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1. カルレズ／FKM オーリング 性能仕様
Kalrez® パーフルオロエラストマー部品および高性能FKM（フルオロエラストマー）は、超高度な耐化学薬品性および耐熱性が要求される厳しいシール環境における業界のゴールドスタンダードです。Kalrez®部品は、真空シール用途において低アウトガス特性を発揮します。パーフルオロエラストマーも、真空シール用途において低アウトガス特性を示します。これらのAS0240リング部品は、ほぼ万能の耐化学薬品性を備えており、連続使用温度を最大275℃（527°F）まで耐えられ、一部のグレードでは316℃（600°F）まで対応可能です。Kalrez®は優れた真空シール性能、低アウトガス特性および優れた弾性復元性を有しています。 この材料は、プラズマ、腐食性プロセスガス、および攻撃性の高い化学薬品への長時間暴露後でも、その弾性特性およびシール力を維持します。
2. 真空コーティング装置、リーク検出器、熱処理炉の作業条件
高技術熱処理機器 (PVD/CVD) や漏れ検出器,熱処理炉など, 汚染から自由で高真空状態です HDPCVDのような堆積プロセスでは PECVD,SACVD,金属CVD,ALD,シールにはプラズマと攻撃的なガスに抵抗力が必要です 掃除用コーティングマシンでは,あらゆる脱ガスや分解は 薄膜堆積に影響を与える室汚染を誘発する.カルレス®半導体 熱安定性も低温も高い 漏れ検出器では,Oリングは,漏れを検出するために不可欠な密封装置を備えています. センサーポート,ガス入口で通常使用される AS024サイズ ポリポリッドと真空フレンズで,エラストーマー蒸気放出や分解なしに必要なベース圧力を達成します.
3.AS024 サイズ チャート ＆寸法 fo r 真空 テクノロジー
AS024（またはAS-024）は、特殊な科学・産業用真空継手向けに設計された薄肉Oリングです。
|
AS568ダッシュ番号 |
内径（ID） |
断面径（CS） |
材質 |
主要特性 |
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AS-023 |
1.051インチ（26.70 mm） |
0.070インチ（1.78 mm） |
Kalrez／FKM |
化学耐性 |
|
AS-024 |
1.114インチ（28.30 mm） |
0.070インチ（1.78 mm） |
Kalrez／FKM |
超低アウトガス性 |
|
AS-025 |
1.176インチ（29.87 mm） |
0.070インチ（1.78 mm） |
Kalrez／FKM |
高温安定性 |
まとめ
半導体製造、光学コーティング、高真空システムなどの重要プロセスにおいて、Kalrezまたは高性能FKMで製造されたAS024 Oリングは、深真空レベルを維持するための必要な気密性を提供します。 耐化学性に優れ、放気量が極めて低い材料への投資により、熱処理炉および漏れ検出システムにおけるOリングの頻繁な交換やチャンバー内の汚染を防止できます。 高真空生産工程で高額な故障を回避するためには、Kalrez Oリングの仕様がデュポン社の正規製品であることを常に確認してください。 投資対効果の高い耐化学性と極低放気特性を備えた材料を採用することで、熱処理炉および漏れ検出システムにおけるシールの頻繁な交換やチャンバー汚染を防ぐことができます。高真空生産工程において高額な故障を回避するためには、Kalrez Oリングの仕様がデュポン社の正規製品であることを常に確認してください。
