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1. Kalrez/FKM Joint torique Spécifications de performance
Les pièces en perfluoroélastomère Kalrez® et les élastomères fluorés (FKM) haute performance constituent la référence or dans les environnements d’étanchéité exigeants, nécessitant une résistance chimique extrêmement élevée et une stabilité thermique exceptionnelle. Les pièces Kalrez® assurent une faible dégazification dans les applications d’étanchéité sous vide. Les perfluoroélastomères offrent également une faible dégazification dans les applications d’étanchéité sous vide. Ces joints toriques référencés 0240 présentent une résistance chimique quasi universelle et supportent des températures continues allant jusqu’à 275 ℃ (527 °F), certaines grades atteignant même 316 ℃ (600 °F). Kalrez® offre d’excellentes performances d’étanchéité sous vide, une faible dégazification et une excellente capacité de récupération élastique. ces propriétés permettent au matériau de conserver ses caractéristiques élastiques et sa force d’étanchéité même après une exposition prolongée aux plasmas, aux gaz de procédé corrosifs et aux produits chimiques agressifs.
2. Machine de revêtement sous vide, détecteur de fuites et four de traitement thermique – conditions de fonctionnement
Des équipements de traitement thermique haute technologie, tels que les machines de dépôt sous vide (PVD/CVD), les détecteurs de fuites et les fours de traitement thermique, fonctionnent dans des environnements exigeant des conditions exemptes de contamination et à haut vide. Dans les procédés de dépôt tels que le HDPCVD, Le PECVD, le SACVD, le CVD métallique et l’ALD, les joints doivent résister au plasma et aux gaz agressifs sans se dégrader. Dans les machines de dépôt sous vide, tout dégazage ou toute défaillance entraînerait une contamination de la chambre, affectant le dépôt de couches minces. Les grades Kalrez® destinés au secteur semi-conducteur sont spécifiquement conçus pour ces applications, offrant une stabilité thermique exceptionnelle et un faible dégazage. dans les détecteurs de fuites, le joint torique assure un scellement hermétique essentiel à la détection d’échappements gazeux microscopiques. La dimension AS024 est couramment utilisée sur les ports de capteurs, les collecteurs d’entrée de gaz et les brides sous vide afin d’atteindre les pressions de base requises, sans libération de vapeur d’élastomère ni dégradation.
3. AS024 Taille Tableau & Dimensions pour r Vide TECHNOLOGIE
L'AS024 (ou AS-024) est un joint torique à section réduite conçu pour des raccords spécialisés destinés aux applications scientifiques et industrielles sous vide.
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Numéro AS568 (Dash No.) |
Diamètre intérieur (DI) |
Section transversale (CS) |
Matériau |
Propriété clé |
|
AS-023 |
1,051 po (26,70 mm) |
0,070 po (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Résistance chimique |
|
AS-024 |
1,114 po (28,30 mm) |
0,070 po (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Dégazage ultra-faible |
|
AS-025 |
1,176 po (29,87 mm) |
0,070 po (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Stabilité à haute température |
Conclusion
Pour les procédés critiques dans la fabrication de semi-conducteurs, le dépôt de couches optiques et les systèmes à haut vide la jointe torique as024, fabriquée en Kalrez ou en FKM haute performance, assure l’étanchéité nécessaire pour maintenir des niveaux de vide poussé. investir dans des matériaux offrant une résistance chimique supérieure et un dégazage faible permet d’éviter le remplacement fréquent des joints et la contamination de la chambre dans les fours de traitement thermique et les systèmes de détection de fuites. assurez-vous toujours que les spécifications de votre jointe torique en Kalrez correspondent bien à un produit authentique DuPont afin d’éviter des pannes coûteuses dans la production sous haut vide.
