FFKM பெர்ஃப்ளுவோரோஎலாஸ்டோமர் O-rings அவை வெறும் "உயர் தரமான ரப்பர்" என்பதால் மட்டுமே விலையுயர்ந்தவை அல்ல; செயல்பாட்டு எல்லையின் அதிகபட்ச அளவில், சாதாரண சீலிங் பொருட்கள் ஒரே நேரத்தில் தீர்க்க முடியாத மூன்று பிரச்சனைகளை ஒரே நேரத்தில் தீர்க்கின்றன: வலுவான வேதியியல் எதிர்ப்பு, உயர் வெப்பநிலை திறன் மற்றும் குறைந்த கசிவு பொருட்கள். அரைக்கடத்தி, வலுவான அரிப்பு, எண்ணெய்-வாயு மற்றும் உயர் தர வால்வு பயன்பாடுகளில் உள்ள வாடிக்கையாளர்களுக்கு, FFKM-ன் மதிப்பு அதன் ஓ-ரிங் தனிப்பட்ட பண்புகளில் அல்ல, ஆனால் கசிவு குறைவு, மாசுப்படுதல் குறைவு, நிறுத்த நேரம் குறைவு, கழிவு இழப்பு குறைவு மற்றும் பாதுகாப்பு ஆகியவற்றில் உள்ளது.

1. FFKM என்றால் என்ன: PTFE-ன் வேதியியல் மந்தத்தை நெருக்கலாக அடைந்து, ரப்பர் நெகிழ்வுத்தன்மையை பராமரிப்பது

FFKM என்பது பெர்ஃப்ளூரோஎலாஸ்டோமர் முழுமையாக ஃப்ளோரைன் செய்யப்பட்ட எலாஸ்டோமர் / முழுமையாக ஃப்ளோரைன் செய்யப்பட்ட ரப்பர். இதன் மையக் கருத்து "முழுமையாக ஃப்ளோரைன் செய்யப்பட்டதாகும்": பாலிமரின் மூலக்கூறு சங்கிலியில் உள்ள ஹைட்ரஜன் அணுக்கள் ஃப்ளோரின் அணுக்களால் மாற்றப்பட்டு, அதிக ஃப்ளோரைன் கொண்ட எலாஸ்டோமரை உருவாக்குகின்றன. இந்த கட்டமைப்பு மாற்றம் வேதியியல் மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது, இது பொருள் ஒரு வேதியியல் மந்தநிலையை அளிக்கிறது, இது PTFE ஐ நெருங்குகிறது, அதே நேரத்தில் ரப்பர் போன்ற நெகிழ்ச்சியைத் தக்க வைத்துக் கொள்கிறது.

பொதுவான முழுமையான ஃப்ளோரைன் அமைப்புகள் மத்தியில், FFKM போன்ற monomers இருந்து உருவாக்கப்படலாம் tetrafluoroethylene (TFE) மற்றும் perfluoromethyl vinyl ether (PMVE). தொடர்புடைய பெர்ஃப்ளூரோஎலாஸ்டோமர் பொருட்களின் விவரங்களும் அவற்றின் முழுமையான ஃப்ளோரைனேற்றப்பட்ட கட்டமைப்பையும், இந்த கட்டமைப்பால் கொண்டு வரப்படும் அரிப்பு எதிர்ப்பு, வெப்ப எதிர்ப்பு, குறைந்த வெளியேற்ற மற்றும் பிற பண்புகளையும் வலியுறுத்துகின்றன.

இது எஃப்எஃப்கேஎம் மற்றும் சாதாரண எஃப்கேஎம் ஃப்ளுவோரோஎலாஸ்டோமர் ஆகியவற்றிற்கு இடையேயான வேறுபாடு "அதே பொருளின் உயர்-தர பதிப்பு" என்பதை விட மிகவும் சிக்கலானது என்பதைக் குறிக்கிறது. எஃப்கேஎம் ஒரு உயர் செயல்திறன் ஃப்ளுவோரோஎலாஸ்டோமர் ஆகும், ஆனால் எஃப்எஃப்கேஎம் ஃப்ளுவோரினேஷன் அளவு, வேதியியல் மந்தத்தன்மை மற்றும் உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றை மிக உயர் மட்டத்திற்கு உயர்த்துகிறது. பொருள் ஒப்பீடுகளில், எஃப்எஃப்கேஎம்-இன் ஃப்ளுவோரின் உள்ளடக்கம் சாதாரண எஃப்கேஎம்-ஐ விட குறிப்பிடத்தக்க அளவில் அதிகம் எனவும், சுமார் 325°C வெப்பநிலையில் செயல்பட முடியும் எனவும், அதன் வேதியியல் ஒத்திசைவு சாதாரண PTFE-க்கு அருகில் உள்ளது எனவும் குறிப்பிடப்படுகிறது.

2. எஃப்எஃப்கேஎம்-இன் முக்கிய மதிப்பு: வலுவான கருகல் எதிர்ப்பு, உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, குறைந்த எக்ஸ்ட்ராக்டபிள்ஸ்

2.1 வலுவான கருகல் எதிர்ப்பு: வலுவான அமிலங்கள், அமீன்கள், கரைப்பான்கள், வலுவான ஆக்ஸிஜனேற்றும் பொருட்கள் ஆகியவற்றை எதிர்கொள்ளும்போது சீலிங் செயல்பாட்டை பராமரிக்கிறது

வேதியியல், அரைந்து செயல்படும் செமிகண்டக்டர் செயல்முறை, பெட்ரோவேதியியல், எண்ணெய் மற்றும் வளிமம் ஆகியவற்றிலும் பிற சூழல்களிலும், ஒரு சீல் உண்மையில் எதிர்கொள்ளும் பொதுவாக ஒரே ஊடகம் அல்ல, ஆனால் உயர் வெப்பநிலை, அழுத்தம், கரைப்பான்கள், அமிலங்கள் மற்றும் காரங்கள், ஆக்ஸிஜனேற்றிகள் மற்றும் செயல்முறையின் துணைத்தயாரிப்புகள் ஆகியவை ஒன்றாகச் செயல்படும் கலவைச் சூழலாகும். சாதாரண NBR, EPDM மற்றும் FKM ஆகியவை ஒரே ஊடகத்திற்கு நன்றாகச் செயல்படும், ஆனால் கலந்த ஊடகங்கள் அல்லது உயர் வெப்பநிலையில் வலுவான ஆக்ஸிஜனேற்றும் சூழல்களில் பெரும்பாலும் வீங்குதல், கடினமாதல், பிளவுகள் மற்றும் விரைவான செறிவு இழப்பு ஆகியவை ஏற்படும்.

FFKM-ன் மதிப்பு அதன் மிகவும் விரிவான வேதியியல் ஒத்திசைவு விண்டோவில் உள்ளது. FFKM O-வளையங்கள் சீலிங் பொருட்களில் மிக உயர் செயல்பாட்டு வெப்பநிலை வரம்பையும், மிகக் குறைந்த வெளியேறும் வாயு மற்றும் எடுக்கக்கூடிய அளவுகளையும், அகலமான வேதியியல் ஒத்திசைவையும் கொண்டவை என விவரிக்கப்படுகின்றன, இதனால் அவை செமிகண்டக்டர் சிப் தயாரிப்பு மற்றும் வேதியியல் கருவிகள் போன்ற முக்கிய பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றவையாகும்.

வாடிக்கையாளர்களுக்கு இதன் பொருள்: எஃப்ஃபிகேஎம் (FFKM) அனைத்து ரப்பர்களையும் மாற்றுவதற்காக இல்லை; மாறாக, பிற பொருட்களின் வேதியியல் ஒத்திசைவு எல்லை தெளிவற்ற சூழ்நிலைகளில் அல்லது தவறு ஏற்படுவதன் செலவு மிக அதிகமாக இருக்கும் சூழ்நிலைகளில் பாதுகாப்பு முன்கூட்டிய கணிசமான அதிகரிப்பை வழங்குகிறது.

2.2 உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: உயர் வெப்பநிலையில் நெகிழ்வுத்தன்மை, செறிவு இழப்பு மீட்சி, மற்றும் சீல் விசையை பராமரிக்கிறது

ஓ-ரிங்கின் முக்கிய தன்மை என்பது "தடுப்பு பள்ளத்தில் அமைந்திருக்கும் ஒரு ரப்பர் வளையம்" என்பது அல்ல; மாறாக, அது தொடர்ந்து சீல் விசையை உருவாக்க நெகிழ்வு மீட்சியை நம்பியுள்ளது. உயர் வெப்பநிலையில், ரப்பரின் மூலக்கூறு சங்கிலிகள் வேகமாக வயதாகின்றன, குறுக்கு இணைப்பு அமைப்பு சிதைகிறது, மேலும் செறிவு இழப்பு மோசமாகிறது. சீல் விசை குறைந்த பின், அது இன்னும் சரியாகத் தோன்றினாலும் சீல் நம்பகத்தன்மையை இழக்கலாம்.

எஃப்எஃப்கேஎம்-ன் உயர் வெப்பநிலை திறன் பெரும்பாலான மரபுசார் எலாஸ்டோமர்களை விட மிகவும் சிறந்தது. சில எஃப்எஃப்கேஎம் தயாரிப்புகள், பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் எலாஸ்டோமர்களில் மிக உயர்ந்த செறிவு இழப்பு எதிர்ப்புத்தன்மையையும், சிறந்த உயர் வெப்பநிலை செயல்திறனையும் கொண்டதாகக் கூறப்படுகின்றன; அதன் அதிகபட்ச பயன்பாட்டு வெப்பநிலை 320°C / 608°F வரை செல்லும். மற்ற எஃப்எஃப்கேஎம் பொருள்கள் -40°C முதல் +325°C வரையிலான வெப்பநிலை வீச்சில் தொடர்ந்து செயல்பட முடியும்; இந்த குறிப்பிட்ட மதிப்பு அதன் கலவையைப் பொறுத்தது.

எனவே, எஃப்எஃப்கேஎம்-ன் "உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு" என்பது குறுகிய காலத்திற்கு பொருள் உருகாமல் இருப்பதை மட்டுமே குறிக்கவில்லை; அது உயர் வெப்பநிலை, கடுமையான காரணிகள் மற்றும் நீண்ட கால அழுத்தம் ஆகிய கூடுதல் பணிச் சூழலில் பயனுள்ள சீலிங் விசையை பராமரிப்பதையும் குறிக்கிறது.

2.3 குறைந்த எக்ஸ்ட்ராக்டபிள்ஸ், குறைந்த ஔட்கேசிங், குறைந்த துகள்கள்: செமிகண்டக்டர் வாடிக்கையாளர்கள் எஃப்எஃப்கேஎம்-க்காக செலுத்தும் உண்மையான காரணம்

செமிகண்டக்டர் துறை எஃப்ஃபேகேஎம்-ஐ கார்பன் மற்றும் உயர் வெப்பநிலையைத் தாங்கும் தன்மைக்காக மட்டுமே பயன்படுத்தவில்லை — அது மாசுப்படுதல் ஆபத்தைக் குறைக்க முடியும் என்பதாலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. வேஃபர் தயாரிப்பு உலோக அயனிகள், துகள்கள், டோட்டல் ஆர்கானிக் கார்பன் (டிஓசி), ஆர்கானிக் ஆவிகள் மற்றும் செயல்முறை வாயு கசிவுகளுக்கு மிகவும் உணர்திறன் கொண்டது. ஒரு முழுமையான சீலிங் புள்ளியிலிருந்து வெளியேறும் பொருட்கள், வளிமமாகும் பொருட்கள் அல்லது வாயு கசிவுகள் ஒரு சீலை மட்டுமல்ல, வேஃபர் தூய்மை, வெளியீடு, கருவியின் இயக்க நேரம் மற்றும் பராமரிப்பு சுழற்சிகளையும் பாதிக்கும்.

செமிகண்டக்டர் துறையுடன் தொடர்புடைய எஃப்ஃபேகேஎம் தரவுகள், எஃப்ஃபேகேஎம் வேஃபர் செயலாக்க கருவிகளில் பயன்படுத்தப்படுவதற்கு அதன் வேதியியல் எதிர்ப்புத்தன்மை மற்றும் 327°C அளவிலான உயர் வெப்பநிலையில் அதன் நிலைத்தன்மை சிறந்தது என்பதைக் குறிக்கின்றன; மேலும், சரியாக கலவை செய்யப்பட்ட எஃப்ஃபேகேஎம் துகள்கள், வளிமமாகும் பொருட்கள் மற்றும் உலோக அயனிகள் / டிஓசி வெளியீடுகளிலிருந்து ஏற்படும் மாசுப்படுதலைக் குறைக்க முடியும், இது வேஃபர் மாசுப்படுதல் ஆபத்தைக் குறைக்க உதவுகிறது.

இசோலாஸ்ட்-வகை FFKM தயாரிப்புகள், வீழ்படிவமாக்குதல், அரிப்பு, சாம்பல் நீக்கம்/களைதல் மற்றும் அயனி ஊடுருவல் போன்ற முனைய அரைந்து கடத்திகளின் செயல்முறைகளை நோக்கியே உருவாக்கப்பட்டவை என்பதை வலியுறுத்துகின்றன; இந்த பொருள் அதிக தூய்மை, குறைந்த துகள்கள், குறைந்த உலோகங்கள், மிகக் குறைந்த கரையக்கூடிய பொருட்கள் ஆகியவற்றை மையமாகக் கொண்டது, மேலும் இது வகுப்பு 100 / ISO 5 சுத்தமான அறையில் தயாரிக்கப்பட்டு அங்குவே கட்டுப்பெட்டியில் அடைக்கப்படுகிறது.

எனவே, அரைந்து கடத்திகள் துறையில், FFKM-ன் வணிக மதிப்பை இவ்வாறு சுருக்கமாகக் கூறலாம்: குறைந்த துகள்கள், குறைந்த அறை மாசுபாடு, குறைந்த திடீர் நிறுத்தங்கள், மற்றும் குறைந்த தொகுதி வீழ்ச்சி ஆபத்து.

3. FFKM ஏன் விலை உயர்ந்தது: பொருள்கள், கலவை, செயல்முறை, சரிபார்ப்பு மற்றும் ஆபத்து-மாற்று மதிப்பு

3.1 முழுமையாக புளூரினேற்றப்பட்ட பொருள் அமைப்பிலேயே விலை உயர்ந்தது

FFKM-ன் அடிப்படைப் பொருள் மிக அதிக புளூரினேற்றம் செய்யப்பட்ட மானோமர் மற்றும் முழுமையாக புளூரினேற்றம் செய்யப்பட்ட பாலிமர் அமைப்பு ஆகும். முழுமையான புளூரினேற்ற அமைப்பு அதிக வேதியியல் மந்தத்தன்மை மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது, ஆனால் இது பொருள் அமைப்பு பொதுவாக உற்பத்தி செய்யப்படும் ரப்பர்களை விட சிக்கலானது என்பதையும் குறிக்கிறது. இது பொதுவாக உற்பத்தி செய்யப்படும் பொது ரப்பர் அல்ல, ஆனால் உச்ச தரமான பணிச் சூழல்களை நோக்கிய, சிறிய அளவிலான, உயர் தொழில்நுட்ப பொருள் ஆகும்.

இவ்வகைப் பொருட்கள் பொதுவான எலாஸ்டோமர் நெகிழ்வுத்தன்மை தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய முடியாத போது மட்டுமே பயன்படுத்தப்படுகின்றன. FFKM கலவைகள் பொதுவாக மாற்றுப் பொருட்களை விட விலை அதிகமானவை என்பதும் ஒப்புக்கொள்ளப்படுகிறது, ஆனால் அவற்றின் கூடுதல் நம்பகத்தன்மை மொத்த உரிமையாளர் செலவை குறிப்பிடத்தக்க அளவில் குறைக்கிறது, குறிப்பாக நிறுத்த நேரத்தின் செலவு மிக அதிகமாக இருக்கும் சூழல்களில்.

3.2 விலை அதிகமானது, ஏனெனில் "அதே FFKM என்று அழைக்கப்படும் போதிலும், அதன் கலவை முற்றிலும் வேறுபட்டது"

FFKM என்பது ஒரு தனிப்பட்ட கலவை அல்ல, ஆனால் பல்வேறு பொருள்களின் குடும்பம். அரைக்கடத்தி பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு, ஈர-செயல்முறை வேதியியல் எதிர்ப்பு, வலுவான அமீன் எதிர்ப்பு, நீராவி எதிர்ப்பு, உயர் வெற்றிடம் மற்றும் குறைந்த வெளியேற்றம், எண்ணெய் மற்றும் வளிமம் RGD (விரைவான வளிம சிதைவு) எதிர்ப்பு — ஒவ்வொரு பணிநிலைக்கும் வெவ்வேறு கலவை வடிவமைப்பு தேவைப்படுகிறது.

அரைக்கடத்தி சார்ந்த FFKM தயாரிப்பாளர்கள் தெளிவாகக் குறிப்பிடுகின்றனர்: FFKM இன் செயல்திறன் வேதியியல் கூறுகளைப் பொறுத்து மிகவும் மாறுபடும், மேலும் வேஃபர் மாசுபடுதலைக் குறைக்க குறிப்பிட்ட கலவை தயாரிப்பு தேவைப்படலாம். அரைக்கடத்தி FFKM தயாரிப்பு வரிசை வெவ்வேறு செயல்முறைகளுக்கு வெவ்வேறு வகையில் அமைக்கப்படுகிறது — எட்சிங் செயல்முறை, பிளாஸ்மா வகை, வெப்ப செயல்முறை, CMP / ECD / ஈர-எட்சிங் போன்ற வெவ்வேறு செயல்முறை கலவைகள்.

எனவே, உயர்-தரமான FFKM இன் விலையில் பெருமளவு "மறைந்த கலவை பொறியியல்" சேர்க்கப்பட்டுள்ளது:

3.3 சுத்தமான உற்பத்தி மற்றும் குறைந்த மாசுப்படுதல் கட்டுப்பாட்டில் விலை அதிகம்

செமிகண்டக்டர் துறைக்காக FFKM ஐ உற்பத்தி செய்வதற்கான தர்க்கம் பொதுவான தொழில்துறை O-ரிங்குகளின் உற்பத்தியிலிருந்து வேறுபட்டது. இது பரிமாண ஒத்திசைவு, விறைப்பு ஒத்திசைவு மற்றும் காட்சி ஒத்திசைவு மட்டுமல்ல — துகள்கள், உலோக அயனிகள், எடுக்கக்கூடிய பொருட்கள், பேக்கேஜிங் சுத்தம் மற்றும் தொகுதி ஒத்திசைவு போன்ற மாசுப்படுதல் ஆதாரங்களையும் கட்டுப்படுத்த வேண்டும்.

இந்த வகை பொருள் பெரும்பாலும் தனியாக கலக்குதல், வார்ப்பு, பின்-செயலாக்கம், சுத்தம் செய்தல், வறுத்தல், ஆய்வு மற்றும் சுத்தமான பேக்கேஜிங் ஆகியவற்றை தேவைப்படுத்துகிறது. PureFab-வகை FFKM பொருள், அதன் சீல்கள் Class 100 / ISO 5 சுத்தமான அறையில் உற்பத்தி செய்யப்பட்டு பேக்கேஜ் செய்யப்படுகின்றன என்று குறிப்பிடுகிறது, இதன் நோக்கம் பொருளின் சுத்தத்தை உறுதிப்படுத்துவதே.

இந்தச் செலவின் பகுதி இறுதிப் பயனாளிக்கு நியாயமானது: ஒரு அரைக்கடத்தி வாடிக்கையாளர் வாங்குவது "ஒரு ஓ-வளையம்" அல்ல, ஆனால் ஒரு குறைந்த மாசுபடுத்தல் சீலிங் உறுப்பு, இது ஒரு முக்கிய செயல்முறை அறையில் நுழைய முடியும்.

3.4 சரிபார்ப்பு அமைப்பில் விலை அதிகம்: அதை உருவாக்க முடியும் என்பதை மட்டும் நிரூபிப்பது மட்டுமல்ல, அது நம்பகமானது என்பதையும் நிரூபிப்பது.

உயர்-தர FFKM ஓ-வளையங்கள் பெரும்பாலும் நீண்ட கால செறிவு இழப்பு, வேதியியல் கரைதல், வயதாதல், வெளியேறும் வாயுக்கள், குறைந்த எடுத்தல், பிளாஸ்மா வெளிப்பாட்டு எதிர்ப்பு, அளவு நிலைத்தன்மை போன்ற சோதனைகள் மூலம் சரிபார்ப்புக்கு உட்படுத்தப்பட வேண்டும். எண்ணெய் மற்றும் வாயு சூழ்நிலைகளில் விரைவான வாயு முறிவு (RGD) சோதனையும் சேர்க்கப்படுகிறது.

கால்ரெஸ் 0090 ஐ ஒரு உதாரணமாக எடுத்துக்கொண்டால், இந்த FFKM எண்ணெய் மற்றும் வாயுத் துறையில் தரைக்கு அடியிலும், கடலின் அடியிலும் உள்ள உபகரணங்களுக்கு (எ.கா., பந்து வால்வுகள், பிற வால்வுகள் மற்றும் பேக்கர்கள்) பயன்படுத்தப்படுவதாகக் குறிப்பிடப்படுகிறது; இதன் ஓ-வளையங்கள் நார்சாக் M-710 மூன்றாம் தரப்பு சோதனை போன்ற கண்டிப்பான தரங்களை வெற்றிகரமாகக் கடந்துள்ளன, உள் பிளவுகள், காற்றுப் பைகள் அல்லது தட்டுகள் ஏதும் இல்லை.

இது உயர்-முனை FFKM இன் விலையின் மிகப்பெரிய பகுதி பின்வருவனவற்றிலிருந்து வருவதைக் காட்டுகிறது: சரிபார்க்கத்தக்க பொருள் செயல்திறன், தொகுதி தடுதல் திறன் மற்றும் கட்டுப்படுத்தக்கூடிய தவறு அபாயம்.

4. துறை சூழ்நிலை பகுப்பாய்வு

4.1 செமிகண்டக்டர்: FFKM இன் முக்கிய மதிப்பு "எரிச்சலூட்டும் எதிர்ப்பு + பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு + குறைந்த மாசுபடுத்தல்"

செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களின் உள்ளே உள்ள O-வளையங்கள் பின்வரும் இடங்களில் பயன்படுத்தப்படலாம்: வினை அறைகள், வால்வுகள், ஸ்லிட் வால்வுகள், வாயு உள்ளீடு/வெளியீடு, அறை மூடிகள், முடிவு சாளரங்கள், வெற்றிட இணைப்புகள், CMP, ECD, ஈரமான சுத்திகரிப்பு, CMP/ECD, பிளாஸ்மா மற்றும் ALD நிலையங்கள் ஆகியவை உட்பட. இந்த முடக்கு கூறுகள் உயர் வெப்பநிலை, வெற்றிடம், பிளாஸ்மா, எரிச்சலூட்டும் வாயுக்கள் மற்றும் ஈரமான வேதிப்பொருள்கள் ஆகியவற்றை எதிர்கொள்ள வேண்டும், மேலும் மாசுபடுத்தும் ஆதாரமாக ஆகக்கூடாது.

செமிகண்டக்டர் வாடிக்கையாளர்கள் FFKM ஐத் தேர்ந்தெடுக்கும்போது, பொதுவாக FKM முழுமையாக முடக்க முடியாது என்பதால் அல்ல, ஆனால் FFKM பின்வரும் அம்சங்களில் மிகுந்த நிலைத்தன்மை கொண்டதால் ஆகும்:

குறைந்த எடுக்கக்கூடிய பொருள்கள்: செயல்முறை திரவம் அல்லது அறையில் உலோக அயனிகள், TOC மற்றும் எடுக்கக்கூடிய பொருள்கள் சேர்வதைக் குறைக்கிறது.

குறைந்த வெளியேற்றம்: குறைந்த வெற்றிடம், உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளின் போது சூழலை மாசுபடுத்தும் வளைவு சேர்மங்களைக் குறைக்கிறது.

குறைந்த துகள்கள்: பிளாஸ்மா சூழலில் முத்திரை மேற்பரப்பின் சிதைவினால் ஏற்படும் துகள் வெளியேற்ற அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.

பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு: எட்சிங், அஷிங், தொலைந்த பிளாஸ்மா சுத்திகரிப்பு மற்றும் இதுபோன்ற வினைத்தன்மை கொண்ட சூழல்களுக்கு ஏற்றது.

நீண்ட பராமரிப்பு சுழற்சி: கலனைத் திறப்பதன் அதிர்வெண், மாற்றுதல், சுத்திகரிப்பு, சரிபார்த்தல் மற்றும் மீண்டும் சரிபார்த்தல் ஆகியவற்றைக் குறைக்கிறது.

பியூர்ஃபாப்-வகை FFKM விளக்கங்கள் வைப்பு, எட்சிங், அஷிங்/ஸ்ட்ரிப்பிங் மற்றும் ALD போன்ற முன்புற செயல்முறைகளை விரிவாக உள்ளடக்குகின்றன, மேலும் குறைந்த துகள்கள், மிகக் குறைந்த எக்ஸ்ட்ராக்டபிள்ஸ் மற்றும் உலோக மாசுபடுதலைக் கட்டுப்படுத்துதல் ஆகியவை பராமரிப்பு சுழற்சிகளை நீட்டிப்பதிலும் வெளியீட்டை மேம்படுத்துவதிலும் முன்னணி பங்கு வகிப்பதை வலியுறுத்துகின்றன.

ஒரு அரைக்கடத்தி வெள்ளை காகிதத்திற்கான இதைப் பரிந்துரைக்கும் வழிஃ ஒரு FFKM O- வளையத்தின் மதிப்பு சீல் செய்வதற்கு மட்டுமல்ல, முக்கிய செயல்முறைகள் மாசுபாடு மூலங்களைக் குறைக்கவும், உபகரணங்கள் பராமரிப்பு சுழற்சிகளை நீட்டிக்கவும், அதிக வெப்பநிலை, வெ

4.2 வேதியியல் தொழில்ஃ FFKM இன் முக்கிய மதிப்பு "குறைந்த நிறுத்தங்கள், குறைவான கசிவுகள், குறைவான வேதியியல் இணக்கத்தன்மை தவறான மதிப்பீடுகள்" ஆகும்

வேதியியல் சூழ்நிலைகளில் மிகவும் பொதுவான பிரச்சனை சிக்கலான ஊடகங்கள்ஃ வலுவான அமிலங்கள், வலுவான ஆல்காலிகள், அமின்கள், கெட்டோன்கள், எஸ்டர்கள், ஆல்டிஹைடுகள், கரைப்பான்கள், ஆக்ஸிஜனேற்றிகள், நீராவி, சூடான நீர் மற்றும் பல சீல் தோல்விகள் ஒரு குறிப்பிட்ட ஊடகத்திற்கு பொருள் முற்றிலும் சகிப்புத்தன்மை இல்லாததால் அல்ல, ஆனால் செறிவு + கலப்பு ஊடகங்கள் + சுருக்க அழுத்தம் + நேரம் ஒன்றாக செயல்படுவதால் பொருள் வயதானதை அதிகரிக்கிறது.

வேதியியல் துறையில் FFKM இன் மதிப்பு பின்வருவனவற்றை உள்ளடக்கியதுஃ

• மாற்றம் ஏற்படும் ஊடகங்களின் காரணமாக ஏற்படும் பொருள் பொருந்தக்கூடிய தன்மை அபாயத்தைக் குறைத்தல்.
• பம்ப், வால்வ், ரியாக்டர், ஃபிளான்ஜ் மற்றும் இயந்திர சீல்களில் கசிவுகளைக் குறைத்தல்.
• திட்டமிடப்படாத நிறுத்தங்கள் மற்றும் பிரித்தலைக் குறைத்தல்.
• அதிக வெப்பநிலை நிலைகளில் வலுவான கார்பன் ஊட்டிகளில் நம்பகமான சீல் ஆயுளை பராமரித்தல்.
• ஆபத்தான வேதிப்பொருள் கசிவுகளால் ஏற்படும் சுற்றுச்சூழல் அபாயத்தைக் குறைத்தல்.

FFKM என்பது மிகக் கடினமான பயன்பாடுகளில், உள்ளிட்ட செமிகண்டக்டர் செயல்முறைகள், வேதிப்பொருள் செயலாக்கம் மற்றும் எண்ணெய்-வளிம செயலாக்கம் ஆகியவற்றில் பயன்படுத்தப்படலாம் என தெளிவாகக் குறிப்பிடப்பட்டுள்ளது; மேலும், வலுவான கார்பன் ஊட்டிகள், அமீன்கள் மற்றும் அதிக வெப்பநிலை சூழல்களுக்கு ஆட்படும் வேதிப்பொருள் மற்றும் பெட்ரோவேதிப்பொருள் செயலாக்க உபகரணங்களில் சீல் பொருளாகவும் பயன்படுத்தலாம்.

வேதிப்பொருள் வெள்ளை ஆவணத்திற்கான பரிந்துரைக்கப்பட்ட வாக்கியம்: வலுவான கார்பன் ஊட்டிகள், அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கலப்பு ஊடகங்களைக் கொண்ட சூழல்களில், FFKM ஓ-ரிங்குகள் அதிக வேதிப்பொருள் ஒத்திசைவு விரிவையும், மிக நிலையான சீல் விசையையும் வழங்குகின்றன, இது வாடிக்கையாளர்கள் பொருள் கசிவு அபாயத்தையும், திட்டமிடப்படாத நிறுத்தங்களையும், கசிவு தொடர்பான சம்பவங்களையும் குறைக்க உதவுகிறது.

4.3 எண்ணெய் மற்றும் வளிமம் மற்றும் உயர்தர வால்வுகள்: எஃப்எஃப்கேஎம்-ன் முக்கிய மதிப்பு "அதிக அழுத்தம், அதிக வெப்பநிலை, திரவக்காரணி மற்றும் விரைவான அழுத்த விடுபடல நம்பகத்தன்மை" ஆகும்

எண்ணெய் மற்றும் வளிமம் மற்றும் உயர்தர வால்வு பயன்பாடுகள் பாதுகாப்பு வசதியை மேலும் முக்கியத்துவம் கொடுக்கின்றன. சீலிங் பொருட்கள் எச்₂எஸ், சிஓ₂, அமைன்கள், சூடான எண்ணெய், நீராவி, குழியின் உள்ளே பயன்படுத்தப்படும் வேதிப்பொருட்கள், அதிக அழுத்த வளிமம் மற்றும் வெப்பநிலை மாற்றங்களைச் சந்திக்க வேண்டியிருக்கும்; குறிப்பாக, அதிக அழுத்த வளிம நிலையில் விரைவான அழுத்த விடுபடலம் எலாஸ்டோமரின் உள்ளே விரிந்த வளிமத்தை உள் பிளவுகள், புண்கள் அல்லது வெடிப்பு வகையான அழுத்த விடுபடலத்தை (ஆர்ஜிடி / வெடிப்பு அழுத்த விடுபடலம்) ஏற்படுத்தும்.

கால்ரெஸ் 0090 தரவுகள் இந்த எஃப்எஃப்கேஎம் எண்ணெய் மற்றும் வளிமத்தில் குழியின் உள்ளே மற்றும் கடலின் அடியில் உள்ள கருவிகளில் பயன்படுத்தப்படுவதைக் காட்டுகின்றன, அதாவது பந்து வால்வுகள், மற்ற வால்வுகள், பேக்கர்கள் மற்றும் குழியின் உள்ளே பயன்படுத்தப்படும் கருவிகள்; இதன் ஆர்ஜிடி எதிருதிருவுத்தன்மையுடன், இது 1,800-க்கும் மேற்பட்ட வேதிப்பொருட்களுக்கு எதிரான வேதிப் பொருள் எதிருதிருவுத்தன்மையையும் கொண்டுள்ளது, மேலும் அதிக அழுத்தம் மற்றும் அதிக வெப்பநிலையில் உள்ள எண்ணெய் மற்றும் வளிமச் சூழல்களில் இதன் செயல்திறனை பராமரிக்க முடியும்.

மேம்படுத்தப்பட்ட எண்ணெய் மீட்டல் (EOR) என்பது சீலிங் பொருட்களுக்கு உயர் அழுத்தம் மற்றும் உயர் வெப்பநிலை தேவைகளை ஏற்படுத்துகிறது; கடுமையான வெப்ப மீட்டல் மற்றும் வேதியியல் செலுத்தலுக்குப் பின்னர், FF K M அல்லாத பொருட்கள் பெரும்பாலும் செயல்திறன் தேவைகளை நிறைவேற்ற முடியாது; தொடர்புடைய FF K M பொருட்கள் உயர் வெப்பநிலையில் கடுமையான ஆவி மற்றும் கருப்பு சுரங்கச் சூழல்களில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

எண்ணெய்-வளிமம் மற்றும் உயர்-தரமான வால்வு வெள்ளை ஆவணத்திற்கான பரிந்துரைக்கப்பட்ட வாக்கியம்: உயர் அழுத்தம், உயர் வெப்பநிலை, கருப்பு ஊடகங்கள் மற்றும் விரைவான வாயு விரிவாக்கம் ஆகிய சூழல்களில், FF K M ஓ-ரிங்குகள் சீலிங் செயல்திறனை மட்டும் வழங்குவதில்லை — அவை வால்வுகள், பம்புகள் மற்றும் கீழ்தள கருவிகளின் நம்பகத்தன்மைக்கான முக்கிய உத்தரவாதமாகும்.

5. FF K M மற்றும் F K M, EP D M, P T F E ஆகியவற்றிற்கு இடையேயான இடம் வகைப்பாடு

எளிய விதிமுறை: அது சாதாரண கார்போரிஷன், சாதாரண வெப்பநிலை மற்றும் சாதாரண கசிவு ஆபத்து மட்டுமே எனில், FKM போதுமானதாக இருக்கலாம்; ஆனால் வலுவான கார்போரிஷன், உயர் வெப்பநிலை, வெற்றிடம், குறைந்த மாசுப்பாடு அல்லது நிறுத்த நேரத்தின் செலவு அதிகமாக இருக்கும் சூழல்களில் மட்டுமே FFKM தனது மதிப்பை உண்மையில் வெளிப்படுத்துகிறது.

6. FFKM ஐ எப்போது கண்டிப்பாக கவனிக்க வேண்டும்

கீழ்க்கண்ட நிலைமைகள் ஏற்படும்போது FFKM ஐ விருப்பமான அல்லது முக்கிய சரிபார்ப்பு பொருளாக பட்டியலிட பரிந்துரைக்கப்படுகிறது:

வலுவான வேதியியல் கார்போரிஷன்: வலுவான அமிலங்கள், வலுவான காரங்கள், அமீன்கள், வலுவான ஆக்ஸிடைசர்கள், கலவை கரைப்பான்கள், அடையாளம் தெரியாத சேர்மங்கள்.

வெப்பநிலை மார்ஜின்: நீண்டகால வெப்பநிலை FKM இன் பாதுகாப்பு எல்லைக்கு அருகில் இருக்கும் அல்லது உயர் வெப்பநிலை உச்சம் அல்லது வெப்ப சுழற்சி உள்ளது.

மாசுப்பாடு ஏற்றுக்கொள்ள முடியாதது: செமிகண்டக்டர், வெற்றிடம், உயர்-தூய்மை வேதிப்பொருட்கள், துல்லிய உற்பத்தி.

வேலையில்லா நேர செலவு அதிகமாக உள்ளது: சீல் மாற்றம், உபகரணங்களை மூடுவது, திறப்பது, சுத்தம் செய்வது மற்றும் மீண்டும் சரிபார்ப்பது ஆகியவற்றைத் தேவை.

அதிக கசிவு ஆபத்துஃ ஆபத்தான இரசாயனங்கள், எண்ணெய் மற்றும் எரிவாயு உயர் அழுத்த அமைப்புகள், முக்கிய வால்வுகள்.

சிக்கலான பொருள் செயலிழப்பு முறைகள்ஃ வீக்கம், கடினமடைதல், விரிசல், சுருக்க தொகுப்பு மற்றும் பிரித்தெடுக்கக்கூடிய மாசுபாடு ஆகியவை ஒன்றாக நிகழ்கின்றன.

நீண்ட பராமரிப்பு சுழற்சிகள் தேவைஃ குறைந்த கொள்முதல் விலையைத் தேடாமல், குறைந்த மொத்த செலவைத் தேடுவது.

7. தேர்வு எல்லைஃ FFKM மிகவும் திறமையானது, ஆனால் அது "எல்லாவற்றிற்கும் ஒரே சூத்திரமாக" இருக்க முடியாது

வெள்ளை புத்தகங்களில், FFKM ஐ "உலகளாவிய பொருள்" என்று விவரிப்பதை தவிர்க்க வேண்டும். அதை சொல்ல இன்னும் தொழில்முறை வழிஃ

FFKM ஒரு உயர்-தர சீலிங் பொருள் தளம், ஆனால் குறிப்பிட்ட கலவையை வேலை செய்யும் நிலைமைக்கு ஏற்ப தேர்ந்தெடுக்க வேண்டும்.

முக்கிய தேர்வு மாறிகள்:

• மீடியா வகை: அமிலங்கள், காரங்கள், அமைன்கள், கரைப்பான்கள், ஆக்ஸிடைசர்கள், நீராவி, பிளாஸ்மா, எண்ணெய்-அடிப்படையிலான வேதிப்பொருட்கள்.
• வெப்பநிலை: தொடர்ச்சியான வெப்பநிலை, உச்ச வெப்பநிலை, வெப்ப சுழற்சி.
• அழுத்தம்: ஸ்டேட்டிக் சீல், டைனமிக் சீல், உயர்-அழுத்த வாயு, RGD அபாயம்.
• தூய்மை: குறைந்த உலோகம், குறைந்த TOC, குறைந்த துகள்கள், இயந்திர சீல், ஃபிளான்ஜ் சீல் ஆகியவற்றின் தேவை உள்ளதா?
• இயக்க நிலை: ஸ்டேட்டிக் சீல், முன்னும் பின்னும் நகரும், சுழலும், வால்வ் அடிக்கடி திறக்கப்படும்/மூடப்படும்.
• சான்றிதழ் மற்றும் கண்காணிப்பு: NORSOK, செமிகண்டக்டர் தூய்மையான பேக்கேஜிங், தொகுதி கண்காணிப்பு ஆகியவற்றின் தேவை உள்ளதா?

இது குறிப்பாக அரைந்து கடத்திகள் துறையில் உண்மையாகும், இங்கு பிளாஸ்மா படிப்படியாக பொருளின் மேற்பரப்பை சீர்குலைக்கிறது, இதனால் மேற்பரப்பு சீர்குலைவு மற்றும் துகள் ஆபத்து ஏற்படுகிறது; எனவே எட்சிங், டெபாசிஷன், அஷிங், வெட் ப்ராசஸிங் மற்றும் பிற இடங்களில் சிறப்பு தரம் கொண்ட பொருட்களை தேர்ந்தெடுக்க வேண்டும். பிளாஸ்மாவிற்கு நீண்ட காலமாக வெளிப்படுத்தப்படும் எந்த பொருளும் சீர்குலைக்கப்படும், எனவே ஒரு சிறந்த சீல் மேற்பரப்பு சீர்குலைவை எதிர்க்கவும், சீலிங் செயல்பாட்டை பராமரிக்கவும் தேவை.

8. வாடிக்கையாளர்களுக்கான முக்கிய மதிப்பு அறிவிப்புகள்

அரைந்து கடத்திகள் வாடிக்கையாளர்களுக்காக

எஃப்எஃப்கேஎம் ஓ-ரிங்குகளின் முக்கிய மதிப்பு குறைந்த மாசுப்படுத்தல் சீலிங் ஆகும். இது துகள்கள், வெளியேறும் வாயுக்கள், உலோக அயனிகள் மற்றும் எக்ஸ்ட்ராக்டபிள்ஸ் ஆகியவற்றை கட்டுப்படுத்த உதவுகிறது, மேலும் எட்சிங், டெபாசிஷன், ஏஎல்டி, அஷிங், வெட்-க்ளீன், சிஎம்பி, இசிடி, வெற்றிடம் மற்றும் உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகள் போன்ற முக்கிய இடங்களுக்கு ஏற்றது. வாடிக்கையாளர் வாங்குவது வெளியீட்டு நிலைத்தன்மை, செம்பர் சுத்திகரிப்பு மற்றும் பராமரிப்பு சுழற்சி ஆகியவையே.

வேதியியல் வாடிக்கையாளர்களுக்காக

எஃப்எஃப்கேஎம்-ன் முக்கிய மதிப்பு அதன் அதிக வேதியியல் ஒத்திசைவுத்தன்மையாகும். வலுவான அமிலங்கள், வலுவான காரங்கள், அமீன்கள், கரைப்பான்கள், நீராவி மற்றும் உயர் வெப்பநிலைச் சூழல்களின் கலவையில், எஃப்எஃப்கேஎம் வீங்குதல், கடினமாதல், பிளவுகள் மற்றும் கசிவுகளைக் குறைத்து, இடைநிறுத்த நேரத்தையும் பாதுகாப்பு ஆபத்தையும் குறைக்கிறது. வாடிக்கையாளர் வாங்குவது தொடர்ச்சியான உற்பத்தித் திறனும் செயல்முறைப் பாதுகாப்பும் ஆகும்.

எண்ணெய் மற்றும் எரிவளி, உயர் தர வால்வு வாடிக்கையாளர்களுக்கு

எஃப்எஃப்கேஎம்-ன் முக்கிய மதிப்பு உயர் அழுத்தம், உயர் வெப்பநிலை மற்றும் கார்ப்போன் சூழல்களில் நம்பகமான சீலிங் ஆகும். உயர் வெப்பநிலை நீராவி, அமில வாயு, CO₂, H₂S, அமீன் திரவம், குழியின் கீழ் வேதிப்பொருட்கள் மற்றும் விரைவான வாயு விரிவாக்க ஆபத்து ஆகியவற்றின் கீழ், சிறப்பு எஃப்எஃப்கேஎம் முக்கிய வால்வுகள், பம்ப்கள் மற்றும் குழியின் கீழ் கருவிகளின் நம்பகத்தன்மையை குறிப்பிடத்தக்க அளவில் மேம்படுத்துகிறது. வாடிக்கையாளர் வாங்குவது ஆபத்துக் கட்டுப்பாடு மற்றும் உபகரணங்களின் ஆயுள் ஆகும்.