EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LV
SR
SK
VI
HU
MT
TH
TR
FA
MS
GA
CY
IS
KA
UR
LA
TA
MY
1. Kalrez/FKM Anelul O Specificații de performanță
Componentele din perfluoroelastomer Kalrez® și elastomerii fluorurați de înaltă performanță (FKM) reprezintă standardul de aur pentru medii de etanșare solicitante, care necesită o rezistență chimică extrem de ridicată și stabilitate termică. Componentele Kalrez® oferă un degajare redusă (outgassing) în aplicațiile de etanșare în vid. Perfluoroelastomerii oferă un degajare redusă (outgassing) în aplicațiile de etanșare în vid. Aceste componente inelare as0240 oferă o rezistență chimică aproape universală și pot rezista la temperaturi continue de până la 275 °C (527 °F), iar unele calități pot atinge 316 °C (600 °F). Kalrez® are o performanță excelentă în etanșarea în vid, un degajare redusă (outgassing) și o recuperare elastică remarcabilă. proprietățile. Materialul își menține proprietățile elastice și forța de etanșare chiar și după expunerea prelungită la plasmă, gaze de proces corozive și substanțe chimice agresive.
2. Mașină de acoperire în vid, detector de scurgeri și cuptor de tratament termic – condiții de funcționare
Echipamente de procesare termică de înaltă tehnologie, cum ar fi mașinile de acoperire în vid (PVD/CVD), detectoarele de scurgeri și cuptoarele de tratament termic funcționează în medii care necesită condiții fără contaminare și vid înalt. În procesele de depunere, cum ar fi HDPCVD, PECVD, SACVD, CVD pentru metale și ALD, etanșările trebuie să reziste plasmei și gazelor agresive fără a se degrada. În mașinile de acoperire în vid, orice degazare sau degradare ar conduce la contaminarea camerei, afectând depunerea filmelor subțiri. Calitățile Kalrez® destinate industriei semiconductoare sunt concepute special pentru aceste aplicații, oferind o stabilitate termică excepțională și o degazare redusă. în detectoarele de scurgeri, inelul de etanșare asigură o etanșare ermetică esențială pentru detectarea scurgerilor microscopice de gaze. Dimensiunea AS024 este frecvent utilizată la porturile senzorilor, colectoarele de intrare gaze și flanșele de vid pentru a atinge presiunile de bază necesare, fără eliberare de vapori ai elastomerului sau degradare.
3. AS024 Mărime Diagramă & Dimensiuni fo r Vacuum TEHNOCOGNOSTICĂ
AS024 (sau AS-024) este un O-ring cu secțiune subțire, conceput pentru racorduri speciale de vid utilizate în domeniul științific și industrial.
|
Numărul AS568 Dash |
Diametrul interior (ID) |
Secțiunea transversală (CS) |
Material |
Proprietate importantă |
|
AS-023 |
1,051 in (26,70 mm) |
0,070 in (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Rezistență la substanțe chimice |
|
AS-024 |
1,114 in (28,30 mm) |
0,070 in (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Degazare extrem de scăzută |
|
AS-025 |
1,176 in (29,87 mm) |
0,070 in (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Stabilitate la temperaturi ridicate |
Concluzie
Pentru procesele critice din domeniul fabricării semiconductorilor, al depunerii straturilor optice și al sistemelor cu vid înalt joanta toroidală as024, realizată din Kalrez sau FKM de înaltă performanță, oferă integritatea necesară pentru menținerea nivelurilor profunde de vid. Investiția în materiale cu rezistență chimică superioară și cu degazare scăzută previne înlocuirea frecventă a etanșărilor și contaminarea camerei în cuptoarele de tratament termic și în sistemele de detectare a scurgerilor. Asigurați-vă întotdeauna că specificațiile joantei toroidale Kalrez corespund produsului autentic DuPont, pentru a evita defecte costisitoare în producția cu vid înalt. rezistența chimică și degazarea scăzută previn înlocuirea frecventă a garniturilor și contaminarea camerei în cuptoarele de tratament termic și în sistemele de detectare a scurgerilor. Asigurați-vă întotdeauna că specificațiile garniturilor Kalrez sunt autentice produse DuPont, pentru a evita defectele costisitoare în producția în vid înalt.
