1. Kalrez/FKM Junta tórica Especificaciones de rendimiento
Las piezas de perfluoroelastómero Kalrez® y los elastómeros fluorados de alto rendimiento (FKM) son los estándares de oro para entornos de sellado exigentes que requieren una resistencia química extremadamente alta y estabilidad térmica. Las piezas Kalrez® ofrecen una baja desgasificación en aplicaciones de sellado al vacío. Los perfluoroelastómeros ofrecen una baja desgasificación en aplicaciones de sellado al vacío. Estos componentes en forma de anillo modelo 0240 ofrecen una resistencia química casi universal y pueden soportar temperaturas continuas de hasta 275 ℃ (527 °F), con algunas calidades que alcanzan los 316 ℃ (600 °F). Kalrez® presenta un excelente rendimiento en sellado al vacío, baja desgasificación y una excelente recuperación elástica. propiedades. El material mantiene sus propiedades elásticas y su fuerza de sellado incluso tras una exposición prolongada a plasma, gases de proceso corrosivos y productos químicos agresivos.
2. Máquina de recubrimiento al vacío, detector de fugas y horno de tratamiento térmico: condiciones de funcionamiento
Equipos de procesamiento térmico de alta tecnología, como máquinas de recubrimiento al vacío (PVD/CVD), detectores de fugas y hornos de tratamiento térmico, operan en entornos que requieren condiciones libres de contaminación y de alto vacío. En procesos de deposición como HDPCVD, PECVD, SACVD, CVD metálica y ALD, las juntas deben resistir el plasma y los gases agresivos sin sufrir degradación. En las máquinas de recubrimiento al vacío, cualquier desgasificación o deterioro provocaría contaminación de la cámara, afectando la deposición de películas delgadas. Las calidades de Kalrez® para semiconductores están diseñadas específicamente para estas aplicaciones, ofreciendo una excelente estabilidad térmica y baja desgasificación. En los detectores de fugas, la junta tórica proporciona un sellado hermético esencial para detectar escapes microscópicos de gas. El tamaño AS024 se utiliza comúnmente en puertos de sensores, colectores de entrada de gas y bridas de vacío para alcanzar las presiones base requeridas sin liberación de vapores del elastómero ni degradación.
3. AS024 Tamaño Gráfico & Dimensiones fo r Vacío TECNOLOGÍA
El AS024 (o AS-024) es una junta tórica de sección delgada diseñada para conexiones de vacío científicas e industriales especializadas.
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Número AS568 (Dash No.) |
Diámetro interior (DI) |
Sección transversal (CS) |
Material |
Propiedad clave |
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AS-023 |
1,051 pulg. (26,70 mm) |
0,070 pulg. (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Resistencia a las sustancias químicas |
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AS-024 |
1,114 pulg. (28,30 mm) |
0,070 pulg. (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Emisión ultrabaja de gases |
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AS-025 |
1,176 pulg. (29,87 mm) |
0,070 pulg. (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Estabilidad a altas temperaturas |
Conclusión
Para procesos críticos en la fabricación de semiconductores, recubrimientos ópticos y sistemas de alto vacío la junta tórica as024, fabricada en Kalrez o FKM de alto rendimiento, proporciona la integridad necesaria para mantener niveles de vacío profundo. Invertir en materiales con una resistencia química superior y baja desgasificación evita el reemplazo frecuente de las juntas y la contaminación de la cámara en hornos de tratamiento térmico y sistemas de detección de fugas. Asegúrese siempre de que las especificaciones de su junta tórica Kalrez correspondan a un producto auténtico de DuPont para evitar fallos costosos en la producción bajo alto vacío. integridad necesaria para mantener niveles de vacío profundo. Invertir en materiales con una resistencia química superior y baja desgasificación evita el reemplazo frecuente de las juntas y la contaminación de la cámara en hornos de tratamiento térmico y sistemas de detección de fugas. Asegúrese siempre de que las especificaciones de su junta tórica Kalrez correspondan a un producto auténtico de DuPont para evitar fallos costosos en la producción bajo alto vacío.
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