EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LV
SR
SK
VI
HU
MT
TH
TR
FA
MS
GA
CY
IS
KA
UR
LA
TA
MY
1. Kalrez/FKM O-ring Výkonové špecifikácie
Diely z perfluoroelastoméru Kalrez a vysokovýkonné FKM (fluoroelastomér) predstavujú „zlatý štandard“ pre náročné tesniace prostredia, kde sa vyžaduje mimoriadne vysoká odolnosť voči chemikáliám a tepelnej stabilita. Diely Kalrez® poskytujú nízke výdajnosť plynov (outgassing) v aplikáciách vákuového tesnenia. Perfluoroelastoméry poskytujú nízku výdajnosť plynov v aplikáciách vákuového tesnenia. Tieto prstencové komponenty typu AS0240 ponúkajú takmer univerzálnu chemickú odolnosť a vydržia nepretržité teploty až do 275 °C (527 °F), pričom niektoré triedy dosahujú až 316 °C (600 °F). Kalrez® má vynikajúce vlastnosti pri vákuovom tesnení, nízku výdajnosť plynov a vynikajúcu elasticitu pri obnove tvaru. vlastnosti. Materiál si uchováva svoje elastické vlastnosti a tesniaciu silu aj po dlhodobej expozícii plazme, korozívnym procesným plynom a agresívnym chemikáliám.
2. Vákuový náterový stroj, detektor únikov a pec na tepelné spracovanie – prevádzkové podmienky
Vysokotechnologické vybavenie pre tepelné spracovanie, ako sú zariadenia na povlakovanie vo vákuu (PVD/CVD), detektory únikov a peci na tepelné spracovanie, pracujú v prostrediach, kde sa vyžadujú bezkontaminačné podmienky vysokého vákua. Pri usadzovacích procesoch, ako je HDPCVD, PECVD, SACVD, kovové CVD a ALD, tesnenia musia odolávať plazme a agresívnym plynom bez degradácie. V zariadeniach na povlakovanie vo vákuu by akýkoľvek výdaj plynov (outgassing) alebo rozklad viedli k kontaminácii komory a ovplyvnili usadzovanie tenkých vrstiev. Kalrez® polovodičové triedy sú určené práve pre tieto aplikácie a ponúkajú vynikajúcu tepelnú stabilitu a nízky výdaj plynov (outgassing). V detektoroch únikov poskytuje tesniaca krúžková tesniaca vložka hermetické tesnenie, ktoré je nevyhnutné na zisťovanie mikroskopických únikov plynov. Veľkosť AS024 sa bežne používa na senzorové prípojky, vstupné rozvody plynov a vákuové príruby, aby sa dosiahli požadované základné tlaky bez uvoľňovania pár elastoméru alebo jeho degradácie.
3. AS024 Veľkosť Graf & Rozmery fo r Vákuum TECHNOLOGIA
AS024 (alebo AS-024) je tenkostenný O-krúžok navrhnutý pre špeciálne vedecké a priemyselné vakuumové spojky.
|
Číslo AS568 (Dash No.) |
Vnútorný priemer (ID) |
Prierez (CS) |
Materiál |
Kľúčová vlastnosť |
|
AS-023 |
1,051 palca (26,70 mm) |
0,070 palca (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Chemická odolnosť |
|
AS-024 |
1,114 palca (28,30 mm) |
0,070 palca (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Ultra nízka emisia plynov |
|
AS-025 |
1,176 palca (29,87 mm) |
0,070 palca (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Vysoká teplotná stabilita |
Záver
Pre kritické procesy pri výrobe polovodičov, optickom povlakovaní a systémoch s vysokým vakuumom poskytuje O-krúžok as024 z Kalrezu alebo vysokovýkonného FKM potrebnú celistvosť na udržanie hlbokého vakua. Investície do materiálov s vynikajúcou chemickou odolnosťou a nízkym výplynovaním zabraňujú častej výmene tesnení a kontaminácii komory v peciach na tepelné spracovanie a systémoch na detekciu únikov. Vždy sa uistite, že špecifikácie vášho Kalrezového O-krúžku zodpovedajú originálnemu produktu spoločnosti DuPont, aby ste predišli drahým poruchám v produkčných procesoch s vysokým vakuumom. odolnosť voči chemikáliám a nízke výplynovanie zabraňujú častej výmene tesniacich krúžkov a kontaminácii komory v peciach na tepelné spracovanie a v systémoch na detekciu únikov. Vždy sa uistite, že špecifikácie vašich tesniacich krúžkov Kalrez sú autentickým produktom spoločnosti DuPont, aby ste predišli drahým poruchám v vysokovákuových výrobných procesoch.
