EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LV
SR
SK
VI
HU
MT
TH
TR
FA
MS
GA
CY
IS
KA
UR
LA
TA
MY
1. Kalrez/FKM O-ring Prestasjonsspesifikasjonar
Kalrez-perfluoroelastomerdelar og høyytelses-FKM (fluoroelastomer) er gullstandarden for kravfulle tettningsmiljøer som krever ekstremt høy kjemisk motstandsdyktighet og termisk stabilitet. Kalrez®-delar gir lav utgassing i vakuumtettningsapplikasjoner. Perfluoroelastomerer gir lav utgassing i vakuumtettningsapplikasjoner. Disse O-ring-komponentene tilbyr nesten universell kjemisk motstandsdyktighet og kan tåle kontinuerlige temperaturer opp til 275 °C (527 °F), der noen kvaliteter når 316 °C (600 °F). Kalrez® har utmerka vakuumtettningsytelse, lav utgassing og utmerka elastisk gjenoppretting egenskaper. Materialet beholder sine elastiske egenskaper og tettekraft også etter lengre eksponering for plasma, korrosive prosessgasser og aggressive kjemikalier.
2. Vakuumbelagningssystem, lekkasjedetektor og varmebehandlingsovn – driftsforhold
Høyteknologisk utstyr for termisk behandling, som vakuumbeleggningmaskiner (PVD/CVD), lekkasjedetektorer og varmebehandlingsovner, opererer i miljøer som krever kontaminasjonsfrie, høyvakuumforhold. Ved avsetningsprosesser som HDPCVD, PECVD, SACVD, metall-CVD og ALD må tetninger motstå plasma og aggressive gasser uten nedbrytning. I vakuumbeleggningmaskiner vil all utgassing eller nedbrytning føre til kontaminering av kammeret, noe som påvirker tynnfilmsavsetningen. Kalrez®-kvaliteter for halvledere er rettet mot disse anvendelsene og tilbyr fremragende termisk stabilitet og lav utgassing. I lekkasjedetektorer gir O-ring-en en hermetisk tetning som er avgjørende for oppdagelse av mikroskopiske gasslekkasjer. Størrelsen AS024 brukes vanligvis i sensortilslutninger, gassinntak manifolder og vakuumflenser for å oppnå nødvendig grunntrykk uten frigivelse av elastomervanndamp eller nedbrytning.
3. AS024 Størrelse Tabel & Dimensjoner fo r Vakuum TEKNOLOGI
AS024 (eller AS-024) er en tynnringdesignet for spesialiserte vitenskapelige og industrielle vakuumfittings.
|
AS568 Dash-nr. |
Indre diameter (ID) |
Tverrsnitt (CS) |
Materiale |
Nøkkelinnbygging |
|
AS-023 |
1,051 tommer (26,70 mm) |
0,070 tommer (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Kjemisk motstand |
|
AS-024 |
1,114 tommer (28,30 mm) |
0,070 tommer (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Ekstremt lav utgassing |
|
AS-025 |
1,176 tommer (29,87 mm) |
0,070 tommer (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Høy temperaturstabilitet |
Konklusjon
For kritiske prosesser i halvlederprodusering, optisk belægning og høyvakuum systemer gir O-ring AS024 laget av Kalrez eller høyytende FKM den nødvendige integriteten for å opprettholde dypvakuumnivåer. Å investere i materialer med overlegen kjemisk motstandsdyktighet og lav utgassing forhindrer hyppig utskifting av tetninger og forurensning av kammeret i varmebehandlingsovner og lekkasjedeteksjonssystemer. Sørg alltid for at spesifikasjonene for din Kalrez O-ring er autentiske DuPont-produkter for å unngå kostbare svikter i produksjon med høyvakuum.
