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1. Kalrez/FKM O-Ring Leistungsspezifikationen
Kalrez®-Perfluoroelastomer-Teile und hochleistungsfähige FKM-(Fluoroelastomer-)Werkstoffe gelten als Goldstandard für anspruchsvolle Dichtungsumgebungen, die eine extrem hohe chemische Beständigkeit und thermische Stabilität erfordern. Kalrez®-Teile weisen bei Vakuumdichtungsanwendungen eine geringe Ausgasung auf. Perfluoroelastomere weisen bei Vakuumdichtungsanwendungen eine geringe Ausgasung auf. Diese AS0240-Ringkomponenten bieten nahezu universelle chemische Beständigkeit und vertragen kontinuierliche Temperaturen bis zu 275 °C (527 °F), wobei einige Sorten sogar 316 °C (600 °F) erreichen. Kalrez® zeichnet sich durch hervorragende Vakuumdichtleistung, geringe Ausgasung und ausgezeichnete elastische Rückstellfähigkeit aus eigenschaften. Das Material behält seine elastischen Eigenschaften und seine Dichtkraft auch nach langzeitiger Einwirkung von Plasma, korrosiven Prozessgasen und aggressiven Chemikalien bei.
2. Vakuum-Beschichtungsanlage, Lecksuchgerät und Wärmebehandlungsanlage – Betriebsbedingungen
Hightech-Anlagen für thermische Verfahren wie Vakuumbeschichtungsmaschinen (PVD/CVD), Leckdetektoren und Wärmebehandlungsöfen arbeiten in Umgebungen, die eine kontaminationsfreie Hochvakuum-Umgebung erfordern. Bei Abscheidungsverfahren wie HDPCVD, PECVD, SACVD, Metal-CVD und ALD müssen Dichtungen Plasmen und aggressiven Gasen widerstehen, ohne sich zu zersetzen oder abzubauen. Bei Vakuumbeschichtungsmaschinen würde jegliches Ausgasen oder Versagen der Dichtung zur Kontamination der Kammer führen und damit die Abscheidung dünner Schichten beeinträchtigen. Kalrez®-Halbleiter- sorten sind speziell für diese Anwendungen ausgelegt und bieten hervorragende thermische Stabilität sowie geringes Ausgasen. bei Leckdetektoren stellt die O-Ring-Dichtung eine hermetische Abdichtung bereit, die unverzichtbar ist, um mikroskopisch kleine Gasaustritte nachzuweisen. die Größe AS024 wird üblicherweise an Sensoreinlässen, Gaszuführungsverteilerleitungen und Vakuumflanschen eingesetzt, um die erforderlichen Grunddrücke zu erreichen – ohne Freisetzung von Elastomerdampf oder Materialabbau.
3. AS024 Größe Diagramm & Abmessungen für r Vakuum TECHNOLOGIE
Der AS024 (bzw. AS-024) ist ein O-Ring mit geringem Querschnitt, der für spezielle wissenschaftliche und industrielle Vakuumanschlüsse konzipiert ist.
|
AS568-Kennnummer |
Innendurchmesser (ID) |
Querschnitt (CS) |
Material |
Wichtige Eigenschaft |
|
AS-023 |
1,051 in (26,70 mm) |
0,070 in (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Chemische Resistenz |
|
AS-024 |
1,114 in (28,30 mm) |
0,070 in (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Ultra-niedrige Ausgasungsrate |
|
AS-025 |
1,176 in (29,87 mm) |
0,070 in (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Hohe Temperaturstabilität |
Fazit
Für kritische Prozesse in der Halbleiterfertigung, der optischen Beschichtung und bei Hochvakuum-Systemen bietet die AS024-O-Ring-Dichtung aus Kalrez oder hochleistungsfähigem FKM die erforderliche Dichtheit, um tiefe Vakuumniveaus aufrechtzuerhalten. Die Investition in Materialien mit überlegener chemischer Beständigkeit und geringer Ausgasung verhindert häufigen Dichtungswechsel und Kontamination der Kammer in Wärmebehandlungsöfen und Leckdetektionssystemen. Stellen Sie stets sicher, dass Ihre Kalrez-O-Ringe echte DuPont-Produkte sind, um kostspielige Ausfälle in der Hochvakuum-Produktion zu vermeiden.
