EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LV
SR
SK
VI
HU
MT
TH
TR
FA
MS
GA
CY
IS
KA
UR
LA
TA
MY
1. Kalrez/FKM O-ring Ydelsesspecifikationer
Kalrez-perfluoroelastomerdelen og højtydende FKM (fluoroelastomer) er guldstandarderne for krævende tætningsmiljøer, der kræver ekstremt høj kemisk modstandsdygtighed og termisk stabilitet. Kalrez®-dele giver lav udgassing i vakuumtætningsapplikationer. Perfluoroelastomere giver lav udgassing i vakuumtætningsapplikationer. Disse AS0240-ringdele tilbyder næsten universel kemisk modstandsdygtighed og kan tåle kontinuerlige temperaturer op til 275 °C (527 °F), mens nogle kvaliteter når op til 316 °C (600 °F). Kalrez® har fremragende vakuumtætningsydelse, lav udgassing og fremragende elastisk genopretning egenskaberne. Materialet bevarer sine elastiske egenskaber og tætningskraft, selv efter længere tids udsættelse for plasma, korrosive procesgasser og aggressive kemikalier.
2. Vakuumbelægningsmaskine, lækkagedetektor og varmebehandlingsovn – arbejdsmiljø
Højteknologisk termisk behandlingsudstyr, såsom vakuumbelægningsmaskiner (PVD/CVD), lækkagedetektorer og varmebehandlingsovne, opererer i miljøer, der kræver kontaminationsfrie, højt vakuumforhold. Ved aflejringsprocesser som HDPCVD, PECVD, SACVD, Metal CVD og ALD skal tætningsmaterialer være modstandsdygtige over for plasma og aggressive gasser uden at degraderes. I vakuumbelægningsmaskiner ville enhver udgassing eller nedbrydning medføre forurening af kammeret og påvirke tyndfilm-aflejringen. Kalrez®-kvaliteter til halvledere er beregnet til disse anvendelser og tilbyder fremragende termisk stabilitet og lav udgassing. I lækkagedetektorer sikrer O-ring'en en hermetisk tætning, som er afgørende for detektering af mikroskopiske gaslækager. Størrelsen AS024 anvendes ofte ved sensorportene, gasindgangsmanifolderne og vakuumflangerne for at opnå de krævede basistryk uden frigivelse af elastomervaporer eller degradering.
3. AS024 Størrelse Diagram & Dimensioner fo r Vakuum TEKNOLOGI
AS024 (eller AS-024) er en tyndprofil-ring designet til specialiserede videnskabelige og industrielle vakuumforbindelser.
|
AS568 Dash-nr. |
Indvendig diameter (ID) |
Tværsnitsmål (CS) |
Materiale |
Nøgleegenskab |
|
AS-023 |
1,051 tommer (26,70 mm) |
0,070 tommer (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Kemisk modstandsdygtighed |
|
AS-024 |
1,114 tommer (28,30 mm) |
0,070 tommer (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Ekstremt lav udgassning |
|
AS-025 |
1,176 tommer (29,87 mm) |
0,070 tommer (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Høj temperaturstabilitet |
Konklusion
Til kritiske processer i halvlederfremstilling, optisk belægning og højt vakuum systemer sikrer O-ring AS024 af Kalrez eller højtydende FKM den nødvendige integritet for at opretholde dybt vakuum. Investering i materialer med fremragende kemisk modstandsdygtighed og lav udgassing forhindrer hyppig udskiftning af tætninger og kammerforurening i varmebehandlingsovne og lækkagedetektionssystemer. Sørg altid for, at dine Kalrez O-ringe er ægte DuPont-produkter, for at undgå kostbare fejl i højt-vakuum-produktion. nødvendig integritet til at opretholde dybe vakuumniveauer. Investering i materialer med fremragende kemisk modstandsdygtighed og lav udgassing forhindrer hyppig udskiftning af tætninger og forurening af kammeret i varmebehandlingsovne og lækkagedetektionssystemer. Sørg altid for, at dine Kalrez O-ring-specifikationer er ægte DuPont-produkter, for at undgå kostbare fejl i højvakuumproduktion.
