrozivi, u l-kimiki aggressivi.
2. Makina għat-tqassim fil-vakwu, Detettur ta' Ħsara, u Furna għat-Trattament B’Is-seħħ
Iżda ħaġħel għall-ipproċessar termiku b’teknoloġija għolja bħal makkini għat-tisħin f’vaku, id-detetturi ta’ ħsara u l-fornijiet għall-ittrattament b’ħużza joperaw f’ambjenti li jtalbu kundizzjonijiet ta’ vaku għoli mingħajr kontaminazzjoni. Fir-rikoprimenti bħal HDPCVD, PECVD, SACVD, Metal CVD u ALD, iż-ziqqijiet irridu jirresistu l-plasma u l-gassijiet aggressivi bila degradazzjoni. F’makkini għat-tisħin f’vaku, kwalunkwe emissjoni ta’ gass jew degradazzjoni se wassal għall-kontaminazzjoni tal-kamra, li taffettwa r-rikopriment tat-tajjara. Il-gradi semikondutturi ta’ Kalrez® huma mirati għal dawn l-applikazzjonijiet, u joffru stabbiltà termika ekċellenti u emissjoni baxxa ta’ gassijiet. f’detetturi ta’ ħsara, l-O-ring jipprovdi ż-ziqqa ermetika meħtieġa biex tiddettaga l-iskappi mikroskopiċi ta’ gass. Iż-żda ġenerali AS024 huwa komunement użat f’portijiet tas-sensur, manifoldijiet tal-gass u flanġi ta’ vaku biex jiżda l-pressjoni bażi meħtieġa mingħajr li l-elastomer jieħu jew jidegradja.
3. AS024 Dimanzi Kartun &Dimensjonijiet fo r Vakuu Teknoloġija
L-AS024 (jew AS-024) huwa O-ring ta’ sezzjoni ħażina iddisinjat għall-attakki speċjalizzati għall-vakwu f’kontesti xjentifiċi u inżinjeri.
|
Numru tal-AS568 |
Diametru Intern (ID) |
Sezzjoni Trasversali (CS) |
Materjal |
Propjetà Eżzenzjali |
|
AS-023 |
1.051 pulzier (26.70 mm) |
0.070 ħaġra (1.78 mm) |
Kalrez/FKM |
Reżistenza Kimika |
|
AS-024 |
1.114 pulzier (28.30 mm) |
0.070 ħaġra (1.78 mm) |
Kalrez/FKM |
Eżsorżjoni Ħafifa Ħafna |
|
AS-025 |
1.176 pulzier (29.87 mm) |
0.070 ħaġra (1.78 mm) |
Kalrez/FKM |
Stabbiltà għall-Biżżejjed Għoli |
Konklużjoni
Għal proċessi kritiċi fil-fabbrikazzjoni ta’ semikondukturi, il-koating ottiku, u s-sistemi b’vuot għoli, l-o-ring as024 magħmul minn Kalrez jew FKM ta’ prestazzjoni għolja jipprovdi l-integrità meħtieġa biex isir it-taħżin ta’ livelli profondi ta’ vuot. L-investiment f’materjali b’reżistenza kimika superjuri u b’bassu ħarġa ta’ gass jipprevjen ir-riżultat tal-bidla frekwenti tar-rings ta’ sigillatura u t-taħlita tal-kamra fis-sistemi tat-trattament b’ħoss u tas-sistemi tat-tħaddim tal-lek. il-Kalrez o-ring jipprovdi l-integrità meħtieġa biex isir it-taħżin ta’ livelli profondi ta’ vuot. L-investiment f’materjali b’reżistenza kimika superjuri u b’bassu ħarġa ta’ gass jipprevjen ir-riżultat tal-bidla frekwenti tar-rings ta’ sigillatura u t-taħlita tal-kamra fis-sistemi tat-trattament b’ħoss u tas-sistemi tat-tħaddim tal-lek. il-Kalrez o-ring jipprovdi l-integrità meħtieġa biex isir it-taħżin ta’ livelli profondi ta’ vuot. L-investiment f’materjali b’reżistenza kimika superjuri u b’bassu ħarġa ta’ gass jipprevjen ir-riżultat tal-bidla frekwenti tar-rings ta’ sigillatura u t-taħlita tal-kamra fis-sistemi tat-trattament b’ħoss u tas-sistemi tat-tħaddim tal-lek. iżda ddum sew daħħal li l-speċifikazzjonijiet tal-o-ring Kalrez huma prodott oriġinali ta’ DuPont biex tevita l-iffrak kostużi fis-silta ta’ produzzjoni b’vuot għoli.
