Is-seħħa bil-vakwu O-rings m’jistax jiġi sselt biss bil-"materjal + dimensjoni + ħożn." Taħt kundizzjonijiet ta’ operazzjoni bil-vakwu, il-falliment tas-seħħa spiss m’huwiex biss leaka sempliċi, imma ħmisja ta’ gass li tinsab b’sħiħha minn leaka vera, permeazzjoni tar-rubber, outgassing tal-materjal, kontaminazzjoni tas-superfiċi, volatilizzazzjoni tal-lubrikant u l-bużza strutturali. Għal klienti ta’ vakwu għoli, vakwu ħafif ħafna, semikondukturi, plating, spektroskopija u ċavità ottika, il-istrateġija tar-risposta trid tintlaqa’ minn "jista’ jżid il-prezzjoni" għal "jista’ l-biżżejjed tal-gass totali u r-riskju ta’ kontaminazzjoni jiġu kontrollati."

1. Il-Qwielba ewliena tal-O-Rings bil-Vakwu: M’hiex il-Prezzjoni, imma l-Biżżejjed tal-Gass

Is-seħħa normali tal-ħidma u tal-pneumatika tikkonċentra biss fuq id-differenza tal-prezzjoni, ir-resistenza għall-użu, u l-kompatibbiltà mal-materjal; is-seħħa bil-vakwu għandha tikkonċentra iktar fuq:

L-ewli, il-lekkaj veru. Il-flanġa, il-qoxra, iż-żiediet, il-marki tal-maħsul u l-partikoli li jinħabżu jifformaw kanal mikroskopiku lejn barra mir-ring ta’ sigillatura. Il-gass jilekka minn din il-furjola żżellet aktar faċilment mill-likwidu, għalkemm il-sigillaturi ta’ vakwu għandhom jipagaw iktar attenzjoni mal-kwalità tas-saħħa ta’ sigillatura. Parker il-materjal ta’ sigillatura ta’ vakwu ta’ ‘s jindika ċar il-gass jew ir-rużzetta tas-saħħa ta’ mikro-furjola fil-qoxra ta’ sigillatura ta’ vakwu hija eżattament sensittiva, u jirrikummandaw li s-saħħa ta’ kuntatt ta’ sigillatura tintuża bil-gradd 16 RMS, filwaqt li jinħobżu l-linji tal-ipproċessar perpendikulari li jgħaddu mis-saħħa ta’ sigillatura.

It-tieni, il-permeazzjoni. Ħa jkun hemm difetti mekkaniċi, il-gass jista’ għalkemm jifforma quantità kbira ta’ karġa tal-gass meta jidiffundi permezz ta’ struttura elastika lejn is-sid ta’ vakwu biss baxx. L-istruzzjonijiet tekniku tal-Kurt J. Lesker jgħidu li l-permeabbiltà tal-elastomer tjied il-gass li jidiffundi u jispandu f’pressjoni baxxa, u l-veloċità tal-permeazzjoni tibdel skont it-temperatura, il-pressjoni, it-tip ta’ gass u t-tip ta’ elastomer; Pfeiffer jindika wkoll li l-ringijiet ta’ sigillatura tal-elastomer għandhom naturalment permeazzjoni iktar b’saħħitha, u anke meta s-sistema m’għandhiex leaka ovvja, il-bżonnijiet elastiku stess jistgħu għalkemm jaqqużu l-limitu tal-pressjoni tal-vakwu.

Tritu, il-baħar u l-materja volatili. Is-substanzi b’massa molekulari baxxa, il-plastifikaturi, ir-rizdwi li jkunu ħajjin u l-możżur li ġie assorbit fl-O-rings isiru desorbiti wara l-estrazzjoni f’vuot għoli. Il-bank ta’ dati tal-baħar tal-materja tan-NASA juża l-metodu ASTM E595 biex ievalwa l-perdita totali tal-materja fit-talba reali ta’ vuot (TML) u l-materja volatili li tista’ titbassar ħaddan (CVCM), b’valuri ġenerali ta’ referenza li huma TML ≤ 1%, CVCM ≤ 0.1%, imma din ir-risposta hija standard ġenerali għall-isqilija industrijali, mhux xi ħaġa li għandha standards ta’ konformità strikti f’kull skenarju ta’ vuot industrijali.

Raba’, il-kontaminazzjoni. Is-semikondukturi, it-taħżin bil-plating, is-spektroskopija u l-mirrors ottiċi jfearu ħafna aktar minn "li jgħmel ftit baħar", imma mis-substanzi volatili li jitwettqu fuq il-wafers, it-targets, is-surfajji tal-lenti ottiċi, iż-żewwiġiet u l-bużzi tal-analisi. Parker jindika li fit-talba ta’ vuot, ċerti tipi ta’ oli jew komponenti tagħmel migrazzjoni mis-sustanzi elastomeri u jifformaw film sottli fuq is-surfaċi ħdejnhom, li jikkawża perdita tas-soltu tal-qualità tas-surfajji sensittivi.

2. Iżda ddifinixxi l-grad ta’ vakwu u l-metriki ta’ aċċettazzjoni

Qabel is-selezzjoni, irridu nistgħu nistqawu tliet indikaturi mis-silur:

Kemm hu l-pressjoni tal-lavoru target u l-pressjoni limitu?

Il-vakwu baxx, l-eqwipaggi tal-vakwu rrugul jistgħu jittoleraw karigi relattivament ikbar ta’ gass; l-eqwipaggi tal-vakwu għoli ħors mis-sistemi tal-vakwu għoli jkunu sensittivi għal dan il-limitu ta’ permeazzjoni. L-eżempju ta’ Pfeiffer juri: bil-flanġa DN 500 ISO-K, il-ring ta’ sigillatura FKM taħt il-vakwu tal-ajru u kondizzjonijiet ta’ umdità ta’ 60%, il-kariga ta’ gass permeabbli tista’ tibda tkun il-bottleneck li jlimita l-pressjoni, u jindika li l-kariga ta’ gass permeabbli tas-sigill elastiku FKM tista’ tirrappreżenta valur fl-ordni ta’ 4×10⁻⁷ Pa·m³/s.

Kemm hu r-rata permessa ta’ leak?

Il-bbieraħ ta’ vakwu ġeneralment jintużaw il-mbar·L/s jew l-unità tal-ISO Pa·m³/s. Il-istruzzjonijiet ta’ Pfeiffer dwar ir-rata ta’ bbieraħ jemmen ukoll li l-unità ewliena għall-bbieraħ bil-eliu hija mbar·L/s jew Pa·m³/s biex t’esprimi r-rata ta’ bbieraħ. Id-data ta’ Leybold dwar il-bbieraħ ta’ vakwu tindika li t-taħsila għall-bbieraħ tiftaħ ħafna skont il-grad ta’ vakwu differenti: il-vakwu baxx jista’ jittaċċa l-ebda ħarġa; bħala eżempju: <10⁻⁷ mbar·L/s jista’ jsir imsemmi “għajnejn ta’ gass”, filwaqt li <10⁻¹⁰ mbar·L/s huwa iktar ħajt għall-espressjoni “għajnejn assoluta.”

Huwa test ta’ ħoss ta’ pressjoni, jew bbieraħ bil-ma’ spettrometru tal-massa tal-eliu?

It-test tal-bidla ta’ pressjoni jista’ jistima l-biża’ totali tagħmel permezz tat-ta’ bidla ta’ pressjoni b’unitajt ta’ ħin fil-baċku; jekk il-kurva tat-ta’ bidla ta’ pressjoni tinsab lejn id-diverġenza, huwa aktar probabbli li tkun leak vera; jekk tkun seħħa lejn linja dritta iżda b’konverġenza it-tajba, huwa aktar probabbli li tkun biża’ ta’ gass. Il-paragun ta’ Leybold bejn it-test tat-ta’ bidla ta’ pressjoni u d-differenzi bejn il-kurvi ta’ permeazzjoni/użu ta’ gass ġie wkoll eżpliċitu, u ġie pprovvist ukoll li l-biża’ ta’ gass taħt 10⁻⁶ mbar·L/s obbliga ħażina ta’ strumenti għall-identifikazzjoni tal-leak bil-elium għall-identifikazzjoni preċiża.

3. Kif Tagħmel l-Għażla tal-Materjal: M’għandekx ifittex biss ‘FKM/Viton’

3.1 FKM: Il-għażla standard għall-biżuta ta’ l-iktar apparati ta’ vakwu għoli

Il-ġomra fluorinata FKM hija waħda mis-soltu ħafna ta’ materjali ta’ vakwu O-ring materjali, applikabbli għal iktar ħafna attrezzatura ta’ vakwu għoli, strumenti, attrezzatura għall-koating, interfaċċi ta’ pompas ta’ vakwu, ċwieku ta’ osservazzjoni, sigilli statiku għall-flanġi KF/ISO, eċċ. Kurt J. Lesker jindika li l-FKM huwa waħda mis-sigilli elastikużi għall-vakwu iktar użati, b’resistenza tajba għall-baħar, għall-ożon, għall-ożiżu u għal ħafna oli/solventi, u għandu permeabilità baxxa għall-gassijiet, imma l-prestazzjoni tagħmel f’temperaturi baxxi hija ġeneralkment iktar ħażina.

Meta tselezzjonas l-FKM, trid tiffranka ‘l-FKM għall-vakwu’ jew ‘l-FKM b’outgassing baxx’, mhux l-FKM inustrijali ordinarju. L-FKM ordinarju, jekk il-post-vulkaniżzazzjoni tkun inaċċessibbli, il-wiċħa tkun b’agħmel għall-mudelli jew ikollu materja volatili jew kontaminazzjoni mis-silġ, jista’ jikkawża għalkemm outgassing ogħla fis-sistemi ta’ vakwu.

Skenarios applikabbli: kavità ta’ vakwu għoli, attrezzatura għall-koating, strumenti tal-laboratorju, interfaċċi ta’ pompas ta’ vakwu, kavità assistenti ordinarji għas-semikondukturi.

Punti tar-risk: jon forti, proċess ta’ korrożjoni forti, tkisbir b’ta’ temperatura għolja, apparat ottiku ta’ ħażina għolja, b’bżonn ta’ verifika ħejja jew aġġornament.

3.2 FFKM: Semikondutturi, Gass Korrosiv, Proċess b’Temperatura Għolja – Kunsiderazzjoni Prioritarja

Il-FFKM perfluoroelastomer huwa adatt għal proċessi ħarji b’ta’ temperatura għolja, korrożjoni forti, plasma, etxijiet/depożizzjoni ta’ semikondutturi u oħrajn. L-ispjegazzjoni ta’ Kurt J. Lesker dwar il-Kalrez 4079 tiddeskrivi li jintużat f’bħala ta’ ambjenti ta’ proċess ta’ semikondutturi b’metodu sħiħ u b’metodu weħed, għandu resistenza kimiċi ekċellenti, istabbiltà termali, u juri perdita relatívament baxxa fil-plasma reattiv.

Skenarios applikabbli: etxijiet ta’ semikondutturi, CVD/PVD, ALD, gass ta’ proċess korrosiv, ċikli frekwenti ta’ tkisbir b’ta’ temperatura għolja.

Punti tar-risk: prezz għoli; id-differenzi bejn il-formulazzjonijiet differenti ta’ FFKM huma kbir, u trid jiżda jispeċifikaw ħajjin il-gradi meħtieġa bħala l-ekwivalenza ta’ jonijiet tal-metall, metall b’kuntrast baxx, partikuli b’kuntrast baxx, u gass li jinħareġ b’kuntrast baxx.

3.3 EPDM: Vapuri tal-ilma, Ozonu, Steama, Ċerti Skenarji Radoattivi Jistgħu Jiġu Ikkunsiderati

L-EPDM huwa adatt għall-ilma, l-isteam, l-ozonu, u ċerti ambjenti radoattivi. Il-materjal għall-issegurazzjoni ta’ vakwu ta’ Parker jirrakkomanda l-EPDM meta t-taħżin jisir fi ilma s-sħan, isteam jew meta jkun hemm ir-radjazzjoni. Kurt J. Lesker jiddaħħal ukoll li l-EPDM għandu resistenza tajba għall-ilma, l-isteam, l-ozonu, l-invecximent b’sabba tat-temp, il-ħajja bil-oli minerali, bil-biżut u bil-fluiji idrokarburi, iżda m’għandux resistenza għall-oli.

Skenarios applikabbli: vapuri tal-ilma b’mod li jkunu ħafna, ozonu, neffieħa bil-isteam, ambjenti radoattivi parzjali.

Punti tar-riskju: il-kuntatt mal-oli tal-pompa ta’ vakwu, bil-sołventi idrokarburi u bil-nebbiegħa tal-oli meta mhumiex applikabbli.

3.4 NBR: Baxx il-prezz, iżda M’huwiex Adatt għal Oċkazzjonijiet ta’ Għoli Ħarsien jew Demmandanti

Il-rubber nitriliku NBR huwa komuni fit-taħżin bil-vakwu b’bassu kost, applikabbli għall-vakwu ordinarju, vakwu b’bassu livell, sigillati tal-bibien ta’ apparati ġenerali, u ambjenti li m’għandhomx bżonn li jkunu ħażiṇi. Imma m’huwiš il-materjal preferit għall-vakwu għoli / vakwu ħajjin ħajjin.

Skenarios applikabbli: vakwu rozz, vakwu b’bassu livell, apparati mekkaniċi ġenerali, apparati sensittivi għall-kost.

Punti tar-riskju: vapur tal-ilma, ozonu, jonijiet tal-ossiġenu, bżonn għal ħazina ħajjin ħajjin, limitu tal-pressjoni għall-vakwu għoli.

3.5 Il-rubber tas-silikon VMQ: Ħafna tajjeb għall-morbida f’temperaturi baxxi, imma trid ħaġa ta’ ħarsa għall-permeazzjoni bil-vakwu u l-gass li jisħan mill-baħar.

Gomma silikonika li tirresistu għall-bassu temperatura, tajba ħafifa, assoċjata b’xi applikazzjonijiet ta’ sigillatura ta’ bassu temperatura jew li mhumiex sensittivi għall-kontaminazzjoni, imma b’sistemi ta’ vakwu għolji trid tkun ħażina. Kurt J. Lesker jirrappurtja li r-rata ta’ permeabbiltà tal-gomma silikonika għall-vapur tal-ilma hija madwar 200 darba aktar b’dan ta’ FKM, u tista’ tikkawża deklin tal-elastiċità, induriment u problemi ta’ aderenzja wara esposizzjoni it-tul għall-biżżeft għolja.

Skenarios applikabbli: bassu temperatura, b’sħiħ il-biżżeft għall-softness, grad ta’ vakwu li m’huwiex għoli ħafna, riskju ta’ kontaminazzjoni aċċettabbli.

Punti tar-risk: permeazzjoni tal-vapur tal-ilma, materja volatili, kontaminazzjoni tas-semikondutturi/optika, kompressjoni it-tul għall-biżżeft għolja.

3.6 Gomma ta’ butil (IIR): Vantaġġ ta’ baxxa permeabbiltà għall-gass, imma l-medda ta’ kundizzjonijiet ta’ operazzjoni applikabbli hija iktar stretta

Ir-rata ta’ permeabbiltà tal-gass tar-rubber ta’ butil hija baxxa, u għandha valur ħażin fis-sejlu tal-vakwu tradizzjonali. Il-materjal ta’ Parker jispjega li l-butil rubber għandu applikazzjoni tajba fit-tul fis-sejlu tal-vakwu, bħala r-riżultat ewlieni tar-resistenza eċċellenti għall-permeazzjoni tal-gass, filwaqt li għandu outgassing baxx, loss ta’ massa baxx u resistenza tajba għall-moistura. Madankollu, il-kompatibbiltà tal-butil ma’ temperaturi għoljin, media kimiki, radjazzjoni u proċessi hija mhux bħal dik ta’ FKM/FFKM, u għandha tittejjeb b’verifika speċifika għall-applikazzjoni.

Skenarios applikabbli: vakwu stattiċu, priorità baxxa għall-permeazzjoni tal-gass, u medju ta’ temperatura u kimiku moderat.

Punti tar-risk: temperaturi għoljin, aċidi, ossidanti forti, ozon u proċessi speċjali.

3.7 Meta M’Għandekx Tużaw O-Rings tar-Rubber?

Jekk il-klijent għandu bżonn vakwu ħażin ħafif ħafna, tkisħ it-tul tal-ħajja ta’ temperatura għolja, netta ħafif ħafna, ir-radjazzjoni qawwija, il-permeazzjoni estrema jew pressjoni limitu ħafifa ħafna, għandu jikkunsidera l-is-siluri tal-metall, bħal il-gaskettas tal-ħadd tan-niżla CF, il-fil tal-indju, l-elastomer, l-annular tal-metall C, l-annular tal-metall O, eċċ. Pfeiffer jiddikjarah b’mud ellu, taħt vakwu għoli, għall-użu tul il-ħajja, b’ħamla ta’ radjazzjoni għolja jew għall-applikazzjonijiet li jitlobu ħaġa ta’ permeazzjoni estrema, għandu jintużaw l-elementi tas-silur tal-metall minfush l-elastomer.

4. Kif jiġu ddeterminati r-rapport ta’ kompressjoni: It-taħżin ta’ vakwu ġeneralment jiksisu aktar kompressjoni minn it-taħżin statiku normali

Il-biża’ ta’ kompressjoni tal-annular ta’ vakwu O diretta taffettwa l-biża’ ta’ leakaġġ. L-istruzzjonijiet tat-test tal-annular ta’ vakwu O ta’ Parker ishiru li, fit-taħżin bil-wiċċ, il-ġbir ta’ kompressjoni jinnaqqas b’mod ħafif il-leakaġġ; il-mekkanizzmu tagħmel hekk huwa li jizda l-it-tul tal-mexxej tal-gass, innaqqas l-erja tal-wiċċ fejn il-gass idħol u jagħmel li r-rubber jimpilja it-tajjeb il-mikro-defetti tas-silura tal-metall.

Imma jkun il-biżżejjed li l-biżżejjed ir-rappurt ta’ kompressjoni jkun aħjar. Kompressjoni ħafna ħajja tista’ tikkawża kompressjoni ħajja ħafna tal-O-ring, b’rapport ta’ mimlija tal-groove ħafna għoli, b’espansjoni termika b’spazju ħafna ħajja, u b’deformazzjoni permanenti ta’ kompressjoni li tirba’ ħajja ħajja, li jwassal għall-lekk ġewwa wara; Parker jirrakkomanda wkoll li l-kompressjoni estrema tista’ tikkawża pressjoni li tkompressa ħajja ħajja; jekk jintużaw grooves ħafna ħajjin biex iżda l-rappurt ta’ kompressjoni, il-groove għandu jkun b’spażju suffiċjenti biex jaċċumula l-volum tal-O-ring.

Prattikament dan jista’ jinfhem bħala:

Fil-tabella tad-disinn tal-grooves tal-biżaħ tal-vakwu ta’ Parker, ir-rati differenti ta’ kompressjoni tal-O-ring bil-biżaħ jikkopru approssimattivament il-medda ta’ 19%–32%, u l-dimensjonijiet speċifiċi għandhom jiġu kkalkulati skont il-biżaħ, it-tul tal-groove, il-wisa’ tal-groove, u l-orjentazzjoni interna/esterna tal-vakwu u l-forma tal-asmblaġ.

5. Ir-Ruħta tas-Silġ: Punt iżda aktar importanti minn kif il-klijenti jimmajnu

Il-ħaġa li t-taħżin bil-vakwu jikrah iktar hija l-iskrappi u l-marki tat-taħżin fuq il-linja tas-sejla. Ħaġa biss il-materjal tal-O-ring ikun korrett, jekk is-silġ tal-flanġa għandu marki ta’ grooves bil-qosor, skrappi, jew tracċi ta’ partikoli, dan jista’ wkoll joħloq "lekkajja inbissibbli."

Parker jirrakkommanda li l-erja tas-sejla tal-vakwu tibda b’impressjoni ċirkonferenzjali bil-lath, u li jinħolqu linji ta’ proċessur li jkunu perpendikulari għall-linja tas-sejla tal-O-ring. Kurt J. Lesker jiddaħħal ukoll li l-ħsara tas-silġ jew tal-bidu li jgħaddi mis-sit ta’ kuntatt tal-O-ring, minn skratches tal-istrument sa l-biżaħ tal-biżaħ li jwassal lejn il-biżaħ tal-vakwu jista’ jikkawża leak.

Rakkommandazzjonijiet prattiċi:

Il-erja tas-sejla kontatt għandha bbażzar b’mod ċar il-roughness, u ma tkunx biss miktuba bħala "machine finish." Għall-sejla tat-tarf għall-vakwu għoli, tista’ tintuż il-gradu 16 RMS; jekk id-drawings jużaw ir-Ra, għandhom jiġu kkunfirmati mal-klijent il-metodu ta’ konverżjoni u ta’ aċċettazzjoni, u ma jistax jiġu ekwatati mekkaniċament ir-RMS mar-Ra. Il-botton tal-groove, il-wiċċ lateral tal-groove, u l-erja tal-flanġ li tifforma l-kombinazzjoni għandhom ikunu verifikati għall-burrs, il-marki tat-tagħmel, il-bużuzzijiet tal-korrużjoni u l-indentazzjonijiet minn partikoli kbir.

6. Għażliet strutturali: Sejla statika tat-tarf kontra sejla statika radjali

Il-biżża tal-vakwu statika għandha, b'mod preferibbli, tużal-biżża tas-silġ (biżża tas-silġ). Il-biżża tas-silġ hija iktar faċili li tifforma kompressjoni stabbli, u hija wkoll iktar faċili għall-indiżjoni bil-eliu u għall-isklera. Parker jirrakkomanda li l-biżża statika tal-vakwu tużi, b’mode preferibbli, il-groff tas-silġ jew il-biżża tas-silġ, b’gradi ta’ vakwu assoċjati ħażzi u b’ammont ikbar ta’ kompressjoni; jekk il-biżża radjali jew il-biżża tal-mit-tajjeb trid tintuża, ma tistax toffri prestazzjoni bħal din.

Il-groffi tad-dovetail huma adattati għall-babi, għall-biżża vertikali, u għall-perjodi ta’ manutenzjoni li jridu jiġu ħasslet. Il-karatteristika tagħmel il-biżża ħafifa fl-erja li tokkupa, imma mhux ħelieqa għall-espansjoni tas-sħana u għall-resistenza tas-solti tal-materjal. Parker jindika wkoll li l-dovetail jintużah ħareġ mis-setturi tal-mikroelektronika ħafna iktar ħeżżin, minħabba li l-karatteristiċi tal-forma tagħmel li l-volum li jista’ jibda jvarja, ir-ranġa tat-temperaturi, it-tolleranzi u l-istat tal-kwalità li jista’ jisolve jkunu aktar probabbli li jinfluwenzaw.

Id-duali O-rings ma jkunu x’aktar tajjeb b’mud naturali, kif jgħid ċar Kurt J. Lesker; jekk m’hemmx pompjar differenzjali bejn iż-żewġ O-rings, id-duali O-rings ma jkunu x’aktar tajjeb mill-O-rings singoli. Għall-bibien tal-vakwu għoli, il-load locks, u l-bibien tas-semikundutturi, tista’ tintuża l-binja tal-pompjar “dual O-ring + intermediate pumping groove”, imma dan ifisser progettazzjoni tas-sistema, u mhux biss ħaġa li tista’ tintuża b’simpliċità.

7. Il-ġenerazzjoni ta’ gass u l-bassa volatilità: Ir-Riżultati jridu jiġu analizzati bil-kunsiderazzjoni tas-sistema kompluta, il-proċess ta’ wara l-manifattura, u l-batch.

il-terminu “bassa ġenerazzjoni ta’ gass” m’huwiex isem ta’ elastiku speċifiku li jibqa’ naturalment b’dan il-karatteristika, imma huwa ddeterminat b’mod konġunt mis-sistema tal-kumpunenti + il-formulazzjoni + is-sistema tat-ta’lif + it-trattament wara t-ta’lif + in-niżla + il-pakkett + il-kontroll tal-batch.

Id-data tal-‘outgassing’ tan-NASA isplikaw li l-ASTM E595 jintużat biex jiqqies it-TML u l-CVCM fl-ambjenti ta’ vakwu, u tista’ tintuża biex tivverifikah il-performanza baxxa tal-‘outgassing’ tal-materjal. Id-data tal-materjali b’baxx ‘outgassing’ tan-NASA ta’ Parker Chemomerics għandha wkoll l-istess spjegazzjoni: l-ASTM E595 iqques it-TML u l-CVCM, u l-valuri tal-gwida komuni għall-applikazzjonijiet tan-NASA huma TML ≤ 1% u CVCM ≤ 0.1%.

Għandu jitlob lis-suppliement għall-prokurja:

Parker jirrakkomanda wkoll li t-taħbis fil-vakwu jista’ jgħin li jneħħi l-materja volatili li tibqā, imma jista’ jikkawża ħażżu tal-O-ring u jibdel il-performancja elastika u ta’ temperatura baxxa. Għalhekk, ma jistax jiġi meqjus b’soltu li “l-baking darba biss” hija proċessur li ma jwettix riskju, u trid tkun ikkunfermata t-tibdil fid-dimensjonijiet, it-tibdil fir-rigidezza u d-deformazzjoni permanenti tal-kumpressjoni.

8. Il-Ħelsien: Il-“Metrika Inviżibbli” tas-Silur tal-Vakwu

Fis-sistemi ta’ vakuum, il-ġożż tal-idra, il-baħar, iż-żifra, l-aġent għall-irrilaxx tal-mudell, it-taħsīn bil-żejt, u r-rizidwi tal-ħażżan jistgħu jkunu sorsi ta’ ħmara gassosa jew ta’ leak. Ir-rakkomandazzjonijiet għall-iżdahhar ta’ vakuum għolj ta’ Kurt J. Lesker jipproponu li s-sorsi ta’ kontaminazzjoni għall-komponenti ta’ vakuum jinklużu l-fluiż tal-baħar għall-makinazzjoni, it-touch uman u l-istur ħażin, it-taħsīn li jidħol bil-ma’, is-soaps liquid, l-għum, u r-rizidwi tal-alcool; u fl-aħħar hemm bżonn li jintużaw it-taħsīn bit-taħliż termiku u l-pakkett ġust.

Ir-rakkomandazzjonijiet għall-użu prattiku:

Tajjeb li ma ttoċċux direttament l-O-rings uż-uż-surfaccji ta’ sigillatura qabel l-installazzjoni. Uża guanti li ma jipproduċux ħebs, il-fabrika mhux-woven, sołventi ċari jew fixturi speċifiċi. Is-surfaccja tal-O-ring m’għandhiex ikollha talcum powder, żifra, ħebs tal-metall, fluid għall-qatigħ, lubrikant normali jew żejt tat-trasport. Il-klijenti tas-semikondukturi u tal-optika ġeneralment jiktbu l-iżdahhar fil-cleanroom, il-pakkett f’żewġ bors ċari, l-etiketti tal-batch u d-data limiti għall-iskonfigurazzjoni.

9. Kif Tagħmel l-Għażla tal-Grease għall-Vakuum: Utli, Iżda M’huwiex Bżonn Necessarju

Il-funzjoni tal-grażja tal-vakwu hija li timlel il-mikro-irregolaritajiet tas-silġa tal-metall, li tnaqqas il-lekk ta' mikro-kanali u li tgħin fit-tweġib. Il-biżnissa ta' Parker turi li l-grażja tal-vakwu għolja tista' tnexxi b'sħiħ il-permeazzjoni tar-rings ta' O kompressi; imma taħt il-kumpressjoni eċċessiva, il-benefiċji li jisiru mis-silġa isiru varjabbli. Pfeiffer jiddikjar ukoll li kmiem żelat ta' grażja ta' lubrifikazzjoni jista' jibbilanża l-mikro-difetti tas-silġa u jnaqqas il-lekk, imma l-biżżejjed ta' grażja ta' lubrifikazzjoni jista' jisparra kontaminazzjoni, joqgħod l-ispazju għall-espansjoni termika, u possibilment idur fis-sid ta' vakwu ifformaw depożiti jew jirre-ġenera gass.

Strateġija ta' selezzjoni:

Il-konklużjoni ta’ Pfeiffer hija ħafna diretta: jekk biex tużaw il-grease jiddependi mis-soltu li l-isistema għandha tkun ħali; fl-ambjenti b’soltu għolja l-lubrikazzjoni tista’ ma tkunx aċċettabbli affatto; jekk tintuża, il-linja tal-kutija għandha tkun ħażina ħafna, bħal ma tkunx perċepibbli bil-miss.

Tajjeb ma tużux il-grease iżdażż, il-lubrikanti normali, jew il-lubrikanti mekkaniċi bħala sostitut għall-grease għall-vakwu; anke jekk ikunu mmarkati bħala "grease għall-vakwu għoli" dan ma jfisserx li huma assoċjati mal-proċessi tas-semikundutturi jew tal-kontaminazzjoni sensittiva tal-optika.

10. Kif isir id-Dettazzjoni tal-Leak ta’ Elium: Irridu jishtmu l-leak veri, il-permeazzjoni u l-outgassing

Żona komuni ta’ sożjetta ta’ konfużjoni għall-dettazzjoni tal-leak bil-helium f’vakkum: li jara s-sinjal tal-helium direttament u jassumu li l-O-ring ġie ddannegat. Is-sitwazzjoni attwali tista’ tkun skrappuri tas-silg, inkluzjoni ta’ partikoli, vojt fil-biżaħ tas-struttura, permeazzjoni tal-materjal, outgassing jew kontaminazzjoni bil-lubrikant.

Il-proċess rikummandat:

Iżda ħeġġel u kkonferma l-asmblaġġ. Iċċekkja l-biżaħ, il-wiċħa tal-flanġa, is-silg tal-O-ring, l-uniformità tal-preload tas-skrus, il-profundità tal-biżaħ u r-rata tal-kumpressjoni.

Imbagħad isir it-test tar-riżżu tal-pressjoni. Osserva jekk il-kurva tirrizza linearment jew jekk tirrizza gradwalment; jekk it-trend tar-riżżu tal-pressjoni ikun iktar ħajt lejn linja dritta, ikun aktar probabbli li jkun leak, jekk ir-riżżu jibda gradwalment jimmexxi lejn istabbiltà, ikun aktar probabbli li jkun outgassing tal-materjal.

Finalment ikkundutt il-biżżek ta’ leak detection bil-mass spectrometer tal-eliu. Il-vacuum għoli u l-vacuum ħafif ħafna b’mod komuni jużaw l-eliu li jinżlu minn barra, u josservaw ir-risposta tal-vacuum. Leybold jipproponi li d-detazzjoni bil-eliu tista’ ddetermina b’mod preċiż il-post tal-leak u tkejjel kwantitativament il-leaks ħfifa, u l-leaks ta’ taħt 10⁻⁶ mbar·L/s b’mod ġenerali jitlobu strumenti ta’ leak detection bil-eliu.

Ir-rekords tar-rata tal-leak rċevuti għandhom jiktbu b’mod ċar il-metodu tat-test: metodu tas-spray, metodu tal-assorbiment, metodu tal-involuzz, id-differenza tal-pressjoni tat-test, il-konċentrazzjoni tal-eliu, il-ħin tar-risposta, il-metodu tat-tnebbiġ tal-baċkgroind, il-ħin ta’ manteniement tal-pressjoni u t-taħdit tal-interpretazzjoni. B’dan il-mod, il-frażi "passat id-detazzjoni bil-eliu" ma għandha ebda sinifikat inġineristiku.

11. Direzzjonijiet rikummandati għal differenti klijenti

Klijenti ta’ attrezzaturi tal-vacuum

Priorità għall-użu ta' FKM 75A b’bassu ħarġa ta’ gass jew FKM ta’ klassi vakwu, bil-biżut fuq il-wiċċ tal-biża, b’kompresjoni ta’ madwar 20%–30%, bil-wiċċ ta’ grad RMS ta’ 16–32, u ddetermina jekk il-baking bil-vakwu u t-tħaddim bil-eliu huma meħtieġa skont ir-riżultati tal-pressjoni limiti tal-biljiet, il-frekwenza tas-sħiħ għandha tkun striktament osservata, u jekk il-wiċċ jkun diżorientat b’mod ħafif, jista’ jiġi applikat stratu ħafif ħafif ta’ grasa bil-vakwu.

Klijenti ta’ Strumenti, Spektroskopija, u Iżżjed ta’ Iżżjed ta’ Iżżjed

Fokussa dwar il-kontroll tal-bassu ħarġa ta’ gass, il-materja volatili, u l-baċkgrawnd tat-tħaddim bil-eliu. Priorizza l-użu ta’ FKM jew FFKM b’bassu ħarġa ta’ gass, u uża ħafna iktar jew lejn ebda grasa ta’ lubrikazzjoni, b’pakkett ċar, tracciabbiltà ta’ partita, u d-data ta’ verifika preżzjoni meħtieġa. Il-kavità sensittiva għall-analisi għandha tifokussa fuq il-kwalità oriġinali tal-materjal, mhux biss fuq ir-rata ta’ leakaġe.

Klijenti tas-Semikondukturi

Optimizzazzjoni tal-formulazzjoni b’priorità għall-FFKM, il-FKM resisti għall-korrosjoni u l-joni, b’bassu kontenut ta’ joni ta’ metall, b’bassu kontenut ta’ partikoli u b’bassu emissjoni ta’ gas. Ir-rispett tal-gass tal-proċess, it-tip ta’ plasma, iċ-ċikli tat-temperatura, is-soluzzjoni ta’ ħażżien, u l-pożizzjoni tal-baċku jridu jiġu ċċariti. Fil-biżża ta’ każijiet, il-baħar ta’ grasi għall-vakwu mhux irrikummandat b’mud mill-biżża. Il-tracciabbiltà tal-baċki, il-pakkett ħażin, il-COA (Certificate of Analysis), u l-ħin meħtieġ biex jiġu pprovduti d-data tal-TML/CVCM, l-analisi tal-joni, id-data tal-partikoli u d-data ta’ verifika tal-proċess huma meħtieġa.

Klijenti ta’ apparati għall-plating

Jekk il-PVD orbjiet, l-evaporazzjoni jew is-sejl tal-bieb tal-vakwu huma użati b’mod normali, il-FKM huwa assoċjat; jekk hemm temperatura għolja, gass attiv jew riskju ta’ kontaminazzjoni tas-silliet tal-kuperta, għandu jiġu użati l-FFKM jew formulazzjonijiet speċjalment b’bassu kontaminazzjoni, u għall-sejl tal-bieb jista’ jkun meħtieġ li jintużaw żewġ O-ring b’għożża intermedja għall-pumpjar, minflok li biss jiżda O-ring wieħed.

Klijenti tal-optika, l-ażżur, u l-UHV

Jekk hemm superficje ottiċi sensittivi, vakwu ultra għoli, bakkjar fit-tul jew bżonn ta’ kontaminazzjoni estremament strikt, l-O-rings ta’ rabbu ma jkunu x’aktarx assoċjati, u għandhom jitqiesu b’priorità l-elastomeri, b’bżonn ta’ dejta ta’ outgassing baxxa, bakkjar fil-vakwu, imballaġġ ħażin, eliminazzjoni tal-użu li m’huwiex meħtieġ, u testijiet komplet ta’ outgassing tas-sistema.

12. Iktarli li jridu jiġu mistiedħa matul il-proċess ta’ aċquisizzjoni/offerta

Meta tissuq il-fogli ta’ għażla lil il-klijenti jew lil is-suppliementi, inklużi mill-inqas dawn iktarli:

13. Il-Ġudizzju tal-Isselwiet Finali

Jista’ jgħmel ġudizzju malajr permezz tas-segwenti perkurso ta’ deciżjoni:

• Vuwa ħażin/ baxxa, sensittiv għall-ispeża: NBR jew EPDM jistgħu jiġu kkunsidrati, imma irridu nikkonfermaw il-medja u t-temperatura.
• Iż-żviluppa ġenerali ta’ vuwa għolja: FKM b’bassu ħruġ ta’ gass huwa l-għażla ewlenija.
• Semikonduktur, gass korroziv, plasma b’temperatura għolja: FFKM jew FKM speċjalment progettat għall-resistenza għall-joni.
• Vapur ta’ ilma, stejma, ozonu: EPDM għandu valutazzjoni eċċellenti.
• Il-biżżejjed ta’ softness f’bassi temperaturi: Il-ġomma ta’ silikon jew EPDM jistgħu jiġu kkunsidrati, imma trid ikun hemm evalwazzjoni kritika tal-permeazzjoni u tal-ħruġ ta’ gass.
• Vuwa ultra għolja, ħożz iżda ħożz ħafif, bakjar ittali għal perjodi twal, sensittività għall-kontaminazzjoni ottika: Il-ġisem metaliku għandu priorità; l-O-ring ta’ ġomma jista’ jkun biss kompromiss wara li ġie verifikat.

Sommarju f’sentenza waħda: il-fokuss għall-ġustifikazzjoni tal-O-ring għall-vuwa m’huwiex ‘liema ġomma hija itwal’, imma jekk il-biżżejjed totali tal-lekk, il-ħruġ ta’ gass, il-permeazzjoni, il-kontaminazzjoni u s-saħħa tal-wiċċ ta’ installazzjoni jistgħu jkunu kontrollati fil-gradi ta’ vuwa mirati.