EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LV
SR
SK
VI
HU
MT
TH
TR
FA
MS
GA
CY
IS
KA
UR
LA
TA
MY
1. Kalrez/FKM Vòng chữ O Thông số hiệu suất
Các chi tiết làm từ perfluoroelastomer Kalrez và FKM (fluoroelastomer) hiệu suất cao là những tiêu chuẩn vàng trong các môi trường làm kín khắc nghiệt, yêu cầu khả năng chống hóa chất cực cao và độ ổn định nhiệt vượt trội. Các chi tiết Kalrez® mang lại mức thoát khí thấp trong các ứng dụng làm kín chân không. Perfluoroelastomer cung cấp mức thoát khí thấp trong các ứng dụng làm kín chân không. Các chi tiết dạng vòng này (mã AS0240) sở hữu khả năng chống hóa chất gần như toàn diện và có thể chịu được nhiệt độ liên tục lên đến 275℃ (527°F), với một số loại đạt tới 316℃ (600°F). Kalrez® có hiệu suất làm kín chân không xuất sắc, mức thoát khí thấp và khả năng phục hồi đàn hồi tuyệt vời. tính chất: Vật liệu duy trì các đặc tính đàn hồi và lực làm kín ngay cả sau khi tiếp xúc kéo dài với plasma, các khí quy trình ăn mòn và các hóa chất mạnh.
2. Máy phủ chân không, máy dò rò rỉ và lò xử lý nhiệt – Điều kiện làm việc
Thiết bị xử lý nhiệt công nghệ cao như máy phủ chân không (PVD/CVD), thiết bị dò rò rỉ và lò nhiệt luyện hoạt động trong các môi trường yêu cầu điều kiện chân không cao, không có nhiễm bẩn. Trong các quá trình lắng đọng như HDPCVD, PECVD, SACVD, CVD kim loại và ALD, gioăng làm kín phải chịu được plasma và các khí ăn mòn mà không bị suy giảm. Trong máy phủ chân không, bất kỳ hiện tượng thoát khí (outgassing) hay phân hủy nào cũng sẽ dẫn đến nhiễm bẩn buồng, ảnh hưởng đến quá trình lắng đọng màng mỏng. Các cấp độ Kalrez® dành riêng cho ngành bán dẫn được thiết kế cho những ứng dụng này, mang lại khả năng ổn định nhiệt vượt trội và mức thoát khí thấp. trong thiết bị dò rò rỉ, gioăng O-ring cung cấp mối làm kín kín khí (hermetic seal) thiết yếu để phát hiện các rò rỉ khí vi mô. Kích thước AS024 thường được sử dụng tại các cổng cảm biến, cụm đầu vào khí và mặt bích chân không nhằm đạt được áp suất nền yêu cầu mà không xảy ra hiện tượng bay hơi hay suy giảm vật liệu đàn hồi.
3. AS024 Kích thước Biểu đồ & Kích thước cho r Chân không CÔNG NGHỆ
AS024 (hoặc AS-024) là một gioăng hình vành khăn tiết diện mỏng, được thiết kế dành riêng cho các mối nối chân không trong lĩnh vực khoa học và công nghiệp.
|
Số hiệu AS568 (Dash No.) |
Đường kính trong (ID) |
Tiết diện ngang (CS) |
Vật liệu |
Tính Chất Chính |
|
AS-023 |
1,051 in (26,70 mm) |
0,070 in (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Kháng hóa học |
|
AS-024 |
1,114 in (28,30 mm) |
0,070 in (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Khí thoát ra cực thấp |
|
AS-025 |
1,176 in (29,87 mm) |
0,070 in (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Ổn định ở nhiệt độ cao |
Kết Luận
Đối với các quy trình quan trọng trong sản xuất bán dẫn, phủ quang học và các hệ thống chân không cao vòng đệm O-ring AS024 làm từ Kalrez hoặc FKM hiệu suất cao cung cấp độ kín cần thiết để duy trì mức chân không sâu. việc đầu tư vào các vật liệu có khả năng chống hóa chất vượt trội và tỷ lệ thoát khí thấp giúp ngăn ngừa việc thay thế vòng đệm thường xuyên cũng như nhiễm bẩn buồng trong các lò xử lý nhiệt và hệ thống phát hiện rò rỉ. luôn đảm bảo thông số kỹ thuật của vòng đệm O-ring Kalrez bạn sử dụng là sản phẩm chính hãng của DuPont nhằm tránh những sự cố tốn kém trong sản xuất chân không cao.
