
FFKM პერფლუოროელასტომერი O-გარე ძვირადღირებს არ მხოლოდ იმიტომ, რომ ის „უფრო caრგი რეზინია“, არამედ იმიტომ, რომ ექსტრემალური ექსპლუატაციური პირობების შემთხვევაში ერთდროულად ამოხსნის სამ პრობლემას, რომლებსაც ჩვეულებრივი სილიკონის მასალები ერთდროულად ვერ ამოხსნის: ძლიერი ქიმიური წინააღმდეგობა, მაღალტემპერატურული მუშაობის შესაძლებლობა და დაბალი გამოსახურებელი ნივთიერებები. ნახსენის მწარმოებლებისთვის, ძლიერ კოროზიული გარემოს, ნავთობისა და გაზის და უმაღლესი კლასის ვალვების მომხმარებლებისთვის FFKM-ის ღირებულება არ არის O-გრეილი თავად, არამედ შემცირებული გაჟონვა, შემცირებული დაბინძურება, შემცირებული დაშავება, შემცირებული ნაკლები და უსაფრთხოება.
FFKM არის Perfluoroelastomer სრულად ფლორირებული ელასტომერი / სრულად ფლორირებული რეზინი. ძირითადი კონცეფცია არის "სრულიად ფლორირებული": პოლიმერის მოლეკულურ ჯაჭვში წყალბადის ატომები შეიცვლება ფლორიუმის ატომებით, რაც ქმნის მაღალფლორირებულ ელასტომერს. ეს სტრუქტურული ცვლილება მნიშვნელოვნად აუმჯობესებს ქიმიურ და თერმულ სტაბილურობას, რაც მას მასს აძლევს ქიმიურ ინერტობას, რომელიც უახლოვდება PTFE- ს, ხოლო კვლავ ინარჩუნებს რეზინის მსგავს ელასტიურობას.
Ტიპიური სრულად ფლორირებული სისტემების შორის, FFKM შეიძლება შედგებოდეს მონომერებისგან, როგორიცაა ტეტრაფლოროეთილენი (TFE) და perfluoromethyl vinyl ether (PMVE). დაკავშირებული perfluoroelastomer მასალების აღწერილობებში ასევე ხაზგასმულია მათი სრული ფლორირებული სტრუქტურა და კოროზიის წინააღმდეგობა, სითბოს წინააღმდეგობა, დაბალი გაზის გამონაბოლქვი და სხვა მახასიათებლები, რომლებსაც ეს სტრუქტურა მოაქვს.
Ეს ნიშნავს, რომ განსხვავება FFKM- ს და ჩვეულებრივ FKM ფლუოროელასტომერს შორის არ არის ისეთი მარტივი, როგორც "ერთი და იგივე მასალის მაღალი ხარისხის ვერსია". FKM არის მაღალი შესრულების ფლოროელასტომერი, მაგრამ FFKM აძლევს ფლორირების ხარისხს, ქიმიურ ინერტობას და მაღალი ტემპერატურის სტაბილურობას უმაღლეს დონეზე. მასალების შედარებისას აღინიშნება, რომ FFKM- ს აქვს ფლორის მნიშვნელოვნად უფრო მაღალი შემცველობა, ვიდრე სტანდარტული FKM, შეუძლია მიაღწიოს სამუშაო ტემპერატურას დაახლოებით 325 °C- ზე და აქვს ქიმიური თავსებადობა, რომელიც ახლოსაა ჩვეულებრივი PTF
Ქიმიურ, ნახსენის ნახშირწყლის საწარმოებში, ნავთოქიმიაში, ნავთობისა და გაზის და სხვა სცენარებში სილიკონის რგოლი ხშირად არ არის ერთი მედიუმის წინააღმდეგ, არამედ კომპლექსური გარემოს, სადაც მაღალი ტემპერატურა, წნევა, ხსნარები, მჟავები და ტუტეები, ოქსიდანტები და პროცესის ნარჩევები ერთად მოქმედებენ. ჩვეულებრივი NBR, EPDM და FKM კარგად იძლევა ერთი მედიუმის წინააღმდეგ, მაგრამ როდესაც მიქსირებული მედიუმები ან მაღალტემპერატურილი ძლიერ მოქმედების გარემო იქმნება, ხშირად ხდება გაფართოება, გამაგრება, დაშლა და სწრაფვა კომპრესიის დაკარგვა.
FFKM-ის მნიშვნელობა მდგომარეობს მის გაცილებით გაფართოებულ ქიმიურ თავსებადობას ფანჯარაში. FFKM-ის რგოლები აღიწერება როგორც ყველაზე მაღალი სამუშაო ტემპერატურის დიაპაზონის, ყველაზე დაბალი გამოყოფის და გამოსახსნელი ნივთიერებების დონის მქონე სილიკონის მასალები, რომლებიც მოსახერხებელია სემიკონდუქტორული ჩიპების წარმოებისა და ქიმიური მოწყობილობების მნიშვნელოვანი გამოყენების სფეროებში.
Კლიენტებისთვის ეს ნიშნავს: FFKM არ არის დანიშნული ყველა რეზინის ჩანაცვლებად, არამედ ის უზრუნველყოფს უფრო დიდ უსაფრთხოების ზღვარს იმ შემთხვევებში, როდესაც სხვა მასალების ქიმიური თავსებადობის საზღვარი არ არის განსაზღვრული ან წარუმატებლობის ღირებულება ძალიან მაღალია.
O-სახელურის არსი არ არის "რეზინის ბორბალი, რომელიც ჯაჭვში იჯდება", არამედ ის ეყრდნობა ელასტიკურ აღდგენას, რათა უწყვეტად შექმნას დახურვის ძალა. მაღალ ტემპერატურაზე რეზინის მოლეკულური ჯაჭვი აჩქარებს აგებას, კრებული სტრუქტურა დაიშლება და კომპრესიული დეფორმაცია გაუარდება. როგორც კი დახურვის ძალა შეიძლება შემცირდეს, დახურვა შეიძლება დაკარგოს სანდოობას, თუმცა ის ჯერ კიდევ სრულიად უცვლელად გამოიყურება.
FFKM-ის მაღალტემპერატურული შესაძლებლობა მკაფიოდ აღემატება უმეტესობის ჩვეულებრივი ელასტომერების შესაძლებლობას. ზოგიერთი FFKM პროდუქტი მითითებულია, როგორც ყველაზე მაღალი კომპრესიის შემდგომი დეფორმაციის წინააღმდეგ მიმართული წინააღმდეგობით და ყველაზე უკეთესი მაღალტემპერატურული მოქმედებით ხშირად გამოყენებად ელასტომერებში, რომლის მაქსიმალური სამუშაო ტემპერატურა 320°C / 608°F-მდე აღწევს. სხვა FFKM მასალები შეძლებს უწყვეტ მუშაობას ფართო ტემპერატურულ დიაპაზონში, რომელიც მოიცავს -40°C-დან +325°C-მდე, ხოლო კონკრეტული მნიშვნელობა დამოკიდებულია ფორმულირებაზე.
Ამიტომ, FFKM-ის "მაღალტემპერატურული მიმართულება" არ არის მხოლოდ ის, რომ მასალა მოკლე ვადაში არ დაიმსხრავება, არამედ მისი შესაძლებლობა შეინარჩუნოს გამოყენების შესაძლებელი სილაგების ძალა მაღალტემპერატურული, ძლიერ კოროზიული და გრძელვადიანი კომპრესიის საერთო მუშაობის პირობებში.
Ნახსენების მოწარმოების ინდუსტრია იყენებს FFKM-ს არ მხოლოდ იმიტომ, რომ ის წინააღმდეგობას აძლევს კოროზიასა და მაღალ ტემპერატურას — უფრო მეტად იმიტომ, რომ შეიძლება შემცირდეს დასაბრუნებლობის რისკი. ნახსენების წარმოება საკმაოდ მგრძნობარეა მეტალის იონების, ნაკრებების, TOC-ის, ორგანული გამოყოფის და პროცესული აირების გაჟონვის მიმართ. ერთი დახურვის წერტილიდან გამოყოფილი ნივთიერებები, გამოგონება ან აირის გაჟონვა შეიძლება არ აისახოს მხოლოდ ერთი დახურვის ხარისხზე, არამედ ნახსენების სისუფთავეზე, მოსავლიანობაზე და მოწყობილობის მუშაობის ხანგრძლივობასა და მომსახურების ციკლებზე.
Ნახსენების მოწარმოებასთან დაკავშირებული FFKM-ის მონაცემები მიუთითებს, რომ FFKM-ს იყენებენ ნახსენების დამუშავების მოწყობილობაში, რადგან მისი ქიმიური მდგრადობა და მაღალ ტემპერატურაზე (დაახლოებით 327°C) მაღალი ტემპერატურული სტაბილურობა გამორჩევადია და კარგად შედგენილი FFKM შეიძლება შეამციროს ნაკრებების, გამოგონების და მეტალის იონების/TOC-ის გამოყოფის მიერ გამოწვეული დასაბრუნებლობა, რაც ეხმარება ნახსენების დასაბრუნებლობის რისკის შემცირებას.
Იზოლასტ-ტიპის FFKM პროდუქტები განსაკუთრებით აღინიშნავენ მათ წინა მხარეს მდებარე ნახსენის პროცესებზე მიმართულობას, როგორიცაა დეპოზიცია, ეტჩინგი, აშინგი/სტრიპინგი და იონური იმპლანტაცია; მასალა აღინიშნავენ მაღალი სისუფთავით, ნაკლები ნახსენით, ნაკლები ლითონებით, ულტრა-დაბალი ექსტრაქტებით და წარმოებულია და შეფუთულია კლასი 100 / ISO 5 სისუფთავის მქონე სივრცეში.
Ამიტომ ნახსენის სცენარში FFKM-ის კომერციული ღირებულება შეიძლება შეჯამდეს შემდეგნაირად: ნაკლები ნახსენი, ნაკლები კამერის დაბინძურება, ნაკლები განუსაზღვრელი გათიშვებები და ნაკლები საფრთხე ბათჩების გამოყენების გარეშე გამოყოფის.
FFKM-ის საწყისი მასალა არის მაღალფტორირებული მონომერი და სრულად ფტორირებული პოლიმერული სისტემა. სრული ფტორირების სტრუქტურა აძლევს განსაკუთრებულ ქიმიურ ინერტულობას და თერმულ სტაბილობას, მაგრამ ეს ასევე ნიშნავს, რომ მასალის სისტემა უფრო რთულია, ვიდრე მასობრივად წარმოებადი რეზინები. ეს არ არის მასობრივად წარმოებადი უნივერსალური რეზინი, არამედ პატარა სერიის, მაღალტექნოლოგიური მასალა, რომელიც მიმართულია უმაღლესი დონის სამუშაო პირობებზე.
Ამ ტიპის მასალები ჩვეულებრივ მხოლოდ მაშინ გამოიყენება, როდესაც ჩვეულებრივი ელასტომერების ელასტიურობა არ აკმაყოფილებს მოთხოვნებს. ასევე აღიარებულია, რომ FFKM-ის შემადგენლობები ჩვეულებრივ ძვირადღირებს ჩანაცვლების მასალებზე, მაგრამ მათი დამატებითი სანდოობა მნიშვნელოვნად ამცირებს სრულ ფლობის ღირებულებას, განსაკუთრებით იმ შემთხვევებში, როდესაც დასასრულების ხარჯები ძალიან მაღალია.
FFKM არ არის ერთი კონკრეტული შემადგენლობა, არამედ მასალების ოჯახი. ნახსენების პლაზმის წინააღმდეგობა, სითხის პროცესების ქიმიური წინააღმდეგობა, ძლიერი ამინების წინააღმდეგობა, ყველა სახის ამონაკლის წინააღმდეგობა, მაღალი ვაკუუმი და დაბალი გამოგონება, ნავთი და გაზის RGD (სწრაფი გაზის დეკომპრესია) წინააღმდეგობა — ყველა სამუშაო პირობა მოითხოვს სხვადასხვა შემადგენლობის დიზაინს.
Ნახსენების სამრეწველოს მიმართული FFKM-ის წარმოებლები განსაკუთრებით აღნიშნავენ: FFKM-ის მოქმედება მნიშვნელოვნად იცვლება ქიმიური შემადგენლობის მიხედვით, ხოლო ვეფერის დაბინძურების შემცირება შეიძლება მოითხოვოს სპეციალური შემადგენლობის პროდუქტს. ნახსენების სამრეწველოს მიმართული FFKM-ის პროდუქტების სერია განსხვავდება ეტჩინგის პროცესის, პლაზმის ტიპის, თერმული პროცესის და CMP / ECD / სითხის ეტჩინგის სხვადასხვა პროცესების კომბინაციების მიხედვით.
Ამიტომ, მაღალი კლასის FFKM-ის ფასში შეიტანილია დიდი რაოდენობის "უჩინარი შემადგენლობის ინჟინერია":
Შემადგენლობის მიმართულება |
Პრობლემის ამოხსნა |
Ტიპური მომხმარებლის ღირებულება |
Პლაზმის წინააღმდეგობის მქონე FFKM |
Პლაზმის აშინგის, სუფთავების, აშინგის/სტრიპინგის გამო ზედაპირის დეგრადაცია და ნაკლები ნახსენები |
Აუმჯობესებს ნახსენის ნაკლებად გამძლე კომპონენტების სტაბილურობას |
Ნაკლებად გამოსახვევი ფლუორელასტომერი (FFKM) |
Ამცირებს მეტალის იონებს, საერთო ორგანულ ნახსენს (TOC), ნაწილაკებს და გამოყოფას |
Გაზრდის მომსახურების ციკლის ხანგრძლივობას |
Მაღალტემპერატურულად მდგრადი ფლუორელასტომერი (FFKM) |
Მაღალ ტემპერატურაზე ინარჩუნებს დახურვის ძალას და კომპრესიის შემდგომ დეფორმაციას |
Ამცირებს დაბინძურებას ქიმიური პროცესების და ენერგეტიკული აღჭურვილობის დროს |
Ძლიერ მჟავებსა და წყალბაროს მიმართ მდგრადი ფლუორელასტომერი (FFKM) |
Შესაფერებელია გაზის ეტჩინგის, სითხის ქიმიკატების, SIP/CIP და მსგავსი გარემოსთვის |
Ამცირებს ქიმიური და ენერგეტიკული აღჭურვილობის გაჟონვებს |
RGD- მდგრადი / ნავთობისა და გაზის ხარისხის FFKM |
Გამძლე შიდა ბუშტების და კრეკინგის წინააღმდეგ, რაც გამოწვეულია გაზის სწრაფი დეკომპრესია |
Გამართული მაღალწნელის გაზქამპებისთვის, ტუმბოებისთვის, ქვედა ჭერის ხელსაწყოებისთვის |
Ნახევარმოდნელის ინდუსტრიისთვის FFKM- ის წარმოების ლოგიკა განსხვავდება ჩვეულებრივი სამრეწველო O- ბეჭდებისგან. ეს არ არის მხოლოდ ზომის შესაბამისობა, სიმტკიცე შესაბამისობა და ვიზუალური შესაბამისობა. დაბინძურების წყაროები, როგორიცაა ნაწილაკები, ლითონის იონები, ექსტრაქტივები, შეფუთვის სისუფთავე და პარტიის თანმიმდევრულობა, ასევე უნდა კონტროლირდებოდეს.
Ამ ტიპის პროდუქტი ხშირად მოითხოვს სპეციალურ შერევას, ფორმირებას, შემდგომ დამუშავებას, გაწმენდას, გამოცხობას, ინსპექტირებას და სუფთა შეფუთვას. PureFab-ის ტიპის FFKM პროდუქტი აღნიშნავს, რომ მისი ბოჭკოები მზადდება და შეფუთულია კლასის 100 / ISO 5 სუფთა ოთახში, რომლის მიზანია პროდუქტის სისუფთავე უზრუნველყოს.
Ეს ნაწილი ხარჯების არის გონივრული საბოლოო მომხმარებლისთვის: ნახევარმმმმართველის მომხმარებელი ყიდულობს არა "ერთი O-ring", არამედ დაბალი დაბინძურების გამკვრივებელი ელემენტი, რომელიც შეიძლება შევიდეს კრიტიკული პროცესის კამერაში.
Მაღალი ხარისხის FFKM O-ბეჭდებს ხშირად სჭირდებათ შემოწმება გრძელვადიანი შეკუმშვის კომპლექსის, ქიმიური შხმის, დაბერების, გაზის გაყვანის, დაბალი ექსტრაქტივების, პლაზმის ექსპოზიციის წინააღმდეგობის, ზომის სტაბილურობისა ნავთობისა და გაზის სცენარებში ასევე მოიცავს გაზის სწრაფი დეკომპრესია (RGD) ტესტირება.
Მაგალითად, Kalrez 0090-ის გამოყენებით, ეს FFKM აღწერილია როგორც ნავთობისა და გაზის ინდუსტრიაში ქვედასაღები და წყალქვეშა აღჭურვილობისთვის, როგორიცაა ბურთულოვანი სარქველები, სხვა სარქველები და შეფუთვის მანქანები. მისი O-
Ეს აჩვენებს, რომ უმაღლესი კლასის FFKM-ის ღირებულების ძალიან დიდი ნაკლებობა მომდინარეობს შემდეგი ფაქტორებიდან: შემოწმებადი მასალის სამუშაო მახასიათებლები, სერიის სრული დაკვეყნება და მართვადი უარყოფითი შედეგების რისკი.

Ნახსენის მიკროელექტრონიკის მოწყობილობებში გამოყენებული O-სახის ბეჭდები შეიძლება გამოყენებულ იქნას რეაქციის კამერებში, კლაპანებში, ხახუნის კლაპანებში, აირის შესასვლელ-გასასვლელ ადგილებში, კამერების მოხვევებში, დასასრულის ფანჯრებში, ვაკუუმურ ინტერფეისებში, CMP-ში, ECD-ში, სითხის სუფთავებაში, CMP/ECD-ში, პლაზმისა და ALD-ის სადგურებში და სხვა ადგილებში. ამ სილიკონის კომპონენტებს უნდა გამოიძლევონ როგორც მაღალი ტემპერატურა, ვაკუუმი, პლაზმა, კოროზიული აირები და სითხის ქიმიკატები, ასევე ისინი არ უნდა გახდენ დასაბანებლობის წყარო.
Როდესაც ნახსენის მიკროელექტრონიკის მომხმარებლები ირჩევენ FFKM-ს, ეს ჩვეულებრივ არ ხდება იმიტომ, რომ FKM სრულიად ვერ ახდენს სილიკონის დახურვას, არამედ იმიტომ, რომ FFKM უფრო სტაბილურია შემდეგი მხარეებით:
Დაბალი გამოსაშვები ნივთიერებები: ამცირებს მეტალის იონების, TOC-ის და გამოსაშვები ნივთიერებების შემოსვლას პროცესის სითხეში ან კამერაში.
Დაბალი გამოსხდომა: ამცირებს გამოიყოფადი ნარევების დაბინძურებას დაბალი ვაკუუმისა და მაღალი ტემპერატურის პროცესების დროს.
Დაბალი ნახევრები: ამცირებს ნახევრების გამოყოფის რისკს, რომელიც გამოწვეულია სილიკონის ზედაპირის დეგრადაციით პლაზმის გარემოში.
Პლაზმის მიმართ მიმდევრობა: შესაფერებელია ეტჩინგის, ეშინგის, დაშორებული პლაზმის სუფთავების და მსგავსი რეაქტიული გარემოებისთვის.
Გრძელი მომსახურების ციკლი: ამცირებს კამერის გახსნის, ნაკლებად ხშირად შეცვლის, სუფთავების, კალიბრაციის და ხელახლა ვერიფიკაციის სიხშირეს.
PureFab-ტიპის FFKM-ის აღწერები აშკარად მოიცავს წინა საბოლოო პროცესებს, როგორიცაა დანაგროვება, ეტჩინგი, ეშინგი/გამოხსნა და ALD, ასევე აკენტებს დაბალი ნახევრების, ულტრადაბალი გამოსაყოფი ნივთიერებების და ლითონის დაბინძურების კონტროლის მიერ მომსახურების ციკლების გასაგრძელებლად და მოსავლის გასაუმჯობესებლად მოთავაზებულ როლს.
Რეკომენდებული ვარიანტი ნახსენების წარდგენისთვის ნახსენების თეთრ ნაკრებში: FFKM-ის ო-რგანის მნიშვნელობა არ შემოიფარგლება მხოლოდ დახურვით — ის ასევე მოიცავს ძირეული პროცესების დაბინძურების წყაროების შემცირებას, მოწყობილობის მომსახურების ციკლების გაგრძელებას და მაღალი ტემპერატურის, ვაკუუმის, პლაზმის და ძლიერ კოროზიული ქიმიური გარემოს პირობებში სტაბილურობის გაუმჯობესებას.
Ქიმიურ სცენარებში ყველაზე ტიპური პრობლემა არის რთული გარემო: ძლიერი მჟავები, ძლიერი ტუტეები, ამინები, კეტონები, ესტერები, ალდეჰიდები, ხსნარები, ოქსიდანტები, ორთქლი და ცხელი წყალი, ასევე მათი ნარევები. ბევრი დახურვის შეცდომა არ ხდება იმიტომ, რომ მასალა სრულიად არ ითავარებს ერთი კონკრეტული გარემოს, არამედ იმიტომ, რომ კონცენტრაცია + ნარევის გარემო + შეკუმშვის ძალა + დრო ერთად მასალის ასაკობრივი დეგრადაციის გაძლიერებას იწვევს.
FFKM-ის მნიშვნელობა ქიმიურ ინდუსტრიაში მოიცავს:
Განსაკუთრებით აღნიშნულია, რომ FFKM შეიძლება გამოყენებულ იქნას ყველაზე მოთხოვნადი გამოყენებებში, მათ შორის ნახსენის მოწარმოებაში, ქიმიკატების დამუშავებაში და ნავთობისა და აირის დამუშავებაში, ასევე ქიმიკატებისა და პეტროქიმიკატების დამუშავების აღჭურვილობის სილინდრების მასალებში, რომლებიც ექვემდებარება ძლიერ კოროზიას, ამინებს და მაღალტემპერატურიან გარემოს.
Რეკომენდებული ფორმულირება ქიმიური თეთრი ნაკრებისთვის: ძლიერ კოროზიულ, მაღალტემპერატურიან და შერეული გარემოში FFKM O-სახელურები აძლევენ ფართო ქიმიური თავსებადობის ფანჯარას და უფრო სტაბილურ სილინდრის ძალას, რაც ეხმარება მომხმარებლებს მასალის გამარტების რისკის, განუსაკუთრებლად გამოწვეული დაყენების შეწყვეტის და გამარტებასთან დაკავშირებული ინციდენტების შემცირებაში.
Ნავთობისა და გაზის და უმაღლესი კლასის ვალვების შემთხვევებში უფრო მეტად არის აკეთებული აქცენტი უსაფრთხოების საზღვარზე. სილიკონის მასალები შეიძლება შეხვდეს H₂S-ს, CO₂-ს, ამინებს, ცხელ ნავთობს, ორთქლს, საღერძო ქიმიკატებს, მაღალწნევიან გაზს და ტემპერატურის ციკლირებას; განსაკუთრებით, მაღალწნევიანი გაზის პირობებში სწრაფი დეკომპრესია შეიძლება გამოიწვიოს ელასტომერში გაფართოებული გაზის გამო შიდა ჩაქარება, ბუშტების წარმოქმნა ან ექსპლოზიური დეკომპრესია, რომელსაც ასევე აღნიშნავენ RGD / ექსპლოზიური დეკომპრესიის პრობლემებს.
Kalrez 0090-ის მონაცემები აჩვენებს, რომ ეს FFKM გამოიყენება ნავთობისა და გაზის საღერძო და საზღვაო აღჭურვილობაში, მათ შორის ბურღილის ბურღილის ვალვებში, სხვა ვალვებში, პეკერებში და საღერძო ინსტრუმენტებში; მისი RGD-სამივახტობის გარდა, ის ასევე აჩვენებს ქიმიურ მედეგობას 1800-ზე მეტი სხვადასხვა ქიმიკატის მიმართ და შეიძლება შეინარჩუნოს მისი მოქმედება მაღალწნევიან და მაღალტემპერატურიან ნავთობისა და გაზის გარემოში.
Ასევე აღნიშნულია, რომ გაძლიერებული ნახშირწყლის აღდგენა (EOR) საჭიროებს სიმკვრივის მატებულ მოთხოვნებს და ტემპერატურის მატებულ მოთხოვნებს სილიკონის მასალებზე; გაძლიერებული თერმული აღდგენისა და ქიმიკატების შეყვანის შემდეგ არა-FFKM მასალები ხშირად ვერ აკმაყოფილებენ სამუშაო მოთხოვნებს; დაკავშირებული FFKM მასალები გამოიყენება მოთხოვნების მაღალი დონის არსებულ ამოღების და კოროზიულ საკურთხეებში მაღალ ტემპერატურაზე.
Რეკომენდებული გამოთქმის ვარიანტი ნახშირწყლის და გაზის სამრეწველოსა და უმაღლესი კლასის ვალვების თეთრ წიგნში: მაღალი წნევის, მაღალი ტემპერატურის, კოროზიული საშუალებების და სწრაფი აირის დეკომპრესიის პირობებში FFKM O-სარგავები უზრუნველყოფენ სილიკონის მოცულობას არ მხოლოდ როგორც სილიკონის მოცულობას — ისინი არიან ვალვების, პუმპების და საკურთხეში მოთავსებული ინსტრუმენტების საიმედოობის გასაღები.
Მასალა |
Უპირატესობები |
Შეზღუდვები |
Შესაძლებლობის სცენარები |
NBR |
Დაბალი ღირებულება, კარგი საბაზისო ნახშირწყლის მიმართ მეტალური მეტყველება |
Არ არის მეტალური მეტყველების მიმართ მეტალური მეტყველება მაღალი ტემპერატურის, ძლიერი კოროზიის და ძლიერი ოქსიდაციის მიმართ |
Ჩვეულებრივი ნახშირწყლის წრეები, დაბალი ღირებულების სილიკონის მოცულობა |
EPDM |
Მეტალური მეტყველება სითბოს, წყალს, წყლის ყინულს და ზოგიერთ პოლარულ საშუალებას |
Არამდგრადი მინერალური ზეთების, არომატული ნივთიერებების ან ჰალოგენური ნახშირწყლების მიმართ |
Წყალი, ორთქლი, ზოგიერთი საწმენდი საშუალება |
FKM |
Ზეთზე გამძლე, საწვავზე გამძლე, მრავალი ქიმიკატის მიმართ გამძლე, კარგი ხარჯ-პერფორმანსის თანაფარდობა |
Თმა სუსტი მხარე გარკვეული ამინების, ძლიერი ალკალიების, მაღალი ტემპერატურის ძლიერი კოროზიის მიმართ. |
Ზოგადი დანიშნულების მაღალხარისხოვანი ინდუსტრიული გამკვრივება |
PTFE |
Უკიდურესად ძლიერი ქიმიური ინერტულობა, კოროზიის წინააღმდეგობა |
Ცუდი ელასტიური გადახრა, საჭიროებს ფრთხილად მონტაჟს და სტატიკურ/დინამიკურ მხარდაჭერას |
Კოროზიის საწინააღმდეგო გამკვრივებები, სტატიკური/დინამიკური მხარდაჭერა |
Ffkm |
Ქიმიური ინერტულობა PTFE-სთან ახლოს + რეზინის ელასტიურობა + მაღალი ტემპერატურის სტაბილურობა + დაბალი ექსტრაქტიული ნივთიერებები |
Მოითხოვს შერჩევის შესაბამისად სპეციფიკური სამუშაო პირობები, მაღალი ფასი |
Ნახსენების მიკროელექტრონიკა, ძლიერ კოროზიული ქიმიკატები, ნავთობგაზი, მაღალი ხარისხის კლაპანები, მაღალი ვაკუუმი და მაღალი სისუფთავის პირობები |
Გამარტებული წესი: თუ ეს მხოლოდ ჩვეულებრივი კოროზია, ჩვეულებრივი ტემპერატურა და ჩვეულებრივი გაჟონვის რისკია, FKM შეიძლება საკმარისი იყოს; თუ კი ძლიერი კოროზია, მაღალი ტემპერატურა, ვაკუუმი, დაბალი დაბინძურება ან შეჩერების ხარჯები მაღალი იქნება, მხოლოდ ამ შემთხვევაში აჩვენებს FFKM თავის ნამდვილ ღირებულებას.
Რეკომენდებულია FFKM-ის ჩამონათვალი როგორც უპრიორიტეტული ან მთავარი ვერიფიკაციის მასალა შემდეგი პირობების არსებობის შემთხვევაში:
Ძლიერი ქიმიური კოროზია: ძლიერი მჟავები, ძლიერი ტუტეები, ამინები, ძლიერი ოქსიდატორები, შერევის ხსნარები, უცნობი ნაერთების გარემო.
Ტემპერატურის მარგინი: გრძელვადიანი ტემპერატურა მიახლოებულია FKM-ის უსაფრთხოების ზღვარს, ან არსებობს მაღალი ტემპერატურის პიკი ან თერმული ციკლირება.
Დაბინძურება არ არის დასაშვები: ნახსენების მიკროელექტრონიკა, ვაკუუმი, მაღალი სისუფთავის ქიმიკატები, სიზუსტის მაღალი მოთხოვნილების წარმოება.
Დაკარგული დროის ღირებულება მაღალია: სილიკონის შეცვლა მოითხოვს მოწყობილობის გათიშვას, გახსნას, გაწმენდას და ხელახლა ვერიფიკაციას.
Მაღალი გაჟონვის რისკი: საშიში ქიმიკატები, ნავთობი და გაზის მაღალი წნევის სისტემები, ძირევადი სარეგულირო ვერტილები.
Მასალის დაზიანების სირთულე: გაფართოება, გამაგრება, დატროპვა, კომპრესიის შემდგომი დეფორმაცია და გამოსაყოფი დაბინძურება ერთდროულად ხდება.
Სჭირდება გრძელი მომსახურების ციკლები: არ უნდა მივდივაროთ ყველაზე დაბალი შეძენის ფასის მიღებას, არამედ უნდა მივდივაროთ ყველაზე დაბალი საერთო ღირებულების მიღებას.
Თეთრ ნაკრებში FFKM-ის აღწერა როგორც „უნივერსალური მასალა“ უნდა avoided. უფრო პროფესიონალური გამოთქმა არის:
FFKM არის caრგი ხარისხის სილიკონის მასალების პლატფორმა, მაგრამ კონკრეტული შემადგენლობა უნდა იყოს შერჩეული მუშაობის პირობების მიხედვით.
Ძირევანი არჩევის ცვლადები არის:
Ეს განსაკუთრებით ჭეშმარიტია ნახსენების სცენარებში, სადაც პლაზმა ნელ-ნელა მოიხმარებს მასალის ზედაპირს, რაც იწვევს ზედაპირის დეგრადაციას და ნახევრად ნაკლები რისკს; ამიტომ ეტჩინგი, დეპოზიცია, აშინგი, თხევადი დამუშავება და სხვა ადგილები უნდა აირჩიონ სპეციალური ხარისხის პროდუქტები. პლაზმასთან გრძელვადი ექსპოზიცია ნებისმიერი მასალის მოხმარებას იწვევს, ამიტომ იდეალური სილიკონის რგოლი უნდა ერთდროულად წინააღმდეგობას გამოაჩინოს ზედაპირის დეგრადაციას და შეინარჩუნოს სილიკონის ფუნქცია.
FFKM O-რგოლების ძირითადი ღირებულება არის დაბალი დაბინძურების სილიკონი. ის ეხმარება ნახევრად ნაკლების, გამოყოფის, ლითონის იონების და გამოსაყოფი ნივთიერებების კონტროლში და შესაფერებელია ეტჩინგის, დეპოზიციის, ALD-ის, აშინგის, თხევადი სუფთავების, CMP-ის, ECD-ის, ვაკუუმის და მაღალტემპერატურული პროცესების მნიშვნელოვან პოზიციებში. რას ყიდის მომხმარებელი? მოსავლის სტაბილურობას, კამერის სუფთაობას და მომსახურების ციკლს.
FFKM-ის ძირეული ღირებულება არის განსაკუთრებული ქიმიური თავსებადობა. ძლიერი მჟავების, ძლიერი ტუტეების, ამინების, ხსნარების, წყლის ორთქლისა და მაღალტემპერატურიანი გარემოს შერევის პირობებში FFKM შეიძლება შეამციროს გაფართოება, დაბრუნება, ჩა cracks და გასხევება, რაც ამცირებს დასაშვებ დასასრულს და უსაფრთხოების რისკს. რას ყიდის მომხმარებელი, ეს არის უწყვეტი წარმოების შესაძლებლობა და პროცესის უსაფრთხოება.
FFKM-ის ძირეული ღირებულება არის მაღალი წნევის, მაღალი ტემპერატურის და კოროზიული გარემოს პირობებში დამაჯაკებელი დახურვა. მაღალტემპერატურიანი წყლის ორთქლის, მჟავე აირების, CO₂-ის, H₂S-ის, ამინის თხევადი ნივთიერების, სიღრმეში გამოყენებული ქიმიკატების და სწრაფი აირის დეკომპრესიის რისკის პირობებში სპეციალურად შემუშავებული FFKM შეიძლება მნიშვნელოვნად გააუმჯობესოს მნიშვნელოვანი ვალვების, პუმპების და სიღრმეში გამოყენებული ინსტრუმენტების დამაჯაკებელობა. რას ყიდის მომხმარებელი, ეს არის რისკების კონტროლი და მოწყობილობის სიცოცხლის ხანგრძლივობა.