EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LV
SR
SK
VI
HU
MT
TH
TR
FA
MS
GA
CY
IS
KA
UR
LA
TA
MY
1. Kalrez/FKM O-gyűrű Teljesítményspecifikációk
A Kalrez perfluoroelastomer alkatrészek és a nagy teljesítményű FKM (fluoroelastomer) azoknak a kívánatos tömítő környezeteknek az aranystandardjai, amelyek rendkívül magas kémiai ellenállást és hőállóságot igényelnek. A Kalrez® alkatrészek alacsony gázkibocsátást biztosítanak vákuumos tömítési alkalmazásokban. A perfluoroelastomerek alacsony gázkibocsátást nyújtanak vákuumos tömítési alkalmazásokban. Ezek az O-gyűrű alkatrészek majdnem univerzális kémiai ellenállással rendelkeznek, és folyamatosan elviselik a 275 °C (527 °F)-os hőmérsékletet, egyes minőségek esetében akár 316 °C (600 °F)-ig is. A Kalrez® kiváló vákuumos tömítési teljesítményt és alacsony gázkibocsátást, valamint kiváló rugalmas visszaállást biztosít. tulajdonságok. Az anyag megtartja rugalmas tulajdonságait és tömítő erősségét akkor is, ha hosszabb ideig plazmával, korrodáló folyamatgázokkal és agresszív vegyi anyagokkal érintkezik.
2. Vákuumos bevonó berendezés, szivárgáskereső és hőkezelő kemence üzemeltetési feltételei
Kifinomult, magas technológiájú hőkezelő berendezések – például vákuumos bevonó gépek (PVD/CVD), szivárgáskutatók és hőkezelő kemencék – olyan környezetben működnek, amely szennyeződésmenetes, nagyvákuumos feltételeket igényel. a lemezlerakási folyamatokban, például az HDPCVD-nél, A PECVD-nél, a SACVD-nél, a fém-CVD-nél és az ALD-nél a tömítéseknek ellenállniuk kell a plazmának és az agresszív gázoknak degradáció nélkül. A vákuumos bevonó gépekben bármilyen gázkibocsátás vagy anyagi bomlás szennyezést okozna a kamrában, ami negatívan befolyásolná a vékonyréteg-lerakódást. A Kalrez® féligvezető minőségi osztályai ezen alkalmazásokra lettek kifejlesztve, kiváló hőállóságot és alacsony gázkibocsátást nyújtanak. a szivárgáskutatókban a gyűrűtömítés hermetikus zárás biztosítására szolgál, amely elengedhetetlen a mikroszkopikus gázelvezetések érzékeléséhez. az AS024 méretű gyűrűtömítés gyakran használatos érzékelőportokon, gázbevezető kollektorokon és vákuumflanszokon a szükséges alapnyomás eléréséhez anélkül, hogy a gumiszerű anyagból gőz képződne vagy anyagi bomlás történne.
3. AS024 Méret Diagram & Méretek fo r Vakuum TECHNOLOGIA
Az AS024 (vagy AS-024) egy vékony keresztmetszetű O-gyűrű, amelyet speciális tudományos és ipari vákuumcsatlakozókhoz terveztek.
|
AS568 számjelzés |
Belső átmérő (ID) |
Keresztmetszet (CS) |
Anyag |
Kulcsfontosságú tulajdonság |
|
AS-023 |
1,051 hüvelyk (26,70 mm) |
0,070 hüvelyk (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Vegyianyag-álló |
|
AS-024 |
1,114 hüvelyk (28,30 mm) |
0,070 hüvelyk (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Ultraalacsony gázkibocsátás |
|
AS-025 |
1,176 hüvelyk (29,87 mm) |
0,070 hüvelyk (1,78 mm) |
Kalrez/FKM |
Magas hőmérsékleti stabilitás |
Összegzés
Kritikus folyamatokhoz, például félvezető-gyártáshoz, optikai bevonatok készítéséhez és nagy vákuumú rendszerekhez az AS024 gyűrű, amelyet Kalrezből vagy más nagy teljesítményű FKM anyagból készítettek, biztosítja a szükséges tömörséget a mély vákuumszintek fenntartásához. olyan anyagokba történő beruházás, amelyek kiváló kémiai ellenállással és alacsony gázkibocsátással rendelkeznek, megakadályozza a tömítések gyakori cseréjét és a kamerák szennyeződését hőkezelő kemencékben és szivárgáskutató rendszerekben. mindig győződjön meg arról, hogy Kalrez gyűrűinek műszaki adatai valódi DuPont-termékek, hogy elkerülje a költséges meghibásodásokat nagy vákuumú gyártási folyamatokban.
