EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LV
SR
SK
VI
HU
MT
TH
TR
FA
MS
GA
CY
IS
KA
UR
LA
TA
MY
1. Kalrez/FKM O-ring Prestandabaser
Kalrez-perfluoroelastomerdelar och högpresterande FKM (fluoroelastomer) är guldstandard för krävande tätningsmiljöer som kräver extremt hög kemisk beständighet och termisk stabilitet. Kalrez®-delar ger låg utgasning i vakuumtätningsapplikationer. Perfluoroelastomerer ger låg utgasning i vakuumtätningsapplikationer. Dessa O-ringkomponenter erbjuder nästan universell kemisk beständighet och kan tåla kontinuerliga temperaturer upp till 275 °C (527 °F), med vissa sorters maximala temperatur på 316 °C (600 °F). Kalrez® har utmärkt prestanda vid vakuumtätning, låg utgasning och utmärkt elastisk återhämtning egenskaper. Materialet behåller sina elastiska egenskaper och sin tätande kraft även efter långvarig exponering för plasma, korrosiva processgaser och aggressiva kemikalier.
2. Vakuumbelägningsmaskin, läckagedetektor och värmebehandlingsugn – driftförhållanden
Högteknologisk utrustning för termisk behandling, såsom vakuumbeläggningsmaskiner (PVD/CVD), läckagedetektorer och värmebehandlingsugnar, används i miljöer som kräver kontaminationsfria, högvakuumförhållanden. Vid avsättningsprocesser som HDPCVD, PECVD, SACVD, metall-CVD och ALD måste tätningsmaterial motstå plasma och aggressiva gaser utan att försämras. I vakuumbeläggningsmaskiner skulle all utgående avgasning eller sönderbrytning leda till kontamination i kammaren, vilket påverkar tunnfilmsavsättningen. Kalrez®-sorter för halvledarapplikationer är avsedda för dessa applikationer och erbjuder exceptionell termisk stabilitet och låg utgående avgasning. I läckagedetektorer säkerställer O-ringens hermetiska tätning det nödvändiga upptäckandet av mikroskopiska gasläckor. Storleken AS024 används vanligtvis vid sensoranslutningar, gasinmatningsmanifolder och vakuumflänsar för att uppnå de krävda grundtrycken utan att elastomeren avger ånga eller försämras.
3. AS024 Storlek Diagram & Mått fo r Vakuum Teknologi
AS024 (eller AS-024) är en tunnväggig O-ring som är utformad för specialiserade vetenskapliga och industriella vakuumfittings.
|
AS568-nummer |
Inre diameter (ID) |
Tvärsnitt (CS) |
Material |
Nyckelgenskap |
|
AS-023 |
1,051 tum (26,70 mm) |
0,070 tum (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Kemisk resistens |
|
AS-024 |
1,114 tum (28,30 mm) |
0,070 tum (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Extremt låg utgasning |
|
AS-025 |
1,176 tum (29,87 mm) |
0,070 tum (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Hög temperaturstabilitet |
Slutsats
För kritiska processer inom halvledarframställning, optisk beläggning och högvakuum system ger O-ringen as024, tillverkad av Kalrez eller högpresterande FKM, den nödvändiga integriteten för att upprätthålla djupa vakuumnivåer. Att investera i material med överlägsen kemisk resistens och låg utgående avgasning förhindrar ofta utbyte av tätningsringar och kontaminering av kammern i värmebehandlingsugnar och läckagedetekteringssystem. Se alltid till att dina Kalrez-O-ringars specifikationer är äkta DuPont-produkter för att undvika kostsamma fel i högvakuumproduktion.
