EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LV
SR
SK
VI
HU
MT
TH
TR
FA
MS
GA
CY
IS
KA
UR
LA
TA
MY
1. Kalrez/FKM O-ring ข้อมูลจำเพาะประสิทธิภาพ
ชิ้นส่วนคาลเรซ (Kalrez) ที่ทำจากเพอร์ฟลูโอโรอีลาสโตเมอร์ และเอฟเคเอ็ม (FKM) หรือฟลูโอโรอีลาสโตเมอร์ประสิทธิภาพสูง ถือเป็นมาตรฐานทองคำสำหรับการใช้งานด้านการปิดผนึกในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง ซึ่งต้องการความต้านทานทางเคมีระดับสูงพิเศษและความเสถียรทางความร้อนสูงมาก ชิ้นส่วนคาลเรซ® มีอัตราการปล่อยก๊าซต่ำ (low outgassing) ในการใช้งานปิดผนึกภายใต้สุญญากาศ เพอร์ฟลูโอโรอีลาสโตเมอร์โดยรวมก็ให้อัตราการปล่อยก๊าซต่ำเช่นกันในการใช้งานปิดผนึกภายใต้สุญญากาศ องค์ประกอบแหวนรุ่นนี้ (AS0240) มีความต้านทานทางเคมีเกือบทุกชนิด และสามารถทนต่ออุณหภูมิอย่างต่อเนื่องได้สูงสุดถึง 275°C (527°F) โดยบางเกรดสามารถทนได้สูงถึง 316°C (600°F) คาลเรซ® มีสมรรถนะการปิดผนึกภายใต้สุญญากาศที่ยอดเยี่ยม อัตราการปล่อยก๊าซต่ำ และการคืนรูปแบบยืดหยุ่นที่โดดเด่น คุณสมบัติของวัสดุนี้ยังคงรักษาสมบัติความยืดหยุ่นและแรงการปิดผนึกไว้ได้แม้หลังจากสัมผัสกับพลาสมา แก๊สกระบวนการกัดกร่อน และสารเคมีรุนแรงเป็นเวลานาน
2. เครื่องเคลือบแบบสุญญากาศ เครื่องตรวจจับการรั่ว และเตาอบรักษาอุณหภูมิ
อุปกรณ์แปรรูปความร้อนขั้นสูง เช่น เครื่องเคลือบแบบสุญญากาศ (PVD/CVD), เครื่องตรวจจับการรั่ว และเตาอบสำหรับการให้ความร้อน ทำงานในสภาพแวดล้อมที่ต้องการ สภาวะสุญญากาศสูงโดยไม่มีมลพิษ ในการดำเนินกระบวนการสะสมฟิล์มบาง เช่น HDPCVD, PECVD, SACVD, Metal CVD และ ALD ซีลต้องสามารถทนต่อพลาสม่าและก๊าซที่มีปฏิกิริยาแรงได้ โดยไม่เกิดการเสื่อมสภาพ สำหรับเครื่องเคลือบแบบสุญญากาศ ถ้ามีการปล่อยก๊าซออกมาจากวัสดุ (outgassing) หรือวัสดุเสื่อมสภาพ จะนำไปสู่การปนเปื้อนภายในห้องประมวลผล ซึ่งส่งผลกระทบต่อกระบวนการสะสมฟิล์มบาง Kalrez® เกรดสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ถูกออกแบบมาเพื่อใช้งานเหล่านี้ โดยมีความเสถียรทางความร้อนโดดเด่นและปล่อยก๊าซต่ำมาก ในเครื่องตรวจจับการรั่ว แหวน O-ring ทำหน้าที่สร้างการปิดผนึกแบบสนิทสนม (hermetic seal) ซึ่งจำเป็นอย่างยิ่งต่อการตรวจจับ การรั่วของก๊าซในระดับจุลภาค ขนาด AS024 มักใช้กับพอร์ตเซนเซอร์ ชุดแยกก๊าซเข้า (gas inlet manifolds) และข้อต่อสุญญากาศ (vacuum flanges) เพื่อให้บรรลุความดันพื้นฐานที่กำหนดไว้ โดยไม่มีการปล่อยไอของยางเอลาสโตเมอร์หรือการเสื่อมสภาพของวัสดุ
3. AS024 ขนาด แผนภูมิ & ขนาด fo r เครื่องดูดฝุ่น เทคโนโลยี
AS024 (หรือ AS-024) เป็นโอริงแบบหน้าตัดบาง ที่ออกแบบมาสำหรับข้อต่อสุญญากาศเฉพาะทางในงานวิทยาศาสตร์และอุตสาหกรรม
|
หมายเลข Dash ตามมาตรฐาน AS568 |
เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน (ID) |
ส่วนตัดขวาง (CS) |
วัสดุ |
คุณสมบัติหลัก |
|
AS-023 |
1.051 นิ้ว (26.70 มม.) |
0.070 นิ้ว (1.78 มม.) |
Kalrez/FKM |
ความทนทานต่อสารเคมี |
|
AS-024 |
1.114 นิ้ว (28.30 มม.) |
0.070 นิ้ว (1.78 มม.) |
Kalrez/FKM |
การปล่อยก๊าซต่ำพิเศษ |
|
AS-025 |
1.176 นิ้ว (29.87 มม.) |
0.070 นิ้ว (1.78 มม.) |
Kalrez/FKM |
ความเสถียรที่อุณหภูมิสูง |
สรุป
สำหรับกระบวนการที่มีความสำคัญยิ่งในการผลิตชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบผิวด้วยแสง และระบบสุญญากาศสูง แหวนโอริงรุ่น as024 ที่ผลิตจากวัสดุ Kalrez หรือ FKM ประสิทธิภาพสูง ให้ความมั่นคงที่จำเป็นต่อการรักษาสภาวะสุญญากาศลึก การลงทุนในวัสดุที่มีความต้านทานสารเคมีได้ดีเยี่ยมและมีอัตราการระเหยของก๊าซต่ำ (low outgassing) จะช่วยป้องกันไม่ให้ต้องเปลี่ยนแหวนปิดผนึกบ่อยครั้ง และลดการปนเปื้อนภายในห้องปฏิบัติการในเตาอบรักษาอุณหภูมิสูงและระบบตรวจจับการรั่ว โปรดตรวจสอบให้มั่นใจเสมอว่าข้อกำหนดทางเทคนิคของแหวนโอริง Kalrez ของท่านเป็นผลิตภัณฑ์แท้จาก DuPont เพื่อหลีกเลี่ยงความล้มเหลวที่อาจเกิดขึ้นอย่างรุนแรงและมีค่าใช้จ่ายสูงในกระบวนการผลิตที่ใช้สุญญากาศสูง
