EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LV
SR
SK
VI
HU
MT
TH
TR
FA
MS
GA
CY
IS
KA
UR
LA
TA
MY
1. Kalrez/FKM О-кольцо Технические характеристики
Детали из перфторэластомера Kalrez® и высокопроизводительные фторкаучуки (FKM) являются эталонными материалами для требовательных уплотнительных сред, где необходима сверхвысокая химическая стойкость и термостабильность. Детали Kalrez® обеспечивают низкое выделение газов в вакуумных уплотнительных применениях. Перфторэластомеры обеспечивают низкое выделение газов в вакуумных уплотнительных применениях. Эти кольцевые компоненты марки AS0240 обладают почти универсальной химической стойкостью и способны выдерживать непрерывное воздействие температур до 275 °C (527 °F), а некоторые марки — до 316 °C (600 °F). Kalrez® демонстрирует превосходные характеристики вакуумного уплотнения, низкое выделение газов и отличное восстановление эластичности. свойства. Материал сохраняет свои эластичные свойства и силу уплотнения даже после длительного воздействия плазмы, коррозионно-активных технологических газов и агрессивных химических веществ.
2. Вакуумные покрытийные установки, детекторы утечек и печи термической обработки — условия эксплуатации
Высокотехнологичное термическое оборудование, такое как вакуумные напылительные установки (PVD/CVD), детекторы утечек и печи термообработки, функционирует в условиях, требующих отсутствия загрязнений и высокого вакуума. При осаждении тонких пленок методами HDPCVD, PECVD, SACVD, металлического CVD и ALD уплотнения должны выдерживать воздействие плазмы и агрессивных газов без деградации. В вакуумных напылительных установках любое выделение газов или разрушение материала приведет к загрязнению рабочей камеры и нарушению процесса осаждения тонких пленок. Специальные марки эластомера Kalrez® для полупроводниковой промышленности предназначены именно для таких применений и обеспечивают исключительную термостойкость и низкое выделение газов. в детекторах утечек уплотнительное кольцо обеспечивает герметичное соединение, необходимое для обнаружения микроскопических утечек газа. Размер AS024 широко применяется в сенсорных портах, газовых входных коллекторах и вакуумных фланцах для достижения требуемых предельных давлений без выделения паров эластомера или его деградации.
3. AS024 Размер Диаграмма & Габаритные размеры дл r Вакуум ТЕХНОЛОГИЯ
AS024 (или AS-024) — тонкостенное уплотнительное кольцо типа O-образного сечения, предназначенное для специализированных научных и промышленных вакуумных соединений.
|
Номер по AS568 |
Внутренний диаметр (ID) |
Поперечное сечение (CS) |
Материал |
Ключевое свойство |
|
AS-023 |
1,051 дюйма (26,70 мм) |
0,070 дюйма (1,78 мм) |
Kalrez/FKM |
Устойчивость к химическим веществам |
|
AS-024 |
1,114 дюйма (28,30 мм) |
0,070 дюйма (1,78 мм) |
Kalrez/FKM |
Сверхнизкое газовыделение |
|
AS-025 |
1,176 дюйма (29,87 мм) |
0,070 дюйма (1,78 мм) |
Kalrez/FKM |
Высокая термостойкость |
Заключение
Для критически важных процессов в производстве полупроводников, оптическом нанесении покрытий и высоковакуумных систем уплотнительное кольцо AS024 из Kalrez или высокопрочного FKM обеспечивает необходимую герметичность для поддержания глубокого вакуума. Инвестиции в материалы с превосходной химической стойкостью и низким газовыделением предотвращают частую замену уплотнений и загрязнение рабочей камеры в печах термической обработки и системах обнаружения утечек. Всегда убедитесь, что ваши уплотнительные кольца из Kalrez соответствуют оригинальным техническим характеристикам продукции DuPont, чтобы избежать дорогостоящих отказов в условиях высокого вакуума.
