Tôni gweithredol O-rings nid yw modd ei ddewis yn unig gan "deunydd + dimensiwn + caledr." Dan amgylchiadau gweithio dan waelod, nid yw methiant tôni yn aml yn symlach na llif o'r aer, ond yn llwyth nwy a ffurfir ynghyd gan lliw o wir liw, trawsgrifio'r rhewyn, gadael nwy o'r deunydd, llygredd ar wyneb, gollyngiad o greithlon a gwagio'r strwythur cromlin. Ar gyfer cwsmeriaid gofod uchel, gofod uchel iawn, semicondwyriaid, plating, sbedroleg, a chavellau optegol, dylid uwchraddio'r strategaeth ymateb o "a all hi gadw pwysedd" i "a all cyfanswm y llwyth nwy a risg o lygredd gael ei reoli."

1. Y Prif Fater o Gyfrifiad i'r Cylchoedd Tôni: nid pwysedd, ond llwyth nwy

Mae sealiau hydrolig a phneumaidd cyffredin yn prynu yn bennaf am wahaniaeth pwysedd, cyresiad i wisgo, cydwedd â'r cyfrwng; dylid canolbwyntio sealiau tôni ar:

Yn gyntaf, gollyngiad go iawn. Bydd y flang, y grof, y sgrathianoedd, y marcâu peiriant a'r rhannau sydd wedi'u dal yn ffurfio sianel feicro tu allan i'r cylchfan tâl. Mae'r nwy'n gollwng trwy'r bylchfa fach hon yn haws na'r hylif, felly dylid rhoi mwy o sylw i ansawdd y wyneb tâl wrth wneud tâl gwaelod. Parker mae'r materion tâl gwaelod yn dangos yn glir nad yw nwy na chyflwr y wyneb â phwll feicro yn sensitif iawn i grof gwaelod, ac yn argymell bod y wyneb cysylltu tâl yn defnyddio gradd RMS 16, tra bod angen osgoi llinellau prosesu perpendiculuar sydd yn croesi'r llinell tâl.

Yn ail, gweithredu. Er nad oes camgymeriadau mecanegol, gall nwy dal greu maint mawr o lwyth nwy wrth groesiad trwy strwythur elastig i'r ochr is-gwifrau'r gwifrau. Dywedant cyfarwyddiadau technegol Kurt J. Lesker fod gweithrediad elastomer yn caniatáu i nwy groesiad a chyfarfu dan bwysedd is, ac mae cyflymder y gweithredu'n amrywio â'r tymheratur, y pwysedd, y math o nwy a'r math o elastomer; awgryma Pfeiffer hefyd fod cylchau torgiadau elastig yn cynnwys gweithrediad yn uwch yn naturiol, ac hyd yn oed pan nad oes gollwng amlwg yn y system, gall torgiadau elastig eu hunain dal effeithio ar bwysedd terfyn y gwifrau.

Trydydd, allgofnodi a materion gweithredol. Bydd substansau â phwysau moleculaidd isel, plastigwr, gweddillion anghyflawn a chynhwysiad o lechi mewn cylchrediau O yn cael eu dadymosod ar ôl tynnu i waelod llwyr. Mae storfa data NASA am allgofnodi materion yn defnyddio'r dull ASTM E595 i asesu colliad cyfanswm y materion yn yr amgylchedd gwaelydd go iawn (TML) a materion gweithredol sydd yn adfywio (CVCM), gyda gwerthoedd canllaw cyffredin o TML ≤ 1% a CVCM ≤ 0,1%, ond mae'r ymateb hwn yn fath o feini prawf clirio diwylliannol cyffredin, nid rhywbeth sydd â safonau cydfoddi rhagorol yn y cyfanrwydd o sefyllfaoi gwaelydd diwylliannol.

Pedwerydd, llygredd. Mae'r diwydiant semicondwyri, y plating, y sbedroleg a'r drychion optegol yn ofni mwyaf nid "gollwng ychydig o gas," ond y materion gweithredol sydd wedi eu gosod ar weithiau, targedau, wynebau lensau optegol, pwyntiau cyswllt a chavitiadau dadansoddi. Mae Parker yn awgrymu fod rhai mathau o olewau cyfansoddau elastomer neu eu cydranau yn gallu symud dan waelod llwyr a ffurfio ffilmiau tân ar wynebau agored, gan achosi colliad ansicr yn ansawdd y wynebau sensitif.

2. Penna’r Graddfa Gwag a Meini Prawf Cymeradwiad yn Gyntaf

Cyn dewis, rhaid gofyn am dri awgrym gan y cwsmer yn gyntaf:

Pa mor uchel yw’r Gwasanaeth Gwasanaethol a’r Gwasanaeth Terfynol?

Mae cyfarpar gwag isel, gwag anheblyd yn gallu tolerio llwyth nwy fwy o ran perthnasoedd; mae cyfarpar gwag uchel tu hwnt i systemau gwag uchel yn sensitif i’r terfan hwn. Mae enghraifft Pfeiffer yn dangos: ar flang ISO-K DN 500, mae llwyth nwy trwyddedig gan gylch gweithrediad FKM dan awyr gwag a chyflwr 60% o lechi, ac yn nodi bod llwyth nwy trwyddedig gan gylch gweithrediad elastig FKM yn gallu cyrraedd gwerth yn y trefn o 4×10⁻⁷ Pa·m³/s.

Pa mor uchel yw’r Cyfradd Gollwng a ganiateir?

Mae defnyddio profi ar gollwyr gweithredol yn cyffredinol yn defnyddio mbar·L/s neu uned SI Pa·m³/s. Nodir hefyd yn y cyfarwyddiadau am gyfradd o gollwyr gan Pfeiffer, bod yr uned bennaf ar gyfer canfod heliwm yn mbar·L/s neu Pa·m³/s i adrodd cyfradd y gollwr. Mae data canfod gollwyr gan Leybold yn awgrymu fod y toleriad ar gyfer gollwyr yn wahanol yn helaeth ar gyfer graddfeydd gwahanol o wagrwydd, ac y gall gwagrwydd isel dderbyn nad oes unrhyw gysylltiad; er enghraifft: <10⁻⁷ mbar·L/s yn cael ei alw'n "tân gas," tra bod <10⁻¹⁰ mbar·L/s yn agosach at y fynegiad "tân absoliwt."

A yw'n brofi ar godi gwasanaeth, na chefnogiad mas a sylwedd heliwm?

Gallu profi cynnydd gwasgedd amcangyfrif y llwyth cyfan o nwy trwy'r cynnydd gwasgedd amser uned yn y gwrthdraw; os yw cromlin cynnydd gwasgedd yn tendio tuag at anghysoni, mae'n fwy tebygol fod hwn yn gollwg wirioneddol; os yw'n mynd tuag at linell syth ond yn cydgydymu'n fwy cynaliadwy, mae'n fwy tebygol fod hwn yn llwyth nwy. Adolygiad Leybold o wahaniaethau rhwng profi cynnydd gwasgedd a chromliniadau trawsffludiad/allweddiant nwy hefyd wedi ei nodi yn glir, ac roeddent wedi awgrymu nad yw llwyth nwy is na 10⁻⁶ mbar·L/s fel arfer yn gofyn am offer canfod gollwg heliwm er mwyn cael canfod manwl.

3. Sut i ddewis materiol: Ni allwch chi edrych ar "FKM/Viton" yn unig

3.1 FKM: Y dewis rhagosodedig ar gyfer mwyafrif o gynnyrch uchel gwacwm

Mae rwbber ffliwryn FKM yn un o'r rhagweithiau gwacwm cyffredinaf O-ring deunyddiau, yn addas ar gyfer y rhan fwyaf o gynnyrch uchel-gwifrau, offer, cyflwyno offer, rhwydau pompa gwifrau, ffenestri adnabod, sealiau statig flangiau KF/ISO, ac ati. Mae Kurt J. Lesker yn nodi fod FKM yn un o'r elastomereu sydd mewn defnydd ehangach i sealio gwifrau, â chydwedd da i berwi yn uchel, cydwedd i ozôn, cydwedd i ocsigen a chydwedd i amryw o olewau/haglennau, ac mae'n cynhyrchu llai o nwy, ond mae ei pherfformiad yn y tywyllach yn gyffredinol yn llai cryf.

Pan fyddwch yn dewis FKM, rhaid pwysleisio "FKM gradd gwifrau" neu "FKM allgadael isel", nid FKM diwylliannol arferol. Gall FKM arferol, os nad yw'r post-vulcanization yn digon cryf, os oes asiant rhyddhau ffwrdd ar y wyneb, neu os yw'n cynnwys materion gweithgar naill ai o fewn neu o amgylch y pecyn, dal achosi allgadael uwch yn systemau gwifrau.

Y sefyllfaoedd sydd yn addas: cwlwm gwifrau uchel, offer lliwio, offer labordy, rhwydau pompa gwifrau, a chwlwm cymorth arferol ar gyfer semicondwyddorau.

Pwyntiau risg: ion cryf, broses corfforiad cryf, poeni cynhyrchu gwerth uchel, offer darlunio optegol o ansawdd uchel, angen dilysu pellach neu diweddaru.

3.2 FFKM: Semiconductor, Gwaith Nwy Corfforiad, Cyflwr Uchder-Tymheredd Fel Rhagorol

Mae FFKM (perffluoroelastomer) yn addas ar gyfer tymheredd uchel, corfforiad cryf, plasma, etching a gosod semicondwyrs a phrosesau eraill anodd. Mae eglurhad Kurt J. Lesker am Kalrez 4079 yn nodi ei ddefnydd mewn nifer fawr o amgylchiadau prosesu semicondwyrs dry a gwlyb, ac yn dangos cyfiawnder cemegol rhagorol, sefydlogrwydd thermol, a chyfran llai o golli yn y plasma gweithgar.

Ym mhoblogaethau sydd â'u hymweliad: etching semicondwyrs, CVD/PVD, ALD, nwy prosesu corfforiad, cylchau poeni cynhyrchu gwerth uchel aml.

Pwyntiau risg: prisiau uchel; mae'r wahanol ffyrdd o wneud FFKM yn amrywio'n sylweddol, felly rhaid pennu'n glir y gofynion am lefelau fel cydraddiad i feitriad, isafswm meitriad, isafswm partegol, a isafswm allgofnodi.

3.3 EPDM: Pairlwr, Ozôn, Steim, Rhai Senarios Radioactive Gallu eu Hystyried

Mae EPDM yn addas ar gyfer dŵr, steim, ozôn, rhai amgylchiadau radiolegol. Mae Parker yn argymell y materail hwn ar gyfer torgiadau gwag, ac yn cynghori ar EPDM pan mae dŵr poeth, steim neu radioliad yn bresennol. Mae Kurt J. Lesker hefyd yn nodi bod gan EPDM gynghrair da i dŵr, steim, ozôn, oerderu tywyll, a chyflwr â olewau mineraol, tanwydd a holltannau carbonol, ond nid yw'n wrth olew.

Y sefyllfaoedd sydd yn addas: lle mae pairlwr yn bresennol yn aml, ozôn, clirio â steim, rhai amgylchiadau radiolegol.

Pwyntiau risg: nid yw'n addas pan fydd yn cyffwrdd â olew pompa gwag, solventau carbonol, na chwyn olew.

3.4 NBR: Is-cost, Ond nid yn Addas ar gyfer Cyflwr Uchel Clirdeb na Chyflwr Anogaidd

Mae NBR (nitrile rubber) yn cyffredin mewn tâl-ysgafn, gosod rhwymedigaethau gwaelod, ac yn addas ar gyfer gwaelod cyffredin, gwaelod isel, rhwymedigaethau drws ar gyflwyniadau cyffredinol, a chamgyrchoedd nad ydynt yn gofyn am lanhau. Ond nid yw'n y materail sydd wedi'i chynghori ar gyfer gwaelod uchel/gwaelod uwch-uchel. Mae Kurt J. Lesker yn nodi bod NBR un o'r materion safonol sydd â chydraddiad isel iawn yn y gwasanaeth gwaelod, ond ei gyfradd trawsddiannedd o ddŵr oer yw tua 20 gwaith yn fwy na FKM, ac ni ddylid ei ddefnyddio mewn prosesau ocsigen neu ocsigen-plasma.

Y sefyllfaoedd sydd yn addas: gwaelod anghywir, gwaelod isel, peiriannau cyffredinol, a pherthnau sydd yn sensitif i gost.

Pwyntiau risg: ocsigen, ocsigen-ionau, ozôn, oerddŵr, gofynion uchel ar gyfer lanhau, a phwysedd terfynol gwaelod uchel.

3.5 Silicone Rubber VMQ: Da iawn yn ymddwyn yn yr oer, ond gofynnir am ofaluswch o ran trawsddiannedd gwaelod a allan-gasáu

Cynyl siliwn sydd yn resistyf i is-temperaturau, meddal, addas ar gyfer rhai ceisiadau tâl is-temperaturau neu beirniadu nad yw'n sensitif i llygredd, ond anogaeth yn angenrheidiol mewn systemau gwlith uchel. Mae Kurt J. Lesker yn nodi bod cyfradd trawsghiannu parâu dŵr siliwn yn tua 200 gwaith yn fwy na FKM, ac yn gallu datblygu gostwng elastig, crynhoi, a phroblemau adherio ar ôl bod yn eistedd amser hir mewn temperaturau uchel.

Cyflwr priodol: is-temperaturau, gofynion uchel o meddalwedd, gradd gwlith nad yw'n uchel, a risg llygredd yn derbynol.

Pwyntiau risg: trawsghiannu parâu dŵr, materion gweithredol, llygredd semicondwyriol/optegol, a chrynhau amser hir mewn temperaturau uchel.

3.6 Cynyl butyl IIR: Manwerthiant is-gwasgedd nwy, ond ystyrir ystod cyflwr gweithio yn llai eang

Mae cyfradd trawsddifrogi nwy'r rwbber butyl yn isel, ac felly mae'n deunydd gwerthfawr mewn torgiadau gwaelod traddodiadol. Mae Parker Material yn egluro bod cymeradwyaeth hir-dymor butyl rubber mewn torgiadau gwaelod yn dibynio prifol ar ei wrthdystiad rhagorol i drosglwyddo nwy, tra bod allgofnodi isel, colli mass isel a chydwedd da i lechi yn bodoli hefyd. Fodd bynnag, nid oes cy совgddebygolrwydd butyl â thymheredd uchel, cyfrwng cemegol, rhadioli a phrosesau â FKM/FFKM, ac felly mae angen dilysu'r cais yn benodol.

Scenarioau sydd yn addas: torgiadau gwaelod sefydlog, ble mae anogaeth isel i drosglwyddo nwy yn flaenllaw, ac mae'r tymheredd a'r amgylchedd cemegol yn gymedrol.

Pwyntiau risg: tymheredd uchel, asid, ocsidwr cryf, ocsôn a prosesau arbennig.

3.7 Pan na ddylid defnyddio cylchoedd-rwbber O?

Os yw'r cleient yn gofyn am wacwm uwch-faith, poeni tymheredd uchel amser hir, clirhad eithriadol, rhadioli cryf, gwaith trawsddiog eithriadol neu bwysedd terfynol isel iawn, yna dylid ystyried sêlau metel, fel gasketiau copr CF, eiriau indiwm, elastomer, cylch C metel, cylch O metel, ac ati. Mae Pfeiffer yn nodi'n glir, dan wacwm uchel, amser gweithio hir, llwyth rhadioli uchel neu ar gyfer ceisio cyfradd gwaith trawsddiog eithriadol, y dylid defnyddio elfennau sêlo metel yn lle elastomer.

4. Sut i Bendantu Cyfradd Cywasgu: Mae Sêlo Wacwm yn Amlwg angen mwy o gywasgu na sêlo statig arferol

Mae maint cywasgu cylch O wacwm yn effeithio'n uniongyrchol ar gyfradd ollwng. Mae cyfarwyddiadau Parker ar brofi cylch O wacwm yn dangos, mewn sêlo wyneb-diben, y gall codi maint y cywasgu leihau'r ollwng yn amlwg; mae ei weithrediad yn cynyddu hyd lwybr teithio'r nwy, lleihau arwynebedd y wyneb y mae'r nwy'n mynd i mewn trwy, a chaniatáu i'r rwbber llenwi diffygion micro ar wyneb metal yn well.

Ond nid yw cymhareb cywasgedd yn fwy o reidrwydd yn well. Gall cywasgedd gormodol achosi cywasgedd gormodol ar gylch O, cyfradd llenwi'r grof amlwg yn rhy uchel, nad oes gofod digonol ar gyfer eheddiad termol, cynyddu mewn deffro cywasgedd parhaol yn gynt, ac wedyn gollyngiad gwrthdro; adroddir hefyd gan Parker fod cywasgedd eithafol yn gallu achosi i'r pwysedd gywasgu gormodol; os yw'n rhaid defnyddio grof wyllt i godi cymhareb cywasgedd, rhaid i'r grof fod â gofod digonol i gymryd cyfrol y cylch O.

Yn ymarferol gall hyn gael ei dehongli fel:

Mewn tabl cynllunio grofau Parker ar gyfer y tu ôl gwaelod, mae cyfraddiadau cywasgedd cylchynau O o wahanol adran grosgroen yn amgylchynu'r ystod 19%–32% yn fras; dylid cyfrifo'r dimensiynau penodol yn ôl adran grosgroen, dyfnder y grof, lled y grof, a'r cyfeiriad gwaelod (mewnol/neu allanol) a'r ffyrdd assembliu.

5. Gwaelodderiad Arwyneb: Pwynt sydd yn fwy pryderus na phenderfynir gan gwsmeriaid.

Yr hyn a mhaentir mwyaf gan tocio gwaelod yw crioau a marcâu offer ar draws y llinell tocio. Hyd yn oed os yw materion y cylchynau O yn iawn, gall marcâu grofau croestorri, crioau, neu olion plismon ar arwyneb y flans hefyd greu "llygredd anweithlon".

Mae Parker yn argymell defnyddio testun lathed cylchol ar wyneb y flang sydd yn sealio gwrthdrawiad, ac yn rhagofyn llinellau prosesu sydd yn berpendicwlar i linell sealio'r O-seil. Mae Kurt J. Lesker hefyd yn nodi bod camgymeriadau ar wyneb metel neu gwydr sydd yn croesi'r arwyneb sydd yn cyffwrdd â'r O-seil — o sgratiau offeryn i'r ochr allanol sydd yn arwain at y safle gwrthdrawiad — yn gallu achosi gollwyr.

Argymhellion ymarferol:

Rhaid marcio'r gwerth rhagfarnad o'r wyneb sydd yn sealio'n glir; nid oes modd ysgrifennu "gorffeniad peiriannu" yn unig. Gall sealio wyneb-dor i waelod-gwrthdrawiad gyfeirio at raddfa 16 RMS; os yw'r lluniau'n defnyddio Ra, rhaid cadarnhau'r dull trosi a'r ddull derbyn â'r cleient, ac ni chaniateir cyfatebu RMS â Ra yn awtomatig. Rhaid gwirio'r gwaelod a'r ochrau o'r groff, a'r arwyneb cyfuniad o'r flang am bwrwys, marcio toriad, pwlliau corrodi, a phwyntiau mawr anferch.

6. Dewisiadau strwycturol: Seal statig wyneb-dor yn erbyn seal statig radiol

Dylid defnyddio'r seal wyneb yn gyntaf os yw hynny'n bosibl ar gyfer seal statig gwlith. Mae'r seal wyneb yn haws i ffurfio cywasgedd sefydlog, ac mae hefyd yn haws ar gyfer canfod heliwm a chleareiddio. Mae Parker yn argymell defnyddio seal statig gwlith yn gyntaf â chreigiau wyneb neu seal wyneb, a'u cydweddu â gradd gwlith priodol a swm uchelach o gywasgedd; os yw seal radiol neu seal llwybr yn rhaid ei ddefnyddio, nid yw'n gallu darparu perfformiad mor da.

Mae creigiau clogwyn yn addas ar gyfer drws, sealing fertigol, a thrwy hynny lleihau amserau cynnal a chadw; mae eu nodwedd yw bod ardal eu sylfaen fach, ond nid ydynt yn ffrindgar i ehangu thermol a resistas at solventau materion. Mae Parker hefyd yn awgrymu fod y clogwyn yn cael ei ddefnyddio allan o'r diwydiannau microelectronig yn llai aml, oherwydd bod nodweddion ei siâp yn cyfyngu ar gyfaint gwag, ystod tymheredd, tolerans, a chyflwr cyfatebol o ansawdd.

Nid yw dwy gylchyn O yn well yn naturiol, yn nodi Kurt J. Lesker yn glir; os nad oes gwahaniaethu pwmpio rhwng y ddau gylchyn O, nid oes angen i ddwy gylchyn O fod yn well na chylchyn unigol. Ar gyfer ffyntell gofod gollt uchel, cloc llwythio, a ffyntellau gafael semicondwr, gallwch ddefnyddio'r strwythur pwmpio "dwy gylchyn O + groff cynhwysedig". Ond hyn yw rhan o ddylunio'r system, nid adio un yn syml.

7. Allgofnodi a Lleihau Gollyngiad: Rhaid Edrych ar y System Cyfansawdd, Ar ôl Prosesu a Swm

"Lleihau allgofnodi" nid yw enw penodol caoutchouc sydd yn bodoli'n naturiol, ond mae'n cael ei benderfynu gan y system cyfansawdd + ffurfio + system ymffurfiad + cyflwyno ar ôl ymffurfiad + gweithrediad + pacio + rheoli swm.

Mae data NASA am allweddau allgofnodi yn egluro, defnyddir ASTM E595 i fesur TML a CVCM mewn cyfleoedd gofod gwag, ac y gellir ei ddefnyddio i gadarnhau perfformiad isel allgofnodi materion. Mae data Parker Chemomerics am lefel isel allgofnodi NASA hefyd yn egluro, mesurir TML a CVCM gan ASTM E595, ac mae gwerthoedd canllawiau cyffredin ar gyfer rhaglen NASA yn TML ≤ 1%, CVCM ≤ 0.1%.

Dylid gofyn i'r cyflenwr am y cynnyrch:

Adroddir gan Parker hefyd fod popty tywyll yn helpu tynnu materion gwaith sydd wedi’u adael, ond gall achosi crynhoi’r cylchwynnau, a newid y perfformiad elastig a’r perfformiad ar wahanol is-temperaturau. Felly nid oes modd trin y broses "popty unwaith" yn broses nad yw’n cynnig risg, ac mae angen cadarnhau newid dimensiynol, newid crynedd, a chrynhadu parhaol o’r gwasgedd.

8. Glaniau: Y "Mesuriad Anweledig" o Glosio Tywyll

Mewn systemau tyllau, gall oleiâu llaw, llwch, dadlenni, asiant cyflwyno fform, tanio olei, a gweddillion asiantau clirio bob un ddod yn ffynhonnell llwyddiant neu lek. Mae argymhellion Kurt J. Lesker ar glirio tyllau uchel yn nodi bod ffynhonniadau tanio cydrannau tyllau yn cynnwys hylifau oeri peiriannu, teimlo gan bobl a storio anghywir, tanio sydd yn mynd i gŵn, hylif soap, cymyl a gweddillion alcohol, ac yn olaf mae angen sychu termol a phacio priodol.

Argymhellion gweithrediad ymarferol:

Peidiwch â teimlo'r O-seinliau a'r arwynebau tân yn uniongyrchol cyn eu gosod. Defnyddiwch lawerion nad ydynt yn gynhyrchu llwch, gwerthfach nad yw'n gynhyrchu llwch, solventau clir, neu ffitiadau penodol. Ni chaniatir pwdr talcam, dadlenni, chips metel, hylifau torri, llygredd cyffredin, na oil drosglwyddo ar wyneb y O-seinl. Fel arfer, gofynir am glirio gweithdrefn clir gan cleientiaid semicondwr a optegol, pacio mewn bagiau clir dwbl, labelu swm a dyddiad terfyn ar agor y pac.

9. Sut i ddewis olei tyllau: Defnyddiol, ond nid yn rhagolygon angenrheidiol

Mae swyddogaeth gryllosgell gofod gwag yn llenwi'r anghydraddolrwyddau micro ar wyneb metel, yn lleihau'r gollwyr o dan y micro-sianel, ac yn cynorthwyo gosod. Mae arbrofiadau Parker yn dangos bod gryllosgell gofod gwag uchel yn gallu lleihau'r trawsnewidiad o'r O-seinlen tanio yn sylwadwy; ond dan symudiad gormodol, mae'r buddiannau a gynigir gan y gryllosgell yn dod yn amharu. Mae Pfeiffer hefyd yn nodi bod swm bach o gryllosgell llygredd yn gallu codi llenwi'r diffygion micro ar y wyneb a lleihau'r gollwyr, ond bydd gryllosgell llygredd gormodol yn rhedeg llygredd, yn cymryd lle i'w defnyddio ar gyfer ehangu thermol, a gall hefyd fynd i fewn i'r ochr gofod gwag a ffurfio sedimaint neu ail-achosi gaseg.

Strategaeth Dewis:

Mae cywdd Pfeiffer yn uniongyrchol iawn: a yw defnyddio cremau llygredd yn dibynu ar ba mor glir y system sydd ei angen; efallai nad yw llygredd yn derbynol o gwbl mewn cynefin o uchel glirder; os caiff ei ddefnyddio, yna rhaid i'r haen lliwio fod yn anferthol gynnes, bron yn anadlewyrchol i'w teimlo. Mae data Apiezon yn dangos bod cremau llygredd gwastraff yn cynnwys hydrocarbon, heb silefon, gwastraff uchel, gwastraff uchel-uchel a chremau PFPE a systemau eraill, sydd yn addas ar gyfer amgylchiadau gwahanol o berchnogaeth uchel a prosesau cryf o ocsidio/corffwysiad, ond gofynnir am dilysu broses.

Peidiwch â defnyddio cremau melyn arferol, llygredd arferol, na llygredd mecanyddol fel amgen i gremau llygredd gwastraff; hyd yn oed os yw wedi labelu fel "crem llygredd gwastraff uchel" nid yw hynny'n cyfateb i fod yn addas ar gyfer prosesau semiconductor na prosesau sydd yn sensitif i lygredd optegol.

10. Sut i Gwblhau Adnabod Gollyngiad Helium: Rhaid Gwahaniaethu rhwng Gollyngiadau Go iawn, Diflithiad a Rhyddhad Gaseg

Cyffredinol o gynnyrch gwael yn adnabod gollyngiadau helium mewn gwaelod: pan gaiff signal helium ei weld yn uniongyrchol, mae'n cael ei ddyfalu bod y cylchyn gwrth-gwaelod wedi ei niweidio. Y sefyllfa go iawn gall fod yn cynnwys crioedd ar y seal, cynhwysiad rhannau, gorfod y strwythur groff o'i le, diflithiad y defnydd, rhyddhad gaseg neu lygredd o liwgraff.

Y broses a gwalltir:

Cyntaf, gwnewch y gwastraffu a'r cadarnhau arbenigol. Gwirio'r groff, wyneb y flans, arwyneb y cylchyn gwrth-gwaelod, cysonrwydd y rhagllwyddo ar y scrîwiau, dwythra'r groff a'r cyfradd cywasgedd.

Yna gwnewch y profiad codi pwysedd. Adnabod a yw'r graff yn codi llinellol neu'n arafu gradually; os yw'r cymyldeg codi pwysedd yn agosach at linell syth, mae'n fwy tebygol o fod yn gollyngiad, os yw'n mynd yn arafach tuag at sefydlogrwydd, mae'n fwy tebygol o fod yn rhyddhad gaseg o'r defnydd.

Yn olaf, cynnal adnabod gollyngiad gan spéctrwmhedydd maeinwr heliwm. Defnyddir gwaelod gofod uchel a gwaelod gofod uchel iawn yn aml gyda heliwm ymestyn allan, ac yna bod yn sylw ar ymateb y gofod gwaelod. Mae Leybold yn nodi bod adnabod gollyngiad â heliwm yn gallu lleoli gollyngiadau bach yn uniongyrchol a'u mesur yn fesuradwy, ac fel arfer mae angen offer adnabod gollyngiad â heliwm ar gyfer gollyngiadau is na 10⁻⁶ mbar·L/s.

Rhaid ysgrifennu'r dull o brofiad yn glir ar gofnodau cyfradd y gollyngiad a dderbyniwyd: y dull ymestyn, y dull habsorbiad, y dull amgylchynu, y gwahaniaeth pwysedd ar gyfer y profiad, cydrannedd y heliwm, amser ymateb, y dull tynnu'r cefndir, amser cadw pwysedd, a'r thrancshold dehongliad. Fel arall, nid oes "adnabod gollyngiad â heliwm yn llwyddo" unrhyw arwyddocâd peiriannegol.

11. Cyfeiriadau Argymhelltig ar gyfer Cwsmeriaid Gwahanol

Cwsmeriaid Offer Gofod Gwaelod

Cyflwyno FKM 75A â pheryddiad isel fel cyntaf, neu FKM o ansawdd gwlân, grof ar wyneb y pen, cywasgedd o tua 20%–30%, gradd wyneb 16–32 RMS, penderfynu a yw poeni gwlân a darganfod heliwm yn rhaid yn ôl gofynion y cwsmer am wasgair isel, a pharhau i adnabod amseriad cynnal a chadw yn gryf; os yw'r wyneb eisoes wedi tarwedu yn ychydig, gallwch gymryd haen anhebygol o gremau gwlân.

Cwsmeriaid Offer, Sgintigraffeg, Offer Dadansoddi

Canolbwyntio ar reoli peryddiad, materion gweithredol a chychwyniad cefndir heliwm. Dewis FKM neu FFKM â pheryddiad isel fel cyntaf, defnyddio llai o gremau llygredd neu beidio â defnyddio unrhyw un, gofyn am bacio clir, olrhain swyddfa a data rhag-achosio sydd eu hangen. Yn y gogwydd dadansoddol sensitif, rhaid canolbwyntio ar ansawdd cefndir y deunydd ei hun, nid dim ond ar gyfradd ollwng.

Cwsmeriaid Semiconductor

Dewis cyntaf o FFKM, FKM sydd yn resistas i eintiau corrosg, â llai o eintiau metel, llai o rhanegau, ac â llai o gynhyrchu gaseg. Rhaid egluro'r gwyddorau gaseg, y math o blasma, y cylch tymheredd, y hylif clirio, a lleoliad y cwlwm. Mewn mwyafrif o achosion nid oes argymhellid ar gyfer defnyddio greis tywll yn anarbitrariol. Mae angen olrhain swyddfa, pacio glan, Tystysgrif o Gydweldra (COA), a'r amser angenrheidiol i ddarparu data am TLW/CVCM, dadansoddiad eintiau, rhannau, a dilysu proses.

Cwsmeriaid Cyfarpar Plating

Os yw PVD arferol, parhau, sealio drws tywll, mae FKM yn addas; os oes tymheredd uchel, nwy gweithgar, neu risg o lygredd y haen lliwio, yna dylid diweddaru i FFKM neu ffurfiad penodol â llai o lygredd, a gall sealio drws hefyd ystyried dau gylch O ynghyd â chroeslin pwmpio canolig, yn hytrach na chynnydd unigol o gylch O.

Cwsmeriaid Optegol, Amaethyddiaeth Gofod, a UHV

Os oes arwyneb optegol sensitif, gofod gwag uwch-uchel, poeni amser hir, neu ofynion cyfyngedig iawn ar gyfer llygredd, efallai nad yw cylchau gwrthlach ruber yn addas; dylid rhoi blaenoriaeth i asesu elastomer, sydd angen data allgofnodi isel, poeni gwag, pacio glân, dileu defnydd anorfod, a phrofiad allgofnodi'r system gyfan.

12. Meysydd sydd angen eu gofyn yn ystod prynu/cyflwyno cyfriniad

Pan fyddwch yn cyhoeddi taenllenni dewis i gwsmeriaid neu darparwyr, cynhwyswch o leiaf y meysydd canlynol:

13. Penderfyniad Cyfyngol Olaf

Gallwch fasnachol amlinellu ar hyd y llwybr penderfynu canlynol:

• Gofod gwallt cyffredin/gofod gwallt isel, sensitif i gost: gall NBR neu EPDM fod yn ystyriaeth, ond rhaid cadarnhau'r cyfrwng a'r tymheredd.
• Offer cyffredin gofod gwallt uchel: FKM â chyflaith o ddiffru isel yw'r dewis prif.
• Semicondwyddor, nwy corrodiol, plasma tymheradwy uchel: FFKM neu FKM penodol sydd â resistas i ionau.
• Uwd o ddŵr, steim, ocsigen: Adferiad rhagorol EPDM.
• Anogaeth meddalwedd isel-temperatur: Gall caoutchouc siliwon neu EPDM fod yn ystyriaeth, ond rhaid ei werthuso'n ofalus o ran diffru a chyflaith o ddiffru.
• Gofod gwallt uwch-uchel, llygredigaeth cryfaf, poeniadau hir-dymor, sensitif i lygredigaeth optegol: Tôl ymddangosio metel yn flaenllaw; cyswllt caoutchouc O-ring yn unig fel cyfatebiaeth wedi'i wirio.

Crynodeb mewn un frawddeg: nid yw canolbwynt dewis cyswllt caoutchouc ar gyfer gofod gwallt yn "pa fath o gaoutchouc sydd yn para," ond a all cyfanswm y cyfradd o gollwyr, cyflaith o ddiffru, diffru, llygredigaeth a phwynt gosod ar wyneb gael eu rheoli dan raddfa gofod gwallt y targed.