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1. Kalrez/FKM O-ring Especificações de desempenho
As peças de perfluoroelastômero Kalrez® e os elastômeros fluorados de alto desempenho (FKM) são os padrões-ouro para ambientes de vedação exigentes, que requerem resistência química extremamente elevada e estabilidade térmica. As peças Kalrez® apresentam baixa emissão de gases (outgassing) em aplicações de vedação a vácuo. Os perfluoroelastômeros oferecem baixa emissão de gases em aplicações de vedação a vácuo. Esses componentes em forma de anel, modelo 0240, proporcionam resistência química praticamente universal e suportam temperaturas contínuas de até 275 °C (527 °F), com algumas classes atingindo 316 °C (600 °F). O Kalrez® possui excelente desempenho em vedação a vácuo, baixa emissão de gases e excelente recuperação elástica. propriedades. O material mantém suas propriedades elásticas e sua força de vedação mesmo após exposição prolongada ao plasma, a gases corrosivos de processo e a produtos químicos agressivos.
2. Máquina de Revestimento a Vácuo, Detector de Vazamentos e Forno de Tratamento Térmico — Condições de Trabalho
Equipamentos de processamento térmico de alta tecnologia, como máquinas de revestimento a vácuo (PVD/CVD), detectores de vazamentos e fornos de tratamento térmico, operam em ambientes que exigem condições livres de contaminação e de alto vácuo. Em processos de deposição como HDPCVD, PECVD, SACVD, CVD metálica e ALD, as juntas devem resistir ao plasma e a gases agressivos sem sofrer degradação. Nas máquinas de revestimento a vácuo, qualquer liberação de gases (outgassing) ou degradação levaria à contaminação da câmara, afetando a deposição de filmes finos. As grades de Kalrez® para semicondutores são direcionadas a essas aplicações, oferecendo excelente estabilidade térmica e baixa emissão de gases. nos detectores de vazamentos, a junta tórica fornece um vedação hermética essencial para detectar vazamentos microscópicos de gás. O tamanho AS024 é comumente utilizado em portas de sensores, coletoras de entrada de gás e flanges de vácuo para atingir as pressões-base exigidas, sem liberação de vapores do elastômero ou degradação.
3. AS024 Tamanho Gráfico & Dimensões para r Vácuo TECNOLOGIA
O AS024 (ou AS-024) é uma junta tórica de seção fina projetada para conexões especiais de vácuo científicas e industriais.
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Nº AS568 |
Diâmetro Interno (DI) |
Seção Transversal (ST) |
Material |
Propriedade Principal |
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AS-023 |
1,051 pol. (26,70 mm) |
0,070 pol (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Resistência química |
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AS-024 |
1,114 pol. (28,30 mm) |
0,070 pol (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Emissão Ultra-Baixa de Gases |
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AS-025 |
1,176 pol. (29,87 mm) |
0,070 pol (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Estabilidade em Altas Temperaturas |
Conclusão
Para processos críticos na fabricação de semicondutores, revestimento óptico e sistemas de alto vácuo o anel de vedação as024 feito de Kalrez ou FKM de alto desempenho fornece a integridade necessária para manter níveis profundos de vácuo. Investir em materiais com resistência química superior e baixa taxa de desgaseificação evita substituições frequentes das vedações e contaminação da câmara em fornos de tratamento térmico e sistemas de detecção de vazamentos. Certifique-se sempre de que as especificações do seu anel de vedação Kalrez sejam genuínas do produto DuPont para evitar falhas onerosas na produção em alto vácuo. a resistência química e a baixa emissão de gases impedem a substituição frequente das juntas tóricas e a contaminação da câmara em fornos de tratamento térmico e sistemas de detecção de vazamentos. Certifique-se sempre de que as especificações das juntas tóricas Kalrez sejam de produtos genuínos da DuPont para evitar falhas onerosas na produção em alto vácuo.
