EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LV
SR
SK
VI
HU
MT
TH
TR
FA
MS
GA
CY
IS
KA
UR
LA
TA
MY
1. கால்ரெஸ்/FKM ஓ-ரிங் செயல்திறன் தொடர்பான தரவுகள்
கால்ரெஸ் பெர்ஃப்ளுவோரோஎலாஸ்டோமர் பாகங்கள் மற்றும் உயர் செயல்திறன் FKM (ஃப்ளுவோரோஎலாஸ்டோமர்) ஆகியவை, அதிக வேதியியல் எதிர்ப்புத்தன்மை மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை தேவைப்படும் கடுமையான சீலிங் சூழல்களுக்கான தங்கத் தரமாகும். கால்ரெஸ்® பாகங்கள் வெற்றிட சீலிங் பயன்பாடுகளில் குறைந்த வெளியேற்றம் (outgassing) வழங்குகின்றன. பெர்ஃப்ளுவோரோஎலாஸ்டோமர்கள் வெற்றிட சீலிங் பயன்பாடுகளில் குறைந்த வெளியேற்றத்தை வழங்குகின்றன. இந்த AS0240 வளைய பாகங்கள் பெரும்பாலான வேதியியல் பொருட்களுக்கு திட்டமிடப்பட்ட எதிர்ப்புத்தன்மையை வழங்குகின்றன மற்றும் 275℃ (527°F) வரையிலான தொடர் வெப்பநிலைகளைத் தாங்க முடியும்; சில தரங்கள் 316℃ (600°F) வரை செல்லும். கால்ரெஸ்® சிறந்த வெற்றிட சீலிங் செயல்திறன், குறைந்த வெளியேற்றம் மற்றும் சிறந்த நெகிழ்வு மீட்சி தன்மையைக் கொண்டுள்ளது. இந்தப் பண்புகள். இந்தப் பொருள் பிளாஸ்மா, கார செயல்முறை வாயுக்கள் மற்றும் கடுமையான வேதிப்பொருட்களுக்கு நீண்ட காலமாக வெளிப்படுத்தப்பட்ட பின்னரும் அதன் நெகிழ்வு பண்புகளையும், சீலிங் விசையையும் பராமரிக்கிறது.
2. வெற்றிட மெட்டல் கோட்டிங் இயந்திரம், கசிவு கண்டறியும் கருவி மற்றும் வெப்பச் சிகிச்சை அடுப்பு – பணிச் சூழல்கள்
வெப்ப சிகிச்சை இயந்திரங்கள் (PVD/CVD) மற்றும் கசிவு கண்டறிதல் இயந்திரங்கள் போன்ற உயர் தொழில்நுட்ப வெப்ப செயலாக்க உபகரணங்கள், வெப்ப சிகிச்சை உலைகள் போன்றவை, மாசு இல்லாத, உயர் காற்றோட்ட நிலைமைகள். PECVD,SACVD,Metal CVD,ALD,கீழ்நிலைகள் பிளாஸ்மா மற்றும் ஆக்ரோஷமான வாயுக்களுக்கு எதிரானவை காற்றோட்டம் பூச்சு இயந்திரங்களில்,எந்தவொரு வெளியேற்றமும் அல்லது உடைப்பும் கலெஸ்®அரைமுனையம் இந்த பயன்பாடுகளுக்கு இலக்கு வைக்கப்பட்டுள்ளன,அதிகப்படியான வெப்ப நிலைத்தன்மையையும் குறைந்த வெப்பநிலையையும் வழங்குகின்றன. கசிவு கண்டறிபவர்களில்,O-மோதிரம் ஒரு ஹெர்மெடிக் சீல் வழங்குகிறது, இது கண்டறிவதற்கு அவசியமானது நுண்ணோக்கி வாயு வெளியேற்றங்கள். AS024 அளவு பொதுவாக சென்சார் துறைமுகங்களில், வாயு நுழைவாயிலில் பயன்படுத்தப்படுகிறது ஏலாஸ்டோமர் வாம்பு வெளியீடு அல்லது சிதைவு இல்லாமல் தேவையான அடிப்படை அழுத்தங்களை அடைய மானிட்டர்கள் மற்றும் வெற்றிட விளிம்புகள்.
3.AS024 அளவு அட்டவணை & அளவுகள் ஃபோ ஆ. வெற்றியாக்கும் இடம் தொழில்நுட்பம்
AS024 (அல்லது AS-024) என்பது சிறப்பு அறிவியல் மற்றும் தொழில்துறை வெற்றிட இணைப்புகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட மெல்லிய பிரிவு ஓ-ரிங் ஆகும்.
|
AS568 டாஷ் எண் |
உள் விட்டம் (ID) |
குறுக்கு வெட்டு (CS) |
பொருள் |
முக்கிய பண்பு |
|
AS-023 |
1.051 அங்குலம் (26.70 மிமீ) |
0.070 அங்குலம் (1.78 மிமீ) |
கால்ரெஸ்/FKM |
வேதியியல் எதிர்ப்புத்தன்மை |
|
AS-024 |
1.114 அங்குலம் (28.30 மிமீ) |
0.070 அங்குலம் (1.78 மிமீ) |
கால்ரெஸ்/FKM |
மிகக் குறைந்த வெளியேறும் வாயு |
|
AS-025 |
1.176 அங்குலம் (29.87 மிமீ) |
0.070 அங்குலம் (1.78 மிமீ) |
கால்ரெஸ்/FKM |
அதிக வெப்பநிலை ஸ்திரத்தன்மை |
முடிவு
செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி, ஒளியியல் பூச்சு மற்றும் உயர் வெற்றிடம் ஆகிய முக்கியமான செயல்முறைகளுக்கு கால்ரெஸ் (Kalrez) அல்லது உயர் செயல்திறன் FKM இலிருந்து தயாரிக்கப்பட்ட as024 ஓ-ரிங் ஆனது ஆழமான வெற்றிட நிலைகளை பராமரிக்க தேவையான ஒருமைப்பாட்டை வழங்குகிறது. ரசாயன எதிருறுதித்தன்மை மற்றும் குறைந்த வெளியேறும் வாயு வெளியீடு (outgassing) ஆகியவற்றில் சிறந்த பொருட்களில் முதலீடு செய்வது, வெப்பச் சிகிச்சை அடுப்புகள் மற்றும் கசிவு கண்டறிதல் அமைப்புகளில் அடிக்கடி சீல் மாற்றம் மற்றும் கலன் மாசுபடுதலைத் தடுக்கிறது. உயர் வெற்றிட உற்பத்தியில் விலையுயர்ந்த தோல்விகளைத் தவிர்க்க, உங்கள் கால்ரெஸ் (Kalrez) ஓ-ரிங் தன்மைகள் உண்மையான டுபாண்ட் (DuPont) தயாரிப்புகளாக இருப்பதை எப்போதும் உறுதிப்படுத்திக் கொள்ளவும்.
