Séalaithe Fholúis O-rings ní féidir é a roghnú ach le "materail + tomhas + cruaíocht." Faoin gcoinníollacha oibre fána, is minic a bhíonn an t-éagóra sealála níos casta ná sreabhadh simplí, ach lucht gais atá bunaithe ar shreabhadh fíor, ar thraschur rúibire, ar ghasaíocht na mbearraí, ar chontamainiú an uairchlár, ar vólatail na mbeartluithe agus ar bháinseacht na struchtúr gealaithe. Don vacuam ard, don vacuam an-ard, don leictreonics, don pláta, don speactrais, don cábán optach agus do chustaiméirí eile, ba chóir an straitéis freagartha a thógáil ó "an féidir leis an bpriontáil a shealáil" go dtí "an féidir an iomlán lucht gais agus an riosca contamainiú a rialú."

1. An Príomhphointe Aird don Vacuam O-Rings: Ní Priontáil, ach Lucht Gais

Is iad sealáilí hidrilic agus pniomatacha coitianta a bhíonn faoi chúram go príomha le difríocht phriontáil, le feidhmíocht in aghaidh na scagadh, agus le comhoiriúnacht le meáin; ba chóir sealáilí vacuam a bheith níos mó faoi chúram le:

Ar a dtosach, cailltean fíor. Is féidir leis an mbord, an gcróga, na scritheanna, na marcanna machanais agus na rannáin atá i mbun a bheith istigh a chruthú ceann de na micre-thuairiscí go dtí an taobh amuigh den fháinne sealála. Téann an ghás tríd an beagán spás seo níos éasca ná an leacht, mar sin ba cheart aird ar leith a thabhairt ar cháilíocht an dromchla sealála nuair a bhíonn vacuam i gceist. PARKER tugann an t-ábhar sealála vacuam a úsáideann an t-úsáideoir liom a léiriú soiléir ar ghás nó ar ghrádú an dromchla micre-thuairiscí sa chróga sealála vacuam, agus molann sé go n-úsáidtear gradam RMS 16 ar an dromchla teagmhála sealála, agus go mbeidh línte próiseála ingearacha faoi mhíchumas a chrois an líne sealála.

Ar a dó, an gcaithnís. Fiú gan míbhuanaithe meicniúla, is féidir le gás fós cruthú méid mór de lucht gáis nuair a scaipeann sé tríd an struchtúr eilastach isteach ar an taobh folamh íseal de an fhócas. Deir treoracha teicniúla Kurt J. Lesker go bhfuil caithnís na n-eilastamair in ann gás a scaipeadh agus a leathnú ag brú íseal, agus tá luas an chaitheanna ag athrú le teocht, brú, cineál gáis agus cineál eilastamair; léiríonn Pfeiffer freisin go bhfuil ciorcail sealaithe eilastach i mbun féin le caithnís níos airde, agus fiú nuair nach bhfuil leakáil soiléir sa chóras, d’fhéadfadh sealaithe eilastach féin fós a bheith ag tiontú ar an bhrú teoranta folamh.

Ar an tríú háit, an gasaíocht amach agus na substaintí volatáil. D’fhéadfadh substaintí le mion-mhais, plástacháin, fuaimeanna neamh-ghlanaithe agus fuilte adshorptáilte sa O-rings a bheith díshóite mar gheall ar an t-ullmhú don vacam airde. Úsáideann stór sonraí NASA maidir le gasaíocht amach an modh ASTM E595 chun an caillteanas iomlán ábhair TML agus an t-ábhar volatáil atá in ann ath-sholáthar CVCM a mheas i dtimpeallacht vacam fíor, le luachanna treoracha coitianta TML ≤ 1%, CVCM ≤ 0.1%, ach tá an freagra seo mar thomhas ginearálta do ghlantacht industrial, ní rud a bhfuil caighdeáin stricte comhfhreagrachta air do gach scénra vacam industrial.

Ar an ceathrú háit, an загрязнение. Is é an t-ábhar is mó a bhíonn báis ag an t-indistriu semiconductors, an t-indistriu pláitithe, an speactroscóp, agus na spialaidí optacha ná ‘beagán gais a éag’ ach na substaintí volatáil a leagtar ar phlánaí, ar thargaidí, ar dhromchla na gceangail optacha, ar phointí teagmhála, agus ar chavaithe anailíse. Deir Parker go dtugann roinnt cineálacha ola elastomer nó a gcuid comhpháirtí faoi vacam isteach ar dhromchlaí gar, ag cruthú filmí tiubha, agus ag déanamh cailliúint ar cháilíocht an dromchla íogair.

2. Sainnigh an t-árdachas fholamh agus na méidí glactha

Roinntear na trí thaispeántas seo ón gcustaiméir sula roghnaítear an t-ionstraim:

Cá bhfuil an bhrú oibre agus an bhrú teoranta?

Is féidir le hionstraim fholamh íseal agus fholamh gairid a sheasamh leis an bhfhorshlán gas níos mó; is éigeach go bhfuil ionstraim fholamh airde níos airde ná siostaim fholamh airde ar an bhforshlán seo. Taispeánann sampla Pfeiffer: ag DN 500 ISO-K flange, is féidir an forshlán gas ón gceangal elastamach FKM faoi fholamh aer agus faoi 60% caithneachta a bheith mar phointe teoranta ar an bhrú, agus léiríonn sé go dtagann an forshlán gas ón gceangal elastamach FKM go dtí luach i rith 4×10⁻⁷ Pa·m³/s.

Cá bhfuil an ráta leácaithe ceadaithe?

Déanann an bhríomhghlanntacht a bhréagadh go coitianta úsáid as mbar·L/s nó an t-aonad SI Pa·m³/s. Tagraíonn treoracha Pfeiffer ar ráta an fhuiscithe freisin don aonad príomhshrutha do bhreithniú heiliam, mbar·L/s nó Pa·m³/s chun ráta an fhuiscithe a shonrú. Taispeánann sonraí Leybold ar bhreithniú fhuiscithe go bhfuil an tiomantas le fuiscithe éagsúil go mór ag réimseanna éagsúla den bhríomhghlanntacht: is féidir gan aon ghlantacht i mbriomhghlanntacht íseal a ghlacadh; mar shampla: <10⁻⁷ mbar·L/s is féidir a thabhairt faoi na focail "gás-dhein," agus <10⁻¹⁰ mbar·L/s is níos cóngaraí don abairt "dein iomlán."

An bhfuil sé testa ardú brú, nó an bhfuil sé breithniú fhuiscithe le speictreamaítré maise heiliam?

Is féidir triail an t-éileamh bhréige a úsáid chun an iomlán lucht gáis a mheas trí éileamh an bhréige san am a thagann leis an mbosca; má théann an cur síos ar éileamh an bhréige i dtreo na ndíthreomha, is mó a shéans go bhfuil sé ag rith go fíor; má théann sé i dtreo líne dhíreach ach tá sé ag comhthiomnú go bog, is mó a shéans go bhfuil lucht gáis ann. D’fhógair Leybold an comparáid idir triail an t-éileamh bhréige agus difríochtaí na gcuid eileamh/oscailte gáis, agus léirigh sé go n-éilíonn lucht gáis faoi 10⁻⁶ mbar·L/s de ghnáth uirlisí díthreomha héiliam chun a bheith aitheanta go cruinn.

3. Conas Materiail a Roghnu: Ní féidir an t-athrú a dhéanamh ar 'FKM/Viton' amháin

3.1 FKM: An rogha réamhshocraithe do chuid mhór na n-ionstraimí folctha airde

Is é caithreamh fluorine FKM ceann de na caithreamh folctha is coitianta Ciorcal O matairíal, oiriúnach do chuid is mó de thaisce fholamh-ard, uirlisí, taisce cuirte, comhshálaí puipéad fholamh, fuinneoga breathnóireachta, sealanna stádach KF/ISO, srl. Cuireann Kurt J. Lesker béim ar FKM mar cheann de na sealanna elastamair is coitianta i bhfolamh, le tuaslagacht mhaith ag ard-teochtar, tuaslagacht ar ozón, tuaslagacht ar ocsaigin agus comhoiriúnacht le roinnt olaí/solúntaí, agus le trédhearcadh gás íseal, ach tá a bheith ag obair ag teochtar íseal go ginearálta níos laga.

Nuair a roghnaítear FKM, ní mór béim a chur ar "FKM fholamh-ghrád" nó "FKM le gasaíocht íseal", ní FKM tionscalach gnáth. D’fhéadfadh FKM gnáth, má tá an post-vulcanization ró-mhion, má tá aghaidh an phrodtucta ag brath ar aghaidh an mold release agent, nó má tá ábhar gásach nó загрязнение ó phacáiste ann, fós a bheith ag déanamh gásaíochta airde i gcórais fholamh.

Cásanna ina úsáidtear é: cirt fholamh-ard, taisce cuirte, uirlisí labharaithe, comhshálaí puipéad fholamh, cirt cabhrach gnáth le haghaidh semiconductors.

Pointí riosca: ion láidir, próiseas corraíochta láidir, leathnú ag teocht ard, inneall speictrach ópaitice ardfholláin, ní mór dearbhú breise nó nuashonrú a dhéanamh.

3.2 FFKM: Tionscail seimiconduictéir, gásanna corrach, próiseas teochta airde mar chéad réimse measartha

Is iomchuí an fheilastómar pherfluoro (FFKM) do phróiseas teochta airde, corraíochta láidire, plasma, agus eitíniú/leagan síos seimiconduictéir. Deir Kurt J. Lesker faoi Kalrez 4079 go mbíonn sé in úsáid i go leor timpeallachtaí próiseas seimiconduictéir tirim agus fliuch, go bhfuil an t-ádhmhaireacht cheimiceach an-ard aige, an staidiúlacht theirmiceach, agus go mbíonn caillteanas níos lú aige i bplasma freagartha.

Cásanna ina bhféadfar é a úsáid: eitíniú seimiconduictéir, CVD/PVD, ALD, gásanna próiseas corracha, cíclanna leathnaigh teochta airde atá ann go minic.

Pointí riosca: praghas ard; tá difríochtaí móra idir foirmleachtaí éagsúla FFKM, agus ní mór na riachtanais le haghaidh cothrom ionann iad i dtreo mhionpháirtí, íonanna íseal, páirtí beaga, agus aschur beag a shonrú go soiléir.

3.3 EPDM: Fuil-ghas, Oiséan, Steaim, Cásanna áirithe radaíochta is féidir iad a mheas

Is oiriúnach EPDM do uisce, steaim, óiséan, agus timpeallachtaí radaíochta áirithe. Molann ábhar sealála fholctha Parker EPDM nuair atá sé i uisce te, i steaim nó i dtimpeallachtaí ina bhfuil radaíocht láithreach. Tagraíonn Kurt J. Lesker freisin go bhfuil an t-ábhar seo ina gceann dea-thábhachtach i leith uisce, steaim, óiséan, aoisithe aimsire, agus ina gceann dea-thábhachtach freisin i leith ola minéar, fuinniú agus fluidí hidreacarbón, ach níl sé ina gceann ola-choimeádach.

Cásanna ina bhfuil sé oiriúnach: áit ar bhíonn fuil-ghas ann go minic, óiséan, glanadh steaim, agus timpeallachtaí radaíochta páirteacha.

Pointí risca: níor cheart EPDM a úsáid nuair a bheidh sé i dteagmháil le hola puimp fholctha, le solúnta hidreacarbón, nó le hola-mist.

3.4 NBR: Costas íseal, ach níor cheart a úsáid i gcásanna ar bhfuil gá le glanadóireacht ard nó i gcásanna críocha

Tá rúibear nitrile NBR coitianta i sealú fálcais íseal-chostais, agus is féidir a úsáid le haghaidh fálcais ghnáth, fálcais íseal, sealú do dhorcanna an-ghnáth, agus timpeallachtaí nach bhfuil go dtí an tsoithíocht. Ach níl sé ina mhaoin roghnaithe do fálcais ard/fálcais an-ard. Deir Kurt J. Lesker go bhfuil NBR ar cheann de na maoin chaighdeánacha is lú-costais atá ar fáil do fhalcais, ach tá ráta tráchtála an t-uisce agus an fhuaráin timpeall 20 uair níos mó ná an ráta le FKM, agus níor cheart é a úsáid i próisis ocsaigine nó ocsaigine-plasma.

Cásanna ina bhféidir a úsáid: fálcais ghránach, fálcais íseal, inneachair ghnáth, agus inneachair a bhfuil an chostas thábhachtach.

Pointí riosca: uisce, ózón, ionaí ocsaigine, soithíocht ard, agus teorainneacha brú fálcais arda.

3.5 Rúibear silicóin VMQ: Tá bogadóireacht ag an teochta íseal maith, ach ní mór aire a ghabháil le tráchtáil fálcais agus le heaspórtáil.

Rúibear silicónach a bhfuil an-taithí ar théimreacht íseal, bog, agus oiriúnach do roinnt feidhmchláir téimreacht íseal nó d’fheidhmchláir nach bhfuil an-chuid aird ar ghalar a dhéanann загрязнение, ach ní mór aire a bheith agat i gcórais fholmhaigh airde. Deir Kurt J. Lesker go bhfuil ráta trádála fuaime uisce silicone rubber faoi 200 uair níos mó ná an ráta le FKM, agus is féidir é a chur i leith an t-éadach a laghdaíonn, a dhéanann cruaíocht, agus fadhbanna adhesión tar éis úsáide fadtéarmach ag ardthéimreacht.

Cásanna ina bhfuil sé oiriúnach: téimreacht íseal, riachtanais airdeacha bogachta, gradam fholmhaigh nach bhfuil airde, agus risc загрязнение a ghlacann an t-úsáideoir.

Pointí ris an mbriseadh: trádáil fuaime uisce, ábhar volatil, загрязнение semiconductors/optical, agus brú fadtéarmach ag ardthéimreacht.

3.6 Rúibear butíl IIR: Tairbhe an-tiúcháin gas íseal, ach tá raon na dtíortha oibre a bhfuil sé oiriúnach dó níos caoige.

Is í an ráta tránsfúis gás butíl rúibire íseal, agus is iarrthar ar an ábhar seo go minic i mbun sealadh fholamh traidisiúnta. Deir Parker Material gur féidir butíl rúibear a úsáid le haghaidh sealadh fholamh ar feadh tréimhse fhadtéarmach, mar gheall ar a chumas iontach chun gás a shealadh, agus mar gheall ar a bhaint as gás íseal, a chaillteanas maise íseal, agus a chumas maith chun fiacail a shealadh.

Cásanna ina bhfuil sé oiriúnach: sealadh fholamh státach, nuair a bhíonn tosaíocht ar thránsfúis gás íseal, agus nuair a bhíonn teocht agus timpeallacht cheimiceach sábháilte.

Pointí riosca: teocht ard, aigéid, ocsaídeoir láidir, ózón, agus próisis speisialta.

3.7 Cén uair nach ndéanfaidh rúibear O-rings oiriúnach?

Más é an gá le fholamh an-ard don chustaiméir, le báicéil ar feadh tamaill fada ag ard-teocht, le glanad an-ghaolmhar, le radaíocht láidir, le trádáil an-ghaolmhar nó le brú teorach an-íseal, ba cheart sealanna iascaireachta a mheas, mar shampla sealanna copair CF, sreang indiam, elastamair, sealanna C-mhionnacha iascaireachta, sealanna O-mhionnacha iascaireachta, srl. Deir Pfeiffer go soiléir go dtuigear go n-úsáidtear sealanna iascaireachta in ionad elastamair faoi fholamh ard, le haghaidh sealanna fadtéarmach, faoi lucht radaíochta ard nó nuair a theastaíonn ráta trádála an-ghaolmhar.

4. Conas an Coimhriúchánraidiú a Bhreathnú: Tugann Sealadh Fholamh Níos Mó Coimhriúcháin Mar a Riallaítear Mar Sealadh Staiticiúil Choitcheann

Tá an méid coimhriúcháin a úsáidtear le sealanna fholamh O-mhionnacha i dtír an-tionchar ar an ráta leácaigh. Taispeánann treoracha Parker maidir le tástáil sealanna fholamh O-mhionnacha go bhféadfadh an méid coimhriúcháin a ardú i sealadh aghaidh a laghdú go soiléir an leácaigh; is é an mecanach ná an bealach a thagann an gás trí a fhad a mhéadú, an achar a ndéanann an gás isteach a laghdú agus an rúibear a chur i mbun na mbacainí micreascopacha ar dhuine an mheataile.

Ach tá an coimhriúchán ach níl sé níos fearr leis an gcoimhriúchán níos mó. Is féidir coimhriú ró-mhór a chur in aghaidh an O-ring, agus is féidir an ráta líonadh na gcrannóg níos airde, gan spás don leathnú teochta, agus éagóra coimhriúcháin thar feadh ama, agus ansin tiomáint ar ais agus scagadh. Cuimhníonn Parker freisin go dtugann coimhriú tar a bheith ró-mhór brú ró-mhór. Má úsáideann tú crannóg dhomhain chun an coimhriúchán a ardú, ní mór don chrannóg bheith le spás leis an toirt iomlán den O-ring a áireamh.

Is féidir é seo a thuiscint go praiticiúil mar:

I dtabló Parker don dearadh grúpa aige ar chríocháin fholamh, cover an t-éileamh éagsúil ar chros-chleitheadh an O-ring an raon 19%–32%, agus ba chóir na tomhais sonracha a ríomh de réir an chros-chleitheadh, doimhneacht an ghrúpa, leithead an ghrúpa, agus treo an fholamh istigh/amach agus an fhoirm a úsáidtear le haghaidh an taisce.

5. Caolmharacht an Aghaidh: Pointe níos mó a bhaineann leis an gcaoi a bhfuil an cliant ag smaoineamh air.

Is é an rud is mó a bhíonn an sealaithe fholamh ag eagla aige ná scraith agus marcanna uirlisí thar líne an tshealaithe. Fiú má tá an t-ábhar O-ring ceart, má tá marcanna grúpa crostá, scraith, nó tráchtáin partaí ar aghaidh an flainc, is féidir go mbunú "imscrúdú gan a bheith ina léargas."

Molann Parker an t-úsáid ar dhromchla sealaithe fóilíochta a bheith leathaithe timchiollach, agus na línte próiseála a bheith i gceartúr le líne sealaithe an O-ring. Tagraíonn Kurt J. Lesker freisin don ghortú ar dromchla an mheatail nó an ghloine atá thar líne teagmhála an O-ring, ó scraithíní uirlisí go dtí an taobh amuigh a thagann isteach i dtreo an taobh folaithe — is féidir seo a bheith ina chúis le leáthadh.

Moltaí praiticiúla:

Ba cheart an dromchla teagmhála sealaithe a shainiú go soiléir de réir an ghrádú rúscachta; ní féidir a scríobh ach 'críochnú meicniúil' amháin. Is féidir an grádú 16 RMS a úsáid mar threoir do shealaithe aghaidhe in airde-fholaithe; má úsáideann an t-oileán Ra, ba cheart é a fhíorú leis an gcustaiméir faoi an t-aistriú agus an modh glactha, agus ní féidir RMS agus Ra a chur in ionad a chéile go meicniúil. Ba cheart an bun an ghrúpa, na taobhanna an ghrúpa, agus an dromchla comhtháite an fhlainse a sheiceáil ar bhurraí, ar liostáilí oibre, ar phití corraí, agus ar lámhainní móra.

6. Roghanna struchtúrtha: Sealadh staighre aghaidhe vs Sealadh staighre radaí

Ba cheart an t-síniú staighreáideach fholamh a úsáid ar dtús, má tá sé ar fáil, mar shíniú aghaidhe. Is éasca níos mó síniú aghaidhe a dhéanamh chun brú stádach a chruthú, agus is éasca freisin an dúshlán héiliam a bhrath agus an glanadh a dhéanamh. Molann Parker go ndéantar úsáid as síniú aghaidhe nó síniú gualach aghaidhe do shíniú staighreáideach fholamh, le rianú ar an mbrú agus ar an raon fholamh a bheith oiriúnach; má úsáidtear síniú radaíochta nó síniú slí, ní féidir an t-ábhar sin a sholáthar.

Is iad na gualacha dúbhailt an oiriúnach don doirse, ar an sealú ingearach, agus nuair is mór an riachtanas le haimsir an t-ullmhú a laghdú; tá an príomhghné a bhaineann leo ná go bhfuil a gcineál beag, ach níl siad cairdiúil le forlíneadh teochta agus le tuaslagthacht ábhair. Deir Parker freisin go mbíonn an dáileadh dúbhailt in úsáid amach as industrie na micreileictreonics níos lú, toisc go mbeannann a chruth ar an iomlán folamh, ar an raon teochta, ar an tollráin agus ar an cháilíocht a bheith faoi thionchar níos mó.

Níl dúbailt na nO-rings nádúrtha níos fearr, a deir Kurt J. Lesker go soiléir; má tá an dá O-ring idir dhá phointe gan púmpáil dhifriúil, ní gá go mbeidh an dá O-ring níos fearr ná an t-aon O-ring. Le haghaidh válv doirse vacúim airde, lódchistin, agus válv geata leictreonaice, is féidir úsáid a bhaint as an struchtúr púmpála "dúbailt na nO-rings + grog púmpála idir-mheánach", ach tá sé seo bunaithe ar dheisíniú an chórais, ní ar an iomlán a chur leis an gcuid eile go simplí.

7. Ascaoi agus Tionchar Beag: Caithfidh tú an córas comhshóite, an próiseáil i ndiaidh an phróisis, agus an báis a sheiceáil.

ní ainm rúibín áirithe atá 'ascaoi íseal' mar gheall ar a nádúr, ach is é an córas comhshóite + an foirmle + an córas vulcanaithe + an chúrsa post-vulcanaithe + an glanadh + an pacáil + smacht ar an mbáis a chinntíonn é.

Mionsaíonn sonraí NASA maidir le gasú intinneach go dtí an t-áit a mheasann ASTM E595 TML agus CVCM i gcomhthéacs fholamh, agus is féidir é a úsáid chun feidhmíocht íseal an ghasú intinneach a bhfuil an ábhar ina dhiaidh sin a fhíorú. Mionsaíonn sonraí ábhair íseal an ghasú intinneach de NASA ó Parker Chemomerics freisin go measann ASTM E595 TML agus CVCM, agus is iad na luachanna treoracha coitianta do úsáid NASA ná TML ≤ 1%, CVCM ≤ 0.1%.

Ba cheart an soláthraí a éilí ar an gceannach:

Cuimhníonn Parker freisin go dtugann tórramh i bhfolcthaí cabhrú le habhainn fhuilteach fágtha a bhaint, ach d’fhéadfadh sé a bheith ina chúis le laghdú ar mhéid na n-ó-rings, agus le hathrú ar a ndéantús élastaigh agus ar a ndéantús ag teochtaí íseal. Mar sin ní féidir an próiseáil "tórú uair amháin" a sheiceáil mar phróiseáil gan aon riosc; is gá an t-athrú ar an méid, an t-athrú ar an crua agus an deighilteacht tharbhach ar an gcomhbhrú a dhearcadh.

8. Glanmhalartacht: An "Tomhas Gan Fheiceáil" ar Phacáil i bhfolcthaí

I gcórais vacúim, is féidir le h-olaí lámh, an t-achar, na fíbí, an t-aghrán a úsáidtear chun molda a scaoileadh, an truaillithe ola, agus na fuílíní a fhaightear ó ghléasaithe glanaithe a bheith ina fhoinseanna lucht gais nó leacaidh. Deir moltaí Kurt J. Lesker maidir le glanadh i bhfíochvacúim go dtí go mbíonn foinseanna truaillithe comhpháirteanna vacúim ina measc: an t-liquid a úsáidtear chun an t-ainmhithe a fhuarú, an teagmháil leis an duine, an stóráil míchuí, truaillithe atá sáite i ndrogha, leacainn, fuílíní uisce agus alcaile, agus deireadh thiar is gá an t-áit a thirim le teas agus a phacáil go cúramach.

Moltaí oibre praiticiúla:

Ná tagaigh i dteagmháil dhíreach le hO-rings agus le haghaidh an tsealaithe roimh shuiteáil. Úsáid lámhainní gan fíbí, pléasc gan fíbí, solvantanna glana nó ceangailtí speisialta. Níor cheart a bheith ar aghaidh an O-ring aon púdar talc, fíbí, gearrthóin mheatail, liquid a úsáidtear chun an t-ainmhithe a fhuarú, lubraċtair ghnáth nó ola a úsáidtear le haghaidh iompair. I gcás custaiméirí na n-ionsamhlaithe agus na healaíne optúla, is gnách go gceanglaítear i gcóras glanaithe, go bpacáiltear i mbága glana dhá uair, go liostófar an t-buiscead agus go nodófar an dáta deireanach le haghaidh oscailte.

9. Conas Greasa Vacúim a Roghnú: Úsáideach, Ach Ní Gá Leis Mar Réamhshocraithe

Is é fúnction an ghréis vacuim ná an t-áit a líonadh ar na micre-thaobhacha ar dhuine metal, an leakáil mhicre-chainéal a laghdú, agus cabhrú leis an suiteáil. Taispeánann turgnaimh Parker go bhféadfaidh greis vacuim ard laghdú an phermeáilteachta ar O-ranna a bheith briste; ach faoi bhrú mór ró-mhéad, is féidir leis na benefíciúilí a thagann ón ngreis a bheith athraitheach. Tagraíonn Pfeiffer freisin don ghréis oiliúna beag, a chuireann le líonadh na micre-theipthe ar an ualach agus a laghdaíonn an leakeáil, ach má úsáidtear rudaí oiliúna ró-mhór, is féidir leo saol a scaipeadh, spás leathaithe teasa a ghlacadh, agus b’fhéidir go dtéann siad isteach ar an taobh vacuim ag cruthú taobhanna nó re-ghasú amach.

Straitéis Roghnaithe:

Tá conclúid Pfeiffer an-tuairisciúil: an bhfuil ghréis riachtanach nó nach bhfuil, ag brath ar an gcéim glantachta a theastaíonn ón gcóras; d’fhéadfadh lubrú i gcomhthéacs an-ghlan a bheith gan aon ghlacaitheacht ar chor ar bith; má úsáidtear é, ba chóir an scroimeal a bheith an-tanaí, go dtí go mbeadh sé gan a bheith le fáil ar aon nós le lámh. Taispeánann sonraí Apiezon go bhfuil greis fholctha ann le hidreacarbón, gan silean, do fholctha ard, do fholctha an-ard, agus le PFPE, agus go bhfuil gach ceann acu oiriúnach do thimpeallachtaí éagsúla teochta ard agus ocsaideach/corrasúil láidir, ach tá vérifiú an phróisis riachtanach.

Ná húsáid greis buaiceis ghobnach, lubracháin ghnáth, nó lubracháin meicniúla mar ionad le greis fholctha; fiú má liostáiltear mar "greis fholctha ard" ní hé sin comhionann leis an úsáid i gpróisis a bhfuil siad an-chineálta don truaillíú i gceamaraí semiconductoir nó optaí.

10. Conas Helium Leak Detection a Dhéanamh: Caithfidh tú leácaireacht fíor, tráscúram agus amharc as an gcoirnéal a aithint.

Cineál míthuiscint coitianta i bhfócas ar helium leak detection i bhfolcadh: nuair a fheictear sínal helium go díreach, is léir go bhfuil an O-ring damáiste. Ach is féidir go mbíonn an fírinne níos casta: mar shampla, scriosanna ar an seal, gáirí i dtreo, folcadh na gcrann, tráscúram an ábhair, amharc as an gcoirnéal nó contamination ó lúbraitheoir.

An próiseas a molta:

Ar an gcéad dul síos déan glanadh agus dearbhú ar an gcomhaireamh. Seiceáil an crann, an aghaidh flainc, an uirlis O-ring, an t-aonuaireacht ar an t-ullmhú ar na srúidí, an doimhneacht crainn agus an ráta cumasc.

Ansin déan tástáil ardú bhrú. Breathnaigh an bhfuil an curv líneach nó an bhfuil sé ag mallú go gradamail; má tá an t-ardú brú níos cosúla le líne dhíreach, is dócha go bhfuil leácaireacht ann, ach má thagann sé go dtí staid shuímh go gradamail, is dócha go bhfuil amharc as an gcoirnéal ag teacht ón ábhar.

Déan deireadh le hithneachán speictréach maise héiliúim a úsáid chun leácaí a bhréagadh. Úsáideann an t-ullmhú fónta agus an t-ullmhú fónta an-ard go minic an méid a spraeáil ón taobh amuigh, ag breathnú ar fhreagairt an fhoilse. Léiríonn Leybold go bhfuil sé in ann leácaí beaga a aimsiú go cruinn agus a thomhas go quantaitiúil, agus go gcaithfear uirlisí bréagadh leácaí héiliúim chun leácaí faoi 10⁻⁶ mbar·L/s a bhréagadh.

Caithfear na cinniúintí a fuarthas maidir le ráta an leáca a thabhairt go soiléir: an modh spraeála, an modh iomchabhra, an modh clúdaigh, an difríocht bhréige, an cuma héiliúim, an t-am freagairte, an modh a úsáidtear chun an chúlra a bhaint, an t-am a caithtear ag coimeád an bhréige agus an tréshocair a úsáidtear chun an toradh a léiriú. Mura ndéantar é sin, níl aon tábhacht ingheinéireachta ag an bhfrása "tháinig sé trí bhréagadh héiliúim".

11. Treoracha Molta do Chustaiméirí Éagsúla

Custaiméirí Tionchair

Tá sé tábhachtach a mheas go dtí an FKM 75A le gasaíocht íseal nó an FKM ar leith don vacúim, le gáire ar aghaidh an chríche, le comhbhrú 20%–30% thart, agus le gradam uirthi 16–32 RMS; caithfear cinneadh a dhéanamh ar an gcothrom a úsáideadh i bhfíorbhacán an vacúim agus ar an ndeithneáil héiliúim de réir riachtanais an chustaiméara maidir le brú is ísle an vacúim; ba chóir an t-úsáid a bheith an-troma, agus má tá an uirthi ag dul i mbárr, is féidir greasaí an vacúim a úsáid i gcúrsaí an-tanaí.

Custaiméirí Uirlisí, Speactroscópacha, Agus Tionchar Ailíneachta

Tá an fócas ar rialú an ghásaíochta, na n-ábhar gásach, agus an chúlra deithneála héiliúim. Is é an rogha is fearr ná FKM nó FFKM le gasaíocht íseal, agus is mór an t-úsáid a dhéantar as greasaí lubraithe nó ní úsáidtear iad ar chor ar bith; tá pacáil ghlan ag teastáil, tráchtáil ina gcuirteanna, agus sonraí ré-fhíoraithe is gá; i gcavaití anailíse a bhfuil an t-ainmhiú intuigthe, ba chóir an calaíocht shainiúil den ábhar féin a mheas, ní amháin an ráta leathaithe.

Custaiméirí an Chip Léictreonach

Roghnaigh an t-FFKM tábhachtach, an FKM a bhfuil tuairim ar ions coirrúcháin, an t-íon mheatail íseal, an páirticíl íseal, agus an foirmleach a laghdaíonn an gas a sheachtrú. Caithfear glanadh an gais phróisis, an cineál plasma, an cícle teochta, an leagan glana, agus suíomh an chavaité. Ní mholtar an úsáid shuipéarach greasa fócaí i mbreis is mó de na cásanna. Tá riachtanas le trácailtíocht an bhosca, pacáil ghlan, cáipéis dearbhaithe comhlachta (COA), agus ama réadúil chun sonraí faoi MTL/CVCM, anailís ion, páirticíl, agus vérifiú an phróisis a sholáthar.

Custaiméirí inneall pláitithe

Más PVD nó éadromú coitianta atá i gceist, nó sealadh do dhoras fócaí, is féidir FKM a úsáid; má tá ard-theochta ann, gais ghníomhach, nó riosc contamination ar an scagadh, ba cheart FFKM nó foirmleach speisialta le lúgha contamination a úsáid, agus d’fhéadfadh sealadh dorais a bheith bunaithe ar dhá O-rainn le geata idir-mheánach le haghaidh púmpála, seachas an t-aon O-rainn a chur leis go simplí.

Custaiméirí optaiceacha, spás, agus fócaí an-ard

Más é an dea-chás go bhfuil aon uirlis optúil íogair ann, vacuam an-ard, teas fhadtéarmach, nó riachtanais an-ghaolmhar maidir le загрязнение, ní féidir na h-o-rings rúibire a úsáid agus is gá an t-eilastamair a mheas ar dtús; tá sonraí íseal asgabhaileachta, teasvacuam, pacáil ghlan, scriosadh úsáide neamhriachtanach, agus tástáil iomlán asgabhaileachta an chórais ag teastáil.

12. Na réimsí a chaithfear a cheistiú le linn an phrócuis/an fhoilsithe

Nuair a sheoltar billeanna roghnaithe chuig custaiméirí nó soláthraitheoirí, ba chóir na réimsí seo a lena n-áirítear ar a laghad:

13. An Cinneadh Deiridh

Is féidir a mheas go tapa agus é ag leanúint an bhealaí cinnteach seo a leanas:

• Fuinneog ghnáth ghairid / fuinneog íseal, a bhfuil an costas ina thionchar: Is féidir NBR nó EPDM a chinntiú, ach ní mór an meán agus an teocht a fheicimh.
• Inrogha príomha don fhoinneach fuaire ard: FKM le díth aschur íseal.
• Sémicondaitéir, gás corra, plasmá te: FFKM nó FKM sainithe le comhtháthú iad.
• Aer-uisce, steampa, óisóin: Meas ar EPDM mar shárshampla.
• Teastas ón gcoirnéal bog ag teochta íseal: Is féidir caithreamh silicón nó EPDM a chinntiú, ach ní mór an t-ullmhú do thréadú agus do dhíth aschur a phróifíliú go cúramach.
• Fuinneog an-ard, glanmhalartacht láidir, brúnaíocht fhadtéarmach, aithnítear an t-éagsúlacht ar an gcoirnéal optúil: Tugtar tosaíocht do chasadh metal; is é an O-ring rúibear amháin an rogha comhartha tar éis a bheith dearbhaithe.

Achoimre i mbéal amháin: Ní heagar ‘cén rúibear atá fós ina áit’ a thagann i gcionn rogha an O-ring fuinneog, ach an bhfuil an ráta iomlán leaigthe, an díth aschur, an tréadú, an загрязнение agus an uirlis a úsáidtear le haghaidh suiteála faoi smacht faoi réimse an fuinneog sprioc.