Вакуумско затварање О-прстени не може се изабрати само по "материјалу + димензији + тврдоћи". У условима вакуумског рада, неуспех запломбе често није једноставно цурење, већ гасоводно оптерећење формирано заједнички од стране истинског цурења, пролаза гуме, излучења материјала, контаминације површине, нестаљивости мастила и пражњења структуре жлебова. За високе вакууме, ултра-висок вакуум, полупроводнике, платинга, спектроскопије, оптичке шупљине и друге купце, стратегију одговора треба надоградити са "може ли да одржи притисак" на "може ли се контролисати укупна оптерећење гасом и

1. у вези са Главна брига вакуумских О-рингова: не притисак, већ гасово оптерећење

Обичне хидрауличке и пневматичне затварања углавном брину о разлици притиска, отпорности на зношење, компатибилности са медијима; вакуумске затварања треба да се више фокусирају на:

Прво, истинско цурење. Фланге, жлебови, гребежи, трагови обраде, заробљени честици формираће микро-канале према спољашњости печатног прстена. Гас лакше пролази кроз овај мали прозор него течност, тако да вакуумски запечатачи треба да обрате више пажње на квалитет запечатања. Паркер вакуумски запчавање материјал јасно указује на гас или микро-раскида површине грубост на вакуумски запчавање жлебу је посебно осетљив, и препоручује запчавање контакт површине коришћење 16 РМС класа, док се избегава перпендикуларне линије обраде прелазе ли

Друго, проникност. Чак и без механичких дефеката, гас и даље може формирати велику количину гасног оптерећења када се дифузира кроз еластичну структуру у ниску вакуумску страну вакуума. Техничке инструкције Курта Лескера навевају да пропустљивост еластомера омогућава гасу да се дифузира и шири при ниском притиску, брзина пропуштања варира у зависности од температуре, притиска, типа гаса и типа еластомера; Пфайфер такође указује да је про

Треће, излучење гаса и летљиве материје. Нискомолекуларне супстанце, пластификатор, неотврђени остатак и адсорбована влага у О-прстенима ће се десорбовати након екстракције у високо вакуум. НАСА-ин материјал из гасова података складиште користи АСТМ Е595 методу за процену укупног губитка материјала у стварном вакуумском окружењу ТМЛ и рекондензабилни летљиве материје ЦВЦМ, са заједничким смерница вредности су ТМЛ ≤ 1%, ЦВЦ

Четврто, контаминација. Полупроводници, платина, спектроскопија и оптичка огледала највише не боје "излитка мало гаса", већ летљиве материје које се одлагају на плоче, циљеве, површине оптичких сочива, контактне тачке и анализирајуће шупљине. Паркер указује да под вакуумом, неки типови еластомерских једињења уља или њихове компоненте могу мигрирати и формирати танке филмове на оближњим површинама, узрокујући губитак квалитета осетљиве површине.

2. Уколико је потребно. Прво дефинишите вакуумску категорију и метрике прихватања

Пре избора, прво мора да пита три индикатора од клијента:

Колико је циљни радни притисак и гранични притисак?

Ниско вакуумска, груба вакуумска опрема може да толерише релативно веће оптерећење гасом; опрема са високим вакуумом изван система са високим вакуумом ће бити осетљива на ову границу прониклости. Пфайферов пример показује: на ДН 500 ИСО-К фланжу, ФКМ запљуњавајућем прстену под вакуумским ваздухом и условима влажности од 60%, оптерећење гасом за проникљење може постати грло углишта које ограничава притисак, и указује на то да

Колико је дозвољена стопа цурења?

За откривање вакуумских пропуста обично се користи mbar·L/s или SI јединица Pa·m3/s. Упутства за брзину цурења Пфајфера такође наводе, да је главна јединица за детекцију хелија mbar·L/s или Pa·m3/s за изразу брзине цурења. Лејболд-ови подаци за детекцију цурења указују на то да се толеранција различитих вакуумских класа за цурење веома разликује, низак вакуум може прихватити потпуну нештестину; његов пример: <10−7 mbar·L/s се може назвати "гасово чврсто", <10−10 mbar

Да ли је то тест повећања притиска или детекција пропуста хелијумског масног спектрометра?

Тестирање повећања притиска може проценити укупну оптерећење гасом кроз повећање притиска у посуди за јединица времена; ако крива повећања притиска тежи према дивергенцији, вероватније је да је то прави цурење; ако се приближава права линија, али је нежно конвергира, вероватније је да Лејболд-ово поређење испитивања повећања притиска и разлика криве прониклости / излучења гаса такође је експлицитно наведено и истакло да је за гасно оптерећење испод 10−6 mbar·L / s обично потребно хелијумско детекцију пропуста за тачно детекцију.

3. Уколико је потребно. Како изабрати материјал: Не можете само гледати "ФКМ/Витон"

3.1 ФКМ: Постановити избор за највиши вакуум опреме

ФКМ флуорна гума је један од најчешћих вакуум О-прстен материјали, примењиви за већину опреме за висок вакуум, инструменте, опрему за премазање, интерфејсе вакуумских пумпа, прозорце за посматрање, статичке запечатање КФ / ИСО фланге итд. Курт Ј. Лескер истиче да је Ф

Приликом избора ФКМ-а, потребно је нагласити "Вакумо-граду ФКМ" или "ФКМ са ниским испаљивањем гаса", а не обични индустријски ФКМ. Обична ФКМ, ако је поствулканизација недовољна, површина има средство за ослобађање плесне или садржи летућу материју или контаминацију паковања, и даље може изазвати веће испаљивање гаса у вакуумским системима.

Прикладни сценарија: високовакуумска шупљина, опрема за премазивање, лабораторијски инструменти, интерфејси вакуумске пумпе, обична помоћна шупљина полупроводника.

Позиције ризика: јаки јони, јаки процес корозије, печење на високој температури, опрема оптичког спектра високе чистоће, потребна је даље верификација или надоградња.

3.2 ФФКМ: Полововодила, корозивни гасови, процес високо-температурне приоритете

ФФКМ перфлуороеластомер је погодан за високе температуре, јаку корозију, плазму, еццинг/депозицију полупроводника и друге тешке процесе. Курт Лескер је објашњавао Калрез 4079 и наводи да се користи у многим сувим и влажним средствима полупроводничких процеса, има одличну хемијску отпорност, топлотну стабилност и манифестује релативно мањи губитак реактивне плазме.

Прикладни сценарија: полупроводничко гравирање, ЦВД/ПВД, АЛД, корозивни процесни гас, честа цикл печења на високој температури.

Ризични аспекти: висока цена; различите разлике у формулисању ФФКМ-а су велике, морају јасно спецификовати једнаке металне јоне, низак метал, низак број честица, низак испад гаса и друге захтеве за категорију.

3.3 ЕПДМ: Водна парова, озон, пареа, неки радиоактивни сценарија могу се размотрити

ЕПДМ је погодан за воду, пару, озон, нека радиолошка окружења. Паркер-ов вакуумски запечатачки материјал препоручује, у врелом води, паре или радијацијском времену, размотрите ЕПДМ материјал. Курт Ј. Лескер такође истиче да ЕПДМ има добру отпорност на воду, пару, озон, старење, способност са минералним уљем, горивом и хидрогародним течностима, али не и отпорност на уље.

Прикладни сценарија: релативно велика количина водене паре, озон, чишћење паром, делимично радиолошко окружење.

Позиције ризика: контакт са уљем вакуумске пумпе, растворитељима угљен-водорода, маслом магом када није прикладно.

3.4 НБР: Ниска цена, али није погодна за високу чистоћу или захтевне прилике

НБР нитрилна гума је уобичајена у јефтином вакуумском запломбивању, примењива на обичан вакуум, низак вакуум, опште опреме за запломбивање врата, нечисто окружење. Али то није преферирани материјал за висок вакуум/ултрависок вакуум. Курт Ј. Лескер истиче да је НБР један од релативно јефтиних стандардних материјала у вакуумској служби, али његова пропускност водене паре је око 20 пута већа од ФКМ-а и не би требало да се користи у кисеоник или кисеоник-плазмен процес.

Прикладни сценарија: груби вакуум, низак вакуум, општа опрема за машине, опрема осетљива на трошкове.

Ризичне тачке: водна пара, озон, кисеоник, високе чистоће, високи вакуумски гранични притисак.

3.5 Силиконска гума ВМКУ: Мекоћа на ниским температурама добра, али пролаз вакуума и излучење гаса захтевају опрез

Силиконска гума отпорна на ниску температуру, мека, погодна за неке апликације за запечатање ниске температуре или неодговорне за контаминацију, али у системима са великим вакуумом потребно је опрезност. Курт Ј. Лескер истиче да је пропустљивост водене паре од силиконске гуме око 200 пута већа од ФКМ-а и да може развити еластични пад, тврдоћу, проблеме са адхезијом након дуготрајне изложености високим температурама.

Прикладни сценарија: ниска температура, високи захтеви за мекоћу, вакуумски степен није висок, ризик од контаминације прихватљив.

Ризичне тачке: продирање водене паре, летљиве материје, полупроводничко/оптичко загађење, дуготрајна компресија на високим температурама.

3.6 Бутил гума IIR: Мала предност прониклости гаса, али шири опсег примењивих радних услова

Пропусност гаса у бутил гуми је ниска, и то је вредни материјал у традиционалном вакуумском запечатању. Паркер материјал објашњава да је карактеристична бутилска гума дуготрајно примењива у вакуумском запломбивању, углавном због своје одличне отпорности на проникљење гаса, док има низак одгасивање, мали губитак масе и добру отпорност на влагу. Али високог температуре, хемијских медија, зрачења и процес компатибилности бутил није тако широк као ФКМ/ФФКМ, треба одговарајућу проверу апликације.

Прикладни сценарија: статички вакуум, низак приоритет прониклости гаса, умерени температури и хемијског окружења.

Ризични тачки: висока температура, киселина, јаки оксидатор, озон и специјални процеси.

3.7 Када не треба користити гумене О-ринге?

Ако је купцу потребно ултра-висок вакуум, дуготрајно печење на високој температури, екстремна чистота, јака зрачење, екстремна проникност или гранични притисак веома низак, треба размотрити металне запечатања, као што су ЦФ бакарне запчавања, ин

4. Уколико је потребно. Како одредити однос компресије: Вакуумско запечаћивање обично захтева више компресије од обичног статичког запечаћивања

Количина компресије вакуумских О-рингова директно утиче на стопу цурења. Паркерови вакуумски инструкције за тестирање О-ринга показују, у запљушћивању крајње лице, повећање количине компресије може очигледно смањити цурење; његов механизам је повећање дужине пута пролаза гаса, смањење површине улаза гаса и дозвољавање да гума боље

Али однос компресије није већи што је бољи. Превише велика компресија може изазвати прекомпресију О-прстена, брзина попуњавања жлебова превише висока, топлотна експанзија без простора, трајна деформација компресије брже се повећава, касније обрнуто цурење; Паркер такође подсећа, екстремна компресија

У пракси се то може разумети као:

У Паркеровој табели пројектовања вакуумских крајева резби, различите стопе компресије О-прстенова прекоречног пресека приближно покривају опсег од 19% до 32%, специфичне димензије треба израчунати према прекоречном пресеку, дубини реза, ширини реза, и унутра

5. Појам Оштрину површине: више него што клијенти мисле

Оно што се вакуумски запечатање највише плаши су гребежи и трагови алата преко линије за запечатање. Чак и ако је О-прстен материјал тачан, ако површина фланже има пресек трака, гребење, трагове честица, такође могу формирати "невидљиве цурења".

Паркер препоручује вакуумску плочу за запљуштање површине за употребу окружног текстура запљуштања и избегавање линије обраде перпендикуларне на линију запљуштања О-прстен. Курт Ј. Лескер такође истиче да оштећење металне или стаклене површине која прелази контактни отисак О-прстена, од огребова алата до спољне стране водеће вакуумске стране може изазвати цурење.

Практичне препоруке:

Површина за запломбивање контакта треба јасно означити грубост, не може само написати "машина завршава". Високо вакуумско запечатање крајње лице може да се односи на 16 РМС степени; ако се на цртежу користи Ра, треба потврдити са методом конверзије и прихватања клијента, не може механички изједначити РМС са Ра. Дно жлебова, страна жлебова, површина комбинације фланже треба све проверити за буре, трагове резања, јаме корозије и убоде грубих честица.

6. Уколико је потребно. Структурни избори: Крај-лице статички запечатак против радијалног статичког запечатка

Вакуумско статичко затварање треба преферирано прво користити затварање крајње лице (затварање лица). Завршковање крајње лице је лакше за формирање стабилне компресије, такође је лакше за детекцију хелија и чишћење. Паркер препоручује статичко вакуумско затварање преференцијално користе крајње лице жлебова или лице затварање, и одговарајући одговарајући вакуум степен и већи количина компресије; ако радијални затварање или пут затварање мора да се користи, не може пружити као добар перформансе.

Дворевице су погодне за врата, вертикално запломбивање, времена одржавања треба да буду смањена, карактеристика је мала површина стаза, али није пријатељска за топлотно ширење и отпорност материјала на растворитеље. Паркер такође указује да се голубова опашка мање често примењује изван микроелектроничке индустрије, јер су његове карактеристике облика ограничавају волумен, температурни опсег, толеранцију и квалитет растворљивог стања.

Двоструки О-прстени нису природно бољи, Курт Ј. Лескер јасно указује, ако два О-прста између њих нема диференцијалног пумпања, двоструки О-прстени нису нужно бољи од једноструких О-прстања, за високо вакуумни вентил врата, брану

7. Излазак гаса и мала летљивост: Мора се погледати на систем једињења, постпроцесинг и бач

"Ниско испаљивање гаса" није одређено име гуме које се одржава природно, већ је заједнички одређен системом једињења + формулацијом + системом вулканизације + пост-курирањем + чишћењем + паковањем + контролом партије.

NASA-и подаци о испаљивању гаса објашњавају, ASTM E595 се користи за мерење вакуумског окружења TML и CVCM, може се користити за верификацију материјала ниске перформансе испаљивања гаса. Пакети који се користе за производњу и производњу пилула и пилула су такође у складу са стандардом ASTM E595.

Треба да захтева од добављача за набавку:

Паркер такође подсећа, вакуумско печење може помоћи у уклањању остатка леталости, али може изазвати смањење О-ринг, и променити еластичне и ниске температуре перформансе. Зато не може једноставно третирати "печење једном" као обраду без ризика, потребно је потврдити промену димензија, промену тврдоће и компресију трајне деформације.

8. Уколико је потребно Чистоћа: "Невидљива мерила" вакуумског запечатања

У вакуумским системима, ручно уље, прашина, влакна, средство за ослобађање калупа, контаминација уљем, остатак чистилаца могу постати извори гаса или тачка пропуста. Курт Ј. Лескер препоруке за високо вакуумно чишћење указују, извори контаминације вакуумних компоненти укључују обраду фризуда за хлађење, људски додир и неисправно складиштење, контаминацију растворљиву у води, течност сапуна, влагу и остатак

Препоруке за практичну операцију:

Не додирујте директно О- прстене и плоче за запечатање пре монтаже. Користите рукавице без прљавчица, неткане тканине, чисте раствараче или специјалне опреме. Површина О-ринга не сме имати талк прах, влакна, металне шпице, течност за резање, обични мастило, транспортно уље. Полопроводници и оптички купци обично захтевају чишћење чисте собе, двоструко чисте паковање торбица, етикету партије и рок за распаковање.

9. Како изабрати вакуумску мастину: корисна, али не и неопходна

Вакуумска мастица је намењена за попуњавање микронеравнотежности металне површине, смањењу цурења микроканала, помагању у инсталацији. Паркерови експерименти показују да маст са високим вакуумом може значајно смањити проникност компресираног О-прстена; али под прекомерном количином компресије, користи које доноси маст постаће променљиве. Пфайфер такође истиче да мала количина масти за мачење може повећати попуњење микро-дефекта на површини и смањити цурење, али вишак масти за мачење ће ширити контаминацију, заузети простор за топлотно ширење и можда ући у депозите који формирају вакуум или поново излазе.

Стратегија селекције:

Пфайферов закључак је веома директан: да ли се користи масти зависи од тога колико чист систем треба да буде; смазивање околине високе чистоће можда уопште није прихватљиво; ако се користи, слој премаза треба да буде изузетно танко, готово незабележиво за додир. Подаци компаније Apiezon показују да вакуумска мастица има угљенводород, без силикона, висок вакуум, ултрависок вакуум и ПФПЕ и друге различите системе, примењиве у различитим високим температурама и снажним оксидационим/корозијским окружењима, али је

Не користите обичну жуту маст, обични мастило, механички мастило да замени вакуумну маст; чак и означена као "маст са високим вакуумом" такође није једнака применима на полупроводнике или оптичке контаминације осетљиве на процесе.

десет. Како се открива излаз хелија: Мора се разликовати прави излаз, проникност и излаз гаса

Уобичајен вакуумски О-прстен хелијумске детекције пропуста: гледање хелијумског сигнала директно претпоставља да је О-прстен оштећен. Реална ситуација може бити огребања запек, укључивање честица, пражњење структуре жлебова, пролаз материјала, испаљивање гаса или контаминација мастила.

Препоручен процес:

Прво проверите чишћење и монтажу. Проверите жлеб, лице фланже, површину О-прстена, унифорност пренапредавања вијака, дубину жлеба и брзину компресије.

Онда проверите тест повећања притиска. Погледајте да ли крива линеарно расте или постепено успорава; ако је тренд повећања притиска ближи прави линији, вероватније нагиње према цурење, ако постепено тежи ка стабилним, онда је вероватније да ће материјал испалити.

На крају, откријте пропуст хелијумског масног спектрометра. Високи вакуум и ултра-висок вакуум обично користе спољашњи спреј хелијум, посматрају вакуумски одговор. Лејболд истиче да детекција хелија може прецизно локализовати и квантитативно мерети мале цурења, а цурење испод 10−6 mbar·L/s обично захтева инструменте за детекцију цурења хелија.

У записима примљене стопе пропуста мора се јасно написати метода испитивања: метода прскања, метода апсорпције, метода обвине, диференцијала испитивања притиска, концентрација хелија, време одговора, метода одвођења позадине и времена задржавања притиска и праг интерпретације Иначе "пропуштено детекцију хелија" нема никаквог инжењерског значаја.

11. Препоручени упутства за различите купце

Купаци вакуумске опреме

Приоритетно размотрите ФКМ 75А са ниским испаљивањем гаса или ФКМ вакуумског нивоа, жлеб на крају лица, око 20%30% компресије, површина 1632 РМС степени, одлучите да ли вакуум печење и детекција хелија према захтевима граничног притиска клијента

Инструмент, спектроскопија, аналитичка опрема Клијенти

Фокусирајте се на контролу испадања гасова, летљивих материја и хелијумске детекције позадине. Приоритетно изаберите ФКМ или ФФКМ са ниским испаљивањем гаса, користите мање или немате масти за мачење, захтевају чисту паковање, тражимост партије и неопходне податке пре верификације. Осетљива анализна шупљина треба да се фокусира на сопствену квалитетну позадину материјала, а не само на стопу пропуста.

Купаци полупроводника

Приоритетно одаберете ФФКМ, ФКМ отпорни на корозију, ниски ниво металних јона, низак ниво честица, оптимизација формулације са ниским испаљивањем гасова. Мора да разјасни процесни гас, врсту плазме, температурни циклус, течност за чишћење, положај шупљине. У већини случајева се не препоручује произволна употреба вакуумске масти. Потреба за тражебилношћу партије, чистом амбалажем, ЦОА, временом потребном за пружање ТМЛ/ЦВЦМ, анализом јона и подацима о верификацији честица и процеса.

Купаци опреме за плакирање

Ако је обичан ПВД, испарење, вакуумни затварање врата, примењива ФКМ; ако постоји ризик од контаминације високе температуре, активних гасова или слоја премаза, треба да се надгради ФФКМ или специјална формулација ниске контаминације, затварање врата може такође раз

Оптички, ваздухопловни, УХВ клијенти

Ако постоји осетљива оптичка површина, ултрависок вакуум, дуготрајна печење или изузетно строги захтев за контаминацију, гумени О-прстени можда нису погодни, треба да се приоритетно процени еластомер, требају ниски подаци о испуштању гаса, вакуумско пе

12. Поље које се морају питати током набавке/цитирања

Приликом издавања листа за избор купцима или добављачима, укључите најмање ова поља:

13. Коначна пресуда о избору

Може брзо да суди по следећем путу одлуке:

• Обични груби вакуум/ниски вакуум, осетљив на трошкове: НБР или ЕПДМ могу се разматрати, али морају потврдити медију и температуру.
• Општа опрема за висок вакуум: ФКМ са ниским испаљивањем гасова је главни избор.
• Половодец, корозивни гас, плазма на високој температури: ФФКМ или специјални јонски отпорни ФКМ.
• Водна пареа, пареа, озона: ЕПДМ одлична процена.
• Потреба за мекоћу на ниске температуре: Силиконска гума ЕПДМ може се размотрити, али мора бити кључно проценити проникност и испаљивање гаса.
• Ултра-висок вакуум, јака чистота, дуготрајно печење, осетљивост на оптичку контаминацију: Приоритетно запечаћивање метала; гумени О-прстен само као компромис након што је валидиран.

Сумирање у једној реченици: вакуумски запломбивање О-прстен је фокус селекције није "што гума је издржљив", али да ли је укупна стопа пропуста, одгазивање, пролаз, контаминација и инсталација површине могу контролисати под циљном степену ваку